• Title/Summary/Keyword: 진공용기 진공도

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PLS-II 저장링 진공시스템의 기초 설계

  • Park, Jong-Do;Ha, Tae-Gyun;Hong, Man-Su;Kim, Chang-Gyun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.324-324
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    • 2010
  • 포항가속기연구소에서는 성능향상사업(PLS-II)를 수행하고 있다. 전자빔의 에너지는 2.5에서 3 GeV로, 빔전류는 200 mA에서 400 mA로 증가되는 반면 빔에미턴스는 약 1/3로 줄어든다. 저장링 진공시스템은 저장된 전자가 충분한 시간동안 저장되도록 $10^{-9}\;Torr$ 대의 진공도를 가져야한다. 빔에너지와 전류가 늘어나기 때문에 기체부하도 약 4배 상승하므로 적절한 배기 시스템을 가지도록 설계되어야 한다. 본 논문에서는 진공시스템의 기본설계 방향과 빔안정을 확보하는 중요 파라메터들에 대하여 논의하며 기체부하, 배기계통, 진공용기 배치, 열차단장치의 배치등에 대하여 보고한다.

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수분배기 측면에서 본 진공배기 계산

  • In, Sang-Ryeol
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.149.2-149.2
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    • 2014
  • 진공용기를 배기하기 시작하면 짧은 시간 동안은 공기의 배기가 주를 이루지만 그 후에는 표면 방출 기체의 배기가 이어지고 표면방출 기체의 대부분은 물이라는 것은 누구나 알고 있는 사실이다. 그러나 배기 계산을 할 때는 막상 물 보다는 공기의 일부로 생각하거나 수분을 다른 기체들과 유사하게 다루는 것에 익숙해져 있다. 이런 계산 결과는 실제 상황을 재현하지 못할 뿐만 아니라 일반적으로 배기능력을 과대평가하게 만들어서 공정 계획대로 진공 시스템을 운전하는 것을 불가능하게 만든다. 물은 일반적인 기체와는 성격이 아주 다르다. 다른 기 체 분자들의 흡착 에너지가 ~0.3 eV이고 기름분자가 ~1 eV 정도인 것에 반해 물은 0.55 eV 내외로 상온에서도 비교적 흡착을 잘하고 또 적당히 방출도 일어나는 특별한 특성 때문에 용기 압력을 지배하면서도 신속한 배기를 방해한다. 만일 이런 물의 흡착률 및 방출률을 제대로 수치화할 수 있다면 배기 계산을 훨씬 현실화할 수 있다. 물의 흡착률은 물분자의 부착계수가 지배하고 방출률은 체류시간에 의해 결정되지만 표면상태에 따라 천차만별이므로 얼마라고 확정하기 어렵다. 우선 이번에는 물의 부착계수 최대값을 0.1 정도로 잡고 흡착량에 따라 직선적으로 줄어드는 것으로 가정하며, 물의 표면 체류시간도 몇 가지 값으로 가정해서 0-D 입자 평형 계산을 수행하여 특정 시스템에서 얻은 실험 결과와 비교하려고 한다. 앞으로 몬테카를로 방법과 연계하여 3차원적 분석을 할 수 있는 코드로 발전시켜 나갈 예정이다.

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Fabrication and Installation of the MPK-EPU Vacuum System

  • Hong, Man-Su;Gwon, Hyeok-Chae;Han, Hong-Sik;Kim, Chang-Gyun;Ha, Tae-Gyun;Kim, Jae-Yeong;Park, Jong-Do
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.148.1-148.1
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    • 2014
  • 포항가속기연구소는 Dipole Magnet, Wiggler, Undulator 등 다양한 광원에서 발생되는 강한 방사광을 여러 연구에 이용하고 있다. Max-Planck POSTECH 분원용 타원편광 Undulator (이하, MPK-EPU)는 carbon의 흡수선을 포함하는 250 eV에서 시작하여, 1,500 eV~3,000 eV 에너지 영역의 방사광을 발생시켜 자성물질을 비롯한 다양한 이방성 물질의 연구를 수행하는데 활용할 예정이다. 현재, MPK-EPU용 진공용기의 기계가공, 화학세척, 용접 및 최종 초고진공 진공 달성을 위한 탈기체처리, NEG 활성화 작업등을 마무리하고 PLS-II 저장링 6A 구간에 설치 완료하였다. 이 논문에서는 MPK-EPU용 진공시스템의 제작 및 설치작업에 대한 전반적인 사항과 진공작업 및 그 결과를 발표하고자 한다.

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Pressure fluctuations of the hot cathode ionization gauges at the stainless steel high vacuum chamber according to room temperature variations (스테인레스 스틸 고진공용기에 부착된 열음극 전리진공게이지의 주변 온도변화에 따른 압력요동)

  • ;;;;Ichiro Arakawa
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.13 no.2
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    • pp.54-58
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    • 2004
  • Three hot cathode ionization gauges (HCIG) were used to study their responses of pressure measurements at the stainless steel high vacuum (HV) chamber around room temperatures. The pressure variations of HV measured by the three HCIGs between $20 ^{\circ}C$ and $26 ^{\circ}C$ were 5.0 %, 5.3 %, and 10.3 %, respectively. However, pressure differences between $21.5 ^{\circ}C$ and $22.5^{\circ}C$ were lower than the gauges uncertainty limits. The pressure variations of the HCIGs at the HV chamber was not directly affected by gauge characteristics, but pressure changes due to room temperatures.

Analysis of Breakdown of 170kV GIS in a vacuum due to transmission line inducted voltage (송전선로 유도전압으로 진공중인 170kV GIS의 절연파괴 사례분석)

  • Kim, Jin-Hwan;Seo, Jung-Chul;Park, Han-Woo
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2008.07a
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    • pp.54-56
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    • 2008
  • 전력계통에서 사용하는 고전압급의 차단기의 절연은 대부분이 SF6 GAS를 사용하고 있으며 (22.9kV급에서는 진공차단기가 주종을 이룸) 운전중 압력은 약 $3.6-6.0kg/cm^2$이다. 내부점검을 위해서는 무압상태에서 Gas를 회수장치에 옮겨 보관후 작업을 수행한다. 그러나 다시 Gas를 용기(容器)내로 담아 넣기 위해서는 진공(眞空)하여야 하는 공정이 필요하며,. 이 과정의 진공은 진공초기 단계정도로 절연내력을 가지는 진공상태라 할 수 없다. 진공작업과정에 발생한 고장사례를 통해 전기절연 상애의 선행 조건이 어떠해야 하는지 살펴보고자 한다.

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KSTAR 진공용기의 현장조립 결과

  • Kim Hak-Geun;Yang Hyeong-Ryeol;Hong Gwon-Hui;Kim Gyeong-Min;Park Ju-Sik;Lee Gyeong-Taek;Lee Jae-Hyeok;Kim Seong-Hun;Mun Byeong-Im;Hwang Myeong-Seop
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2006.08a
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    • pp.208-208
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    • 2006
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Arcing Time 측정을 통한 나선형 VI접점의 접점배치에 따른 Arc Control 성능비교

  • Kim, Byeong-Cheol
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.247-247
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    • 2011
  • 차단기의 주 임무는 사고전류를 차단하는 것이다. 진공 인터럽터는 진공차단기의 차단부로서 진공차단기의 핵심부이다. 사고전류 발생시 전극이 분리되면서 아크가 발생한다. VI의 아크소호 방식에는 크게 축자계 방식과 횡자계 방식이 있는데 본 논문은 횡자계 방식에 관한 것이다. 교류전류에서는 전류가 일시적으로 공급되지 않는 전류영전에서 아크소호가 가능하다. 전류영점에서 아크가 소호된 직후 극간저항은 거의 0에서부터 무한대까지 급격하게 변화하는데 이때 이 저항의 증가에 비례하여 과도회복전압이 발생한다. 하지만 잔류플라즈마의 소멸에는 일정시간이 소요되며 아크가 소호된 이후에도 종종 극간에 금속증기가 존재하게 된다. 잔류플라즈마는 전기전도도를 가지므로 극간에 과도회복전압이 걸리면 전류영점 직후에 아크를 통해 흘러 결국 아크의 재점호를 야기시키는 post arc current를 발생시킬 수 있다. 따라서 전류영점의 충분한 시간 이전에 아크를 확산아크로 전환시켜 극간에 존재하는 잔류 플라즈마 량을 최소화시켜야 한다. VI 내부의 아크거동에 미치는 인자에는 접점재료와 VI 용기내부의 진공도 이외에도 전극의 직경, 쉴드, 전극의 개극속도, 최종 극간거리 등이 있다. 본 연구에서는 나선형 VI 접점을 대상으로 두 접점 사이의 비틀림 각도에 따른 아크제어성능을 비교분석하였다.

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New transfer standard for low vacuum region

  • 우삼용;한승웅;김부식;이상균
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.44-44
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    • 1999
  • 저진공(1 kPa~ 100 kPa)은 대기압 측정, 비행고도, 기체의 온도 측정, 질량의 부력 보정, 레이저의 굴절률 측정등에 사용되는 영역으로 과학적 중요성을 갖고 있다. 또한 대기압 이상의 압력 측정과 고진공 측정의 경계적 역할도 수행하고 있어 압력 표준기의 국제 비교에 필수적으로 권장되는 역역이다. 이 영역에 주로 사용되는 압력 표준기는 수은 압력계(Mercury manometer)와 분동식 압력계(Deadweight piston gauge or Pressure)가 있다. 이들은 이동이 불편하거나 불가능하므로 표준기의 국제 비교에 사용되는 전달 표준기로는 보다 이동이 간편한 탄성 압력계인 CDG(Capacitance diaphragm Gauge)가 있다. 이 게이지는 반도체 산업의 공정 제어용으로도 많이 사용되고 있다. 그러나 게이지와 함께 사용되는 컨트롤러의 부피가 크고 무거우며 영점 이동이 커서 측정때 마다 재조정하여야 하는 단점이 있다. 본 논문에서는 이 같은 단점을 극복하기 위해 수정빔 진동형 진공 센서를 잔달 표준기로 사용하는 것에 대한 연구를 수행하였다. 수정빔 진동형 압력 센서는 수정빔으 공진주파수가 스트레인에 비례하는 것을 이용하여 제작된 센서로 주로 대기압 이상의 고압 측정에 많이 사용되고 있다. 먼저 수정빔의 압력과 주파수간의 관계를 측정하고 또한 내장된 수정 온도센서의 공진 주파수를 측정하여 온도 보상을 위한 자료로 사용하였다. 규격에 나와 있는 수정빔의 기하학적 형상으로부터 거동에 관한 이론 모델식을 구하고 압력교정 자료로부터 얻어진 데이터를 이 식과 비교 분석하여 적합한 특성식과 인자를 구하였으며 게이지의 불확도를 추정하였다.모델은 길이가 유한한 0-차원 실린더 모델로 가정하였고, 이에 대한 기하학적 성질 및 열역학적 성질은 유효계수를 고려하여 산출하였다. 진공용기 이중 벽 내부로 흐르는 질소가스의 유량과 온도의 계산은 진공용기 내벽과 외벽을 각각 독립적인 열전달 요소로 가정하여 구성한 모델을 이용하였다. 전체 해석에서 각 열전달 요소의 비열 값은 온도에 따라 변화하는 비열의 특성을 반영하였으며. 진공용기와 플라즈마 대향 부품의 방사율(emissivity)은 앞서 가정했던 각 온도 상승 곡선에 대해서 각각 0.1, 0.2, 1.3의 경우를 가정하여 계산하였다. 직선적으로 증가하는 온도 상승 곡선중 2$0^{\circ}C$/hr의 온도상승율을 갖는 경우가 다른 베이킹 시나리오 모델에 비해 효과적이라 생각되며 초대 필요 공급열량은 200kW 정도로 산출되었다. 실질적인 수치를 얻기 위해 보다 고차원 모델로의 해석이 필요하리라 생각된다. 끝으로 장기적인 관점에서 KSTAR 장치의 베이킹 계획도 살펴본다.습파라미터와 더불어, 본 연구에서 새롭게 제시된 주기분할층의 파라미터들이 모형의 학습성과를 높이기 위해 함께 고려된다. 한편, 이러한 학습과정에서 추가적으로 고려해야 할 파라미터 갯수가 증가함에 따라서, 본 모델의 학습성과가 local minimum에 빠지는 문제점이 발생될 수 있다. 즉, 웨이블릿분석과 인공신경망모형을 모두 전역적으로 최적화시켜야 하는 문제가 발생한다. 본 연구에서는 이 문제를 해결하기 위해서, 최근 local minimum의 가능성을 최소화하여 전역적인 학습성과를 높여 주는 인공지능기법으로서 유전자알고리즘기법을 본 연구이 통합모델에 반영하였다. 이에 대한 실

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Gas desorption species and quantity from the hot cathode ionization gauges (열음극 전리 진공게이지의 기체이탈 특성)

  • ;;;I. Arakawa
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.12 no.4
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    • pp.201-206
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    • 2003
  • A residual gas analyzer was used to study the outgassing behavior of stainless steel 304 chamber as a function of bake-out temperature up to $235 ^{\circ}C$ and to identify the gas species evolved during turn on and degassing of the three different types of hot cathode ionization gauges. It was found that $H_2O$, CO, and $H_2O$ were the dominent outgassing species in the vacuum chamber during bake-out but finally $H_2$ and CO(mass 28) persisted at room temperature. Dominant outgassing species were also $H_2$ and $H_2O$ while fuming on the ionizations and then $H_2$,$H_2O$ and CO were found to be the main species degassed gauges. It was appeared that the outgassing species and quantity were not agreed to the three different types of hot cathode ionization gauges.