• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2004년도 추계학술대회 논문집 Vol.17
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• pp.132-135
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• 2004

현재 사용 되고 있는 Cu CMP slurry에서 pH 적정제의 역할은 slurry의 연마 거동을 결정 하는 중요한 요소이다. 일반적으로 사용 되고 있는 적정제로는 $NH_4OH$, KOH가 있다. 구리 CMP용 슬러리내에서 CMP 공정 중에 과산화수소 $(H_2O_2)$의 영향에 관한 연구는 있으나, 과산화수소의 농도 (vol %) 변화에 따라서 pH적정제가 하는 역할과 반응이 CMP 공정중에 미치는 영향에 관해서 연구된 바 없다. 이 논문에서는 pH 적정제가 과산화수소의 농도에 따라서 산성, 중성, 염기성에서 어떠한 변화를 일으키는지에 관해서 dynamic etch rate과 removal rate을 비교 하였고, static etch rate을 이용하여 Cu 표면이 etching 되는 속도를 비교 하였다. 그 결과, 산성과 중성에서는 $NH_4OH$와 KOH의 경향성은 비슷하였으나, 염기성에서는 KOH를 첨가한 경우 변화가 나타나지 않았다. 따라서, pH가 염기성으로 갈수록 과산화수소의 저 농도에서 $NH_4OH$의 영향이 더 커짐을 알 수 있었다.

• 전자공학회논문지 IE
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• 제45권2호
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• pp.6-12
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• 2008

본 연구에서는 아스팔트 함량의 중요성을 인식하여 현재 법적 규제 면제치인 100[${\mu}Ci$]이하의 방사성 동위원소를 이용한 아스팔트 함량측정기의 개발을 목표로 하였다. 이를 위하여 중성자선원의 위치에 따라 아스팔트 함량에 변화를 주는 3가지의 분야로 나누었다. 먼저, 아스팔트 혼합물과 중성자 선원과의 간격을 줄일 경우, 반사체 설치의 경우, 이력수를 변화시켰을 경우로 나누어서 컴퓨터 시뮬레이션을 통하여 살펴보았으며, 만족스러운 오차범위 결과를 얻어 아스팔트 함량측정기기의 개발을 위한 설계 자료로 활용하고자하였다.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제19권1호
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• pp.155-161
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• 2005

사무용 빌딩의 비선형 전자부하에 기인한 전압 및 전류파형의 왜곡은 중성선의 과열, 변압기 손실, 누전차단기 오동작 등을 야기 시킨다. 본 논문에서는 사무용 빌딩에서의 전압 및 전류 고조파의 크기, 전압 및 전류 파고율(Crest Factor : CF), 전압 및 전류 불평형 등을 비교함으로써 파형왜곡 특성을 분석하였다. 분석 결과, 고조파에 의한 상 및 중성선에서의 심각한 파형 왜곡 문제와 삼상에서의 단상 부하의 부적절한 분배로 인한 전류 불평형이 심한 빌딩이 조사되었다. 본 연구 결과는 사무용 빌딩에서 합리적이고 경제적인 부하운용을 위해 사용될 수 있을 것이다.

• 한국음향학회:학술대회논문집
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• 한국음향학회 2001년도 추계학술발표대회 논문집 제20권 2호
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• pp.89-92
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• 2001

본 논문에서는 한국어 대용량 음성인식 시스템의 기초가 되는 자소(grapheme)가 지니는 음가를 분류하였다. 한국어 자소를 음성-음운학적으로 조음 위치와 방법에 따라 분류하여, 그 음가 분석에 관한 연구와 함께 한국어 음성인식에서 앞으로 많이 논의될 청음음성학(auditory phonetics)에 대하여 연구하였다. 한국어는 발음상의 구조와 특성에 따라 음소 분리가 가능하여 초성, 중성, 종성 자소로 나눌 수 있다. 본 논문에서 초성은 자음음소 18개, 중성은 모음 음소(단모음, 이중모음) 17개, 그리고 'ㅅ' 추가 8종성체계의 자음음소로 하였다. 청음음성학적 PLU(Phoneme Like Unit)의 구분 근거는 우리가 맞춤법 표기에서 주로 많이 틀리는 자소(특히, 모음)는 그 음가가 유사한 것으로 판단을 하였으며, 그 유사음소를 기반으로 작성한 PLU는 자음에 'ㅅ' 종성을 추가하였고, 모음에 (ㅔ, ㅐ)를 하나로, (ㅒ, ㅖ)를 하나로, 그리고 모음(ㅚ, ㅙ, ㅞ)를 하나의 자소로 분류하였다. 혀의 위치와 조음 방법과 위치에 따라 분류한 자음과 모음의 자소를 HTK를 이용하여 HMM(Hidden Markov Model)의 자소 Clustering하여 그것의 음가를 찾는 결정트리를 검색하여 고립어인식과 핵심어 검출 시스템에 적용 실험한 결과 시스템의 성능이 향상되었다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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• pp.114-114
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• 2012

Metal-oxide-semiconductor field-effect transistors (MOSFETs)의 critical dimension (CD)가 sub 45 nm로 줄어듬에 따라 기존에 gate dielectric으로 사용하고 있는 SiO2에서 발생되는 high gate leakage current 때문에 새로운 high dielectric constant (k) 물질들이 연구되기 시작하였다. 여러 가지 high-k 물질 중에서, aluminum-oxide (Al2O3)는 높은 dielectric constant (~10)와 전자 터널링 barrier height (~2eV) 등을 가지기 때문에 많은 연구가 되고 있다. 그러나 Al2O3를 anisotropic한 patterning을 하기 위해 주로 사용되고 있는 halogen-based 플라즈마 식각 과정에서 나타나는 Al2O3와 하부 layer간의 낮은 식각 selectivity 뿐만 아니라 표면에 발생되는 defect, stoichiometry modification, roughness 변화 등의 많은 문제점들로 인하여 device performance가 감소하기 때문에 이를 해결하기 위한 많은 연구들이 진행중이다. 따라서 본 연구에서는 실리콘 기판위의 atomic layer deposition (ALD)로 증착된 Al2O3를 BCl3/Ar 중성빔을 이용하여 원자층 식각한 후 식각 특성을 분석해 보았다. Al2O3 표면을 BCl3로 absorption시킨 후 Ar 중성빔으로 desorption 시키는 과정에서 volatile한 aluminum-chlorides와 boron oxychloride가 형성되어 layer by layer로 제거됨을 관찰 할 수 있었다.

• Nuclear Engineering and Technology
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• 제22권4호
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• pp.410-415
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• 1990

MN(Madland-Nix) 모형에 바탕을 둔 핵분열 즉발 중성자 에너지 스펙트럼을 핵분열 유기중성자의 에너지 함수로서 구했다. 이 중성자 스펙트럼을 $^{27}$ Al(n,$\alpha$), $^{32}$S(n,p) 및 $^{115}$ In(n,n') 발단 방사화 검출기의 여기함수에 증율시켜 평균핵반응 단면적을 계산하고 상호간의 비, 즉, 중성자 스펙트럼 지수를 구했다. 그 결과 핵분열 유기중성자의 에너지에 따라 중성자 스펙트럼은 변하며 그에 따라 중성자 스펙트럼 지수도 변함을 보였다. 이것은 곧 중성자 스펙트럼 지수를 실험적으로 결정하므로써 핵분열 즉발 중성자 에너지 스펙트럼을 결정할 수 있음을 의미한다.

• 한국동물학회지
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• 제37권2호
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• pp.281-288
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• 1994

한국산 거머리(Erpobdella lineate)의 전, 후 흠반을 광학현미경과 투과전자현미경을 사용하여 조직화학적 및 미세구조적 연구를 수행한 결과 다음과 같았다. 거머리 전, 후 홍안에서 관찰된 상피세포는 불규칙한 단층원주형 상피로 되어 있으며, 상피세포의 상단에는 큐티를층이 있고 측면원형질 막은 거치상을 이루면서 여러개의 desmosome이 관찰되 었다. 큐티클층은 projection eplcuticularis, amorphorous stratum 및 fibrous stratum 등 3부분으로 구분되었다. 전, 후 출반의 상피조직 사이에서 공히 a형 분비과립과 b혐 분비과립 등이 관찰되었는데, 이 세포에서 분비된 과립들은 중성점액다당류로 확인되었다. 전 흠반의 횡단면 상피조직 밑에서 많은 근육세포들조 형성된 원형의 집단들이 다수 관찰되었는데, 이는 흠반의 흡수기능과 밀접한 관계가 있었다 비교적 통근형태의 근육세포들은 세포의 원형질막 내측에 많은 근섬유 다발을 지니고 있고 그 중앙에는 cristae가 발달된 많은 수의 사립체들이 모여 있었다. 전, 후 출반의 결합조직 내에서 5종류(A, B, C, D 및 I 등)의 분비과립들이 관찰되었다. 그 중 C, D 과립은 전, 후 흡반에서 공통으로 관찰되고, A, B 과립은 전 흠반에서, E 과립은 후 흠반에서만 각각 관찰되었는데, 이들 역시 모두 중성점액다당류로 확인되었다.

• 한국자원식물학회지
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• 제10권4호
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• pp.324-333
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• 1997

남부지방에 서식하는 식물체 중에서 꽃기린, 민들레, 박주가리, 후박나무, 팔손이나무, 달맞이꽃, 동백나무 그리고 유동나무를 대상으로 지질 및 탄화수소를 분석한 결과를 요약하면 다음과 같다. 1. 지질함량이 높은 식물체는 유동나무와 동백나무이었으며, 유동나무의 경우 중성지질 함량은 $52.9\sim66.0g/100g$, 인지질 함량은 $0.57{\sim}1.37g/100g$이었고, 동백나무의 경우, 중성지질 함량은 $59.1\sim62.3g/100g$, 인지질 함량은 $0.72\sim1.44g/100g$이었다. 2. 실험대상 식물체 모두에서 지질을 구성하는 지방산의 종류를 분석한 결과, palmitic acid, oleic acid 그리고 linoleic acid의 함량이 높게 나타났다. 3. 탄화수소의 함량은 실험대상 식물체 중 팔손이 나무에서 3.02mg/g으로 가장 높게 나타났다. 4. 실험대상 전식물체에서 주로 함유되어 있는 탄화수소는 탄소수 16 이사으이 것이었다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2003년도 하계학술대회 논문집 B
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• pp.1117-1119
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• 2003

기존의 사다리꼴형 브러시리스 직류 전동기(BLDCM)의 센서리스 제어는 전류전환 시점을 알기 위하여 홀 센서 대신 단자 전압과 중성점 전압을 이용한다. 하지만, 속도 제어를 위해서는 엔코더나 레졸바와 같은 센서를 사용해야한다. 2극기 BLDC 모터의 경우 단자전압을 이용한 위치정보는 모터 한 회전 당 12번의 신호가 출력된다. 엔코더 혹은 레졸바를 제거하고, 이 신호를 이용하여 속도 정보를 만들 경우, 속도를 만들기 위한 위치 정보의 펄스 간격이 넓게 되어 순시 속도를 만들지 못하게 된다. 이로 인하여 실제 속도의 변화를 민감하게 추정하지 못하게 된다. 따라서 이렇게 만들어진 속도 정보는 실제 시스템에서 사용할 수 없게 된다. 이러한 문제를 해결하려고 본 논문에서는 순시 속도 관측기를 사용한다 단자전압과 중성점 전압에 의한 위치정보를 가지고 순시 속도 관측기를 속도 제어 주기보다 빠르게 갱신함으로써 순시 속도를 예측한다. 또한 이 순시 속도는 속도 제어기로 피드백 되어 속도 센서리스를 실현한다. 이에 대한 타당성은 시뮬레이션을 통해 검증한다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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• pp.445-445
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• 2010

전자빔 플라즈마는 전자 소스 부분, 전자 가속 부분, 전자빔 플라즈마 생성 부분으로 구성되어 있다. Hollow cathode형태의 전극과 anode역할을 하는 안쪽 그리드로 DC방전을 일으켜 전자를 발생시키고 안쪽 그리드와 바깥쪽 그리드 사이의 전압차이로 전자를 가속시킨다. 가속된 전자는 중성 가스와 비탄성 충돌을 하게 되어 플라즈마가 생성이 된다. 이러한 방식으로 생성된 전자빔 플라즈마는 플라즈마 형성 공간에 전기장이 없어 전자가 에너지를 얻을 수 없으며, 중성가스와 비탄성 충돌로 인해 에너지를 쉽게 잃기 때문에 전자 온도가 낮게 유지가 된다. 일반적으로 바깥쪽 그리드는 접지를 시켜 전자빔 플라즈마를 발생시키지만, DC 전원을 연결하여 양의 전압을 걸어주면 전자빔 플라즈마의 밀도는 크게 변하지 않고 전자 온도가 급격히 상승하게 된다. Ar 전자빔 플라즈마의 경우 바깥쪽 그리드가 접지에 연결되었을 경우 전자 온도는 0.5eV 정도인 것에 비해 바깥쪽 그리드에 20V DC전압을 걸어주면 전자 온도가 1eV 정도로 크게 증가를 한다. 그 이유는 바깥쪽 그리드 전압의 영향으로 전자빔 플라즈마 전위가 상승하게 되고 그 결과 높은 에너지를 가진 전자가 플라즈마 전위에 갇히게 되기 때문이다.