• Title/Summary/Keyword: 진공장비

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우주환경시험용 열진공챔버 내 레일 구조안정성 검토

  • Im, Seong-Jin;Seo, Hui-Jun;Jo, Hyeok-Jin;Park, Seong-Uk;Go, Tae-Sik;Mun, Gwi-Won
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.08a
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    • pp.114.2-114.2
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    • 2013
  • 위성체가 임무를 수행하는 우주환경은 지상 환경과 달리 고진공, 고온 및 극저온의 가혹한 환경 이다. 이에 $10^{-5}$ Torr 이하의 고진공과 $-180^{\circ}C$ 이하의 극저온 및 고온의 환경조건을 지상에서 모사하기 위해서는 열진공챔버와 같은 우주환경모사장비가 사용된다. 위성체를 열진공챔버에 설치하고 우주환경모사 시험의 월할한 진행을 위하여 열진공챔버 내 레일을 설치하여 열진공시험 준비 및 열진공시험이 수행되어진다. 현재 위성체 연구개발의 발전으로 다양한 기능 및 장비의 추가로 인하여 위성체가 대형화 되어지고 있다. 이에 보다 안전한 시험 준비 및 수행을 위하여 현재 운용되어지고 있는 열진공챔버의 개선이 필요하다. 이에 본 연구에서는 상용유한요소해석 프로그램 MSC.PATRAN/NASTRAN을 사용하여 대형 위성체의 우주환경모사 시험을 위한 열진공챔버 내 레일에 대한 구조 안선성을 평가 하고자 한다.

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Exploring nano structures with a pair of eyes

  • Jeon, Cheol-Ho
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2016.02a
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    • pp.85.1-85.1
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    • 2016
  • 현대 과학기술에는 표면/계면 및 나노물질의 구조와 물성을 분석하는 다양한 방법들이 존재한다. 이들 분석장비들의 분해능과 감도의 향상으로 이전에는 보지 못한 물성들이 속속 발견되고 있다. 이러한 흐름 속에서 분석장비들의 다기능 시대가 열리고 있다. 예전에는 성분, 형태, 구조, 전자구조 등을 분석하기 위해 각각에 해당하는 분석장비들이 동원되었다. 하지만 21세기에 접어들어 분석장비들이 두 종류 이상의 분석이 가능하도록 개발되었다. 예를 들면, TEM으로 형태를 보는 것 외에도 TED와 EELS로 구조와 성분을 동시에 확인할 수 있게 되었다. 전통적인 성분 및 전자구조 분석법의 하나인 광전자분광법도 microscopy 기능을 탑재하는 변신이 있었다. 본 발표에서는 빛과 전자를 시료에 조사하여 물질의 성분, 형태, 구조, 전자구조 등을 동시에 분석이 가능한 분석법들에 대해 소개하고자 한다. 그 중, SPEM(Scanning Photoelectron Emission Microscopy)은 포항가속기연구소에 설치되어 있으며, PEEM(Photoelectron Microscopy)과 LEEM(Low Energy Electron Microscopy)은 수차보정장치를 갖춘 사양으로 최근 한국기초과학지원연구원에 설치되었다. 위에 언급한 장비를 활용하여 얻은 데이터를 바탕으로 나노물질의 표면 및 계면의 특성을 분석하는 방법 및 최근 연구 결과를 소개하고자 한다.

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The Design and Construction of AES-LEED System and the Study of Ni/Pt(111) System (AES-LEED 장치의 설계 및 제작과 Ni/Pt(111)계에 관한 연구)

  • Lee, Sun-Bo;Bu, Jin-Hyo;Lee, Seong-Yong;Park, Jong-Yun;Gwak, Hyeon-Tae
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.2 no.2
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    • pp.145-151
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    • 1993
  • Ultra High Vacuum chamber for surface analysis and a series of AES-LEED controllers for LEED optics was designed and constructed. Electron energy resolution of LEED optics was tested. On the basis of the layer by layer mode, thickness of evaporated Ni on Pt(111) was calculated from the Auger signal ratio.

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알루미늄 합금 진공챔버의 초고진공 기밀 기술

  • 최만호;박종도
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.4 no.3
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    • pp.231-237
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    • 1995
  • 알루미늄 합금 진공챔버를 제작할 때 따르는 기밀 기술을 용접과 플랜지 이음 측면에서 해설하였다. 알루미늄 합금 재료 특성의 유리한 점 때문에 진공챔버로서의 그 사용이 증가하고 있으나, 챔버나 부품들을 제작할 때에 용접과 플랜지 이음에 상대적인 어려움이 있다. 진공 용접은 주로 TIG용접이며, 용접시에 가상누설을 최소화 하고 균열 방지를 위한 용접설계와 시공조건을 고려하는 것이 중요하다. 플랜지 이음에서는 알루미늄 콘플랫형과 금속오링을 사용하는 플랜지에 대하여 소개하였다. 이러한 기술은 앞으로 핵융합장치, 플라즈마 실험장치, 반도체 제조장비, 일반 초고진공장치에 응용될 것이다.

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