본 논문은 직선 및 곡선 주행레일을 따라 물류이송을 필요로 하는 물류 이송시스템의 이송효율을 높이고 이송거리를 단축시키기 위한 목적으로 사용되는 분기구간에 구동원으로 적용이 가능한 선형전 동기에 관한 연구를 진행하였다. 직선 및 곡선 주행 레일이 함께 존재하는 분기구간을 구동하기 위하여 선형전동기는 직선 및 곡선주행에 필요한 추진력을 모두 발생시켜야 함으로 기존의 선형전동기들은 적용이 용이하지 않다. 본 논문에서는 직곡선 레일이 공존하는 분기구간에 적용이 가능한 선형전동기를 제안하였다. 또한, 제안한 선형전동기 구동을 위한 선형전동기 위치검출 및 제어 알고리즘을 제시하였고 실험을 통해 그 타당성을 검증하였다.
본 논문에서는 직선 및 곡선구간에서 구동력을 필요로 하는 LCD 패널 생산라인의 이송장비인 OHS 시스템에 적용이 가능한 횡자속 선형전동기의 제어에 관하여 기술한다. OHS 시스템은 클린룸 내에서 이송대차가 천장에 레일과 함께 설치되어 장거리의 직선 및 곡선 이송경로를 가지는 LCD 패널 물류 이송장치이다. 기존 선형전동기들은 그 구조상 곡선구간 구동원으로 적용하기 어렵고, 장거리 이송용으로 사용하기에 상당한 가격적인 부담이 발생된다. 따라서 본 논문에서는 상대적으로 다른 선형전동기와 비교하여 가격적인 부담이 적고, 곡선구간에서 구동력을 발휘할 수 있는 횡자속 선형전동기를 OHS 시스템에 적용하고, 선형전동기의 곡선구간에서의 출력특성을 분석하며, 이동자의 위치검출 방법 및 제어 알고리즘을 제안한다. 제안한 방법은 실제 제작된 OHS 실험장치를 통하여 제어특성을 검증한다.
The voice coil actuator uses the Lorentz force between the magnetic field of the permanent magnets and the electromagnets to the motions and positioning. The small size, light weight and fast dynamic response of the these type actuators lead to admit them in the micro-positioning apparatus of the micro-machining systems. In this paper, the linear motion voice coil actuator is developed for the driving and positioning the rotating electrode of the electric discharge machine (EDM). The analyzed and measured results for the actuator are compared and discussed.
클린룸의 규모가 커짐에 따라 물류 이송 장비의 사이즈가 커지고 길이가 장거리화 되고 있다. 이에 이송대차(Vehicle)의 수가 증가하는 추세이다. 같은 클린룸 공간에서 물류 이송 시스템의 공간 활용 밀도를 높이면 생산수율을 높일 수 있다. 따라서 OHS(Over Head Shuttle) 시스템은 여러 대의 이송대차간 독립제어가 가능하고, 물류 이송 장비의 구조가 직선구간과 곡선구간이 혼용되어진 구조를 가지며, OHS 시스템의 이송대차에 전원을 안정적으로 공급하기 위한 비접촉 전원장치에 관한 연구가 활발히 이루어지고 있다. 따라서 본 논문은 직선구간과 곡선구간에서 비접촉 전원장치를 안정적인 전원을 공급하기 위한 방법을 제시하고, 기존 방법과 비교 검토하기 위해 시작품을 제작하여 이동대차 2대를 대상으로 실험을 행하여 검증하였다.
This paper proposes the effective method of the software based motion control by using lenear, exponential and bell type discrete filters for acceleration and deceleration of servo motors. Recursive filters are designed in discrete time domain which can reduce computation time and vibration of motors due to load disturbance. Also it deals with the method which decides the time constants of filters when a machine tool is driven at rapid, cutting and jog feedrate. Validity of the proposed method is verified by corner cutting experiments.
대부분의 가공기 혹은 측정기에 있어 이송테이블은 그 기능수행의 기본을 담당하고 있으며 이송테이블의 운동 정밀도와 고속화는 목표하는 정밀도와 생산성으로 직결된다. 종래에는 형상특성, 열변형 등의 계통 오차만을 오프라인(Off-line)으로 측정하고 소프트웨어적으로 보상하는 방법을 사용하였으나 초정밀 분야에서 요구되는 테이블의 운동정밀도는 기계적 강성한계를 넘는 정밀도이므로, 테이블 이송 시 발생하는 운동오차를 실시간으로 측정하고, 보상할 수 있는 온라인(On-line)개념의 능동형 보상이 필요하다. (중략)
본 논문은 LCD 생산라인의 물류 자동화 시스템 중 OHS(Over Head Shuttle)을 분기가 되도록 하여, 이송 효율을 높이고, 이송거리를 단축시키기 위한 선형 이송시스템에 적용이 가능한 영구자석 여자 횡자속 선형 전동기 개발에 관한 내용이다. 3차원 FEM 해석과정특성 실험을 통해 전동기의 특성을 분석하여, 직선-곡선 레일과 분기구간에서 이송 가능한 횡자속 선형전동기 추진모듈의 사양을 결정하고 시작품을 설계, 제작하여 OHS 시스템 등의 이송시스템에 적용 가능한지 그 타당성을 검토하였다.
현재 반도체 및 LCD 제조분야에 적용되는 공정장비, 이송시스템에는 고성능, 고생산성이 요구되고 있는 추세이다 기존의 선형이송시스템은 구동원으로 서보모터(Servo Motor)를 사용하고 있으며, 기계적 동력전달장치를 사용하여 직선운동을 하는 구조로 되어있어 마찰소음, Position Error 등의 발생요인이 많은 단점을 가지고 있다. 반면에 선형전동기(Linear Motor)를 이송시스템의 구동원으로 사용하면 기계적 동력전달장치가 생략되어 기존의 선형이송시스템이 가지고 있는 단점들의 개선효과가 크며 유지보수면에서도 유리한 점이 많다. 본 연구에서는 2,500[N]급 영구자석 여자 횡자속 선형전동기를 설계, 개발하였으며, 이를 적용한 추진모듈을 개발하였다. 본 연구에서 개발된 횡자속 선형전동기 적용 추진모듈은 LCD 제조분야의 Stocker, RGV, Index, OHS, OHT 등을 비롯하여 타 산업분야의 선형이송시스템으로의 가능하다.
This paper is concerned with achieving the high motion accuracy of linear motion bearing guide according to estimate accuracy average effect of bearing. Accuracy average effect can be obtained b analysis the relationship between motion error of the table and spatial frequency of the rail form error. And influences of ball diameter, ball number, and clock length on block motion error and block number on the table motion error are analyzed theoretically. In addition to, a simple experiment is performed in order to verify theoretical result.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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