• 제목/요약/키워드: 중간 현상

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Stress - Strain Curve를 이용한 W-C-N 확산방지막의 물성 특성 연구

  • 이규영;김수인;박상재;이동관;정용록;정준;이종림;이창우
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2011년도 제40회 동계학술대회 초록집
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    • pp.172-172
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    • 2011
  • 현대 반도체 금속배선 연구에서는 기존에 쓰이던 Al (Aluminium) 금속배선 대신에 Cu(Copper) 금속배선 연구가 진행 되고 있다. Cu는 Al 보다 비저항이 낮고, 녹는점도 Al보다 높다는 장점이 있지만 저온에서 기판인 Si (Silicon) 과 반응하고 접착력이 우수하지 못 하다는 단점이 있다. 이런 문제를 해결하기 위하여 확산방지막을 기판과 금속배선 사이에 삽입하는 방법이 제시 되었다. 확산방지막으로는 기존에 쓰이던 Ti (Titanium) 계열의 확산방지막과 W (Tungsten) 계열의 확산방지막이 있다. 이번 연구에서는 W 계열의 확산방지막에 불순물 C (Carbon), N(Nitrogen)을 첨가한 W-C-N 확산방지막 시편을 제조하였고, N2의 비율을 변화시키며 $600^{\circ}C$ 열처리를 하였다. 실험 결과 질소의 포함 농도에 따라 확산방지막의 안정도가 변화한다는 결과를 얻었으며, 질소 첨가량에 따라 시편의 표면 보다는 시편의 중간층의 물성 변화율이 큰데 이는 시편 표면의 질소는 열처리 중 확산에 의한 시편과의 분리 현상이 일어나지만 시편의 중간층은 trap현상에 의하여 시편에 남아있어 질소의 영향을 받아 시편의 중간층이 더욱 질소 유량에 따른 영향이 큰 것을 확인하였다. 이 결과로부터 W-C-N 박막은 첨가된 질소의 유량에 따라 박막의 안정도가 결정된 다는 것을 알았다. 본 연구에서 시편은 rf magnetron sputtering 방법으로 제작하였고 연속압입 실험은 Hysitron사의 Triboindenter를 이용하였다. Indenting에 사용된 압입팁은 Berkovich tip을 사용하였다.

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비정질 $As_2S_3$를 중간층으로 Fabry-Perot 에탈론에서의 광쌍안정에 관한 연구 (Optical bistability in the Fabry-Perot etalon which contains $As_2S_3$ space layer)

  • 김강호;김석원;한성홍
    • 한국광학회지
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    • 제8권6호
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    • pp.466-470
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    • 1997
  • 광학 다층박막 증착법으로 비정질 $As_2S_3$를 중간층으로 하고 앞뒷면 거울의 반사율을 다르게 한 비대칭 Fabry-Perot 에탈론을 구성하고 광의 편광에 따른 광쌍안정 현상을 관찰하였다. 사용된 중간층의 광학적 두께는 광원인 $Ar^+$($\lambda $=514.5 nm) 레이저 광에 대하여 2$\lambda$가 되도록 하였다.$Ar^+$레이저의 출력이 80~100 mW일 때 광쌍안정 현상이 관측되었고, 입사되는 광의 각 편광상태에 따라 반사와 투과하는 광의 경향이 서로 다름을 알 수 있었으며, 이는 광의 편광에 따른 비대칭 Fabry-Perot 에탈론내에서의 위상차가 입사광의 세기에 따라 다르기 때문인 것으로 해석되어질 수 있다.

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우리나라 고학력화 현상의 원인과 전망

  • 강희돈
    • 대학교육
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    • 통권73호
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    • pp.79-90
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    • 1995
  • 이 글에서는 우리나라 고학력화 현상의 원인을 봉건주의 시대 이후 일제기까지 형성된 교육요구, 그리고 교육자격의 예비직업자격 기능, 사회이동 통로로서의 학교교육 및 노동시장 분절 그리고 중간층의 증대를 중심으로 살펴볼 것이다. 우리 사회에서 고학력 선호경향이 쉽사리 가라앉을 전망은 없어 보인다. 우리 사회의 경우, 우리의 가치관에서부터 사회제도에 이르기까지 모든 요소들이 고학력에 대한 열망을 부추기고 있기 때문이다. 이러한 측면에서 볼 때, 고학력화 현상에 대한 문제는 개인의 능력.개성.특성이 존중되어 '삶의 질'을 만족스럽게 높여줄 수 있는 방향으로의 제도개혁과 함께, 나의 자식만을 위한 교육이 아닌 '우리들의 자식을 위한 교육'이라는 의식개척이 동시에 이루어져야 해결될 수 있을 것이다.

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토크 컨버터 유동특성에 대한 연구 (A Study on the Flow Characteristics in a Torque Converter)

  • 유성출;장성국
    • 동력기계공학회지
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    • 제12권5호
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    • pp.20-26
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    • 2008
  • 양산되는 승용차용 토크 컨버터 내부의 유동을 LDV 측정 기술을 이용하여 정량화했다. 속도비 0.4와 0.8 경우에 대한 속도 측정을 통해 임펠러 유로 중간과 출구 영역의 질량 유동율 특성을 분석했다. 측정 단면의 속도 분포는 유로의 위치와 속도비에 따라 많은 차이를 보이며, 특히 속도비 0.8 조건에서 임펠러 유로 중간영역 흡입면 부근의 유동은 유동박리에 의한 재순환 현상을 나타내며, 이와는 대조적으로 출구 영역에서는 흡입면을 따라 역류 현상이 발생한다. 임펠러 유로 내부의 유동은 각 영역에서 속도비에 따라 개별적 유동 특성을 보인다. 질량 유동율은 모든 속도비와 측정단면에서 주기적인 변화를 보이며, 또한 터빈의 순간적인 위치가 임펠러 유로 측정단면의 질랑 유동율에 매우 큰 영향을 미치는 것이 밝혀졌다 따라서 토크 컨버터 임펠러의 유로 방향 유동 특성 변화는 컨버터 설계에 중요하게 고려되어야 할 것으로 보인다.

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산양에서 수혈후의 적혈구 대사에 관하여 (Red Blood Cell Metabolism in Goats after Blood Transfusion)

  • 유창준
    • 대한수의사회지
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    • 제15권1112호
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    • pp.559-562
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    • 1979
  • 산양에서 수혈후 적혈구과다증을 지속시킬 수 있는지 또 해당중간생산물들이 변하는 가에 관하여 연구한바 아래의 결론을 얻었다. 1. 산양의 상동적혈구는 순환혈액에서 곧 사라졌다. 이와 같은 현상은 수혈적혈구가 지속적으로 적혈구과다증을 일으킬 수 없다는 것을 시사한다. 2. 적혈구용적과 혈색소농도는 수혈후 유의성 있게 증가되었으나 해당중간생산물인 GSH 2,3-DPG 및 ATP는 유의성 있게 변하지 아니하였다.

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중간 금속층을 가지는 광섬유-평면도파로 결합기의 동작 특성 측정 (Measurement of Optical Properties of Fiber-to-Planar Waveguide Coupler with a Metal Intermediate)

  • 윤대성;김광택
    • 한국광학회:학술대회논문집
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    • 한국광학회 2003년도 제14회 정기총회 및 03년 동계학술발표회
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    • pp.174-175
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    • 2003
  • 광섬유-평면도파로 결합기는 평면도파로의 재료와 구조에 따라 다양한 응응이 가능하다. 특히 평면도파로의 전기광학 효과를 이용하면 고속 광변조 현상을 얻을 수 있다. 평면도파롱에 전기장을 인가하기 위해서는 두개의 도체 전극이 필요하다. 전극으로 주로 금속을 많이 이용하기 때문에 금속층이 포함된 광섬유-평면도파로 결합기의 특성을 연구하는 것이 요구된다. 본 논문에서 그림 1과 같이 금속 중간층이 포함된 광섬유-평면도파로 결합기의 구조의 동작특성을 측정하고 결과를 보고한다. (중략)

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Importance of Surface Roughness of Interlayers in Fabricating $Al_2O_3$ Thick Films by Aerosol Deposition

  • 김창완;최주현;김형준;현창용;남송민
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.118-118
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    • 2010
  • 현재 반도체 제조 공정 중 많은 비중을 차지하는 식각 및 증착 공정에는 대부분 플라즈마를 사용하고 있으며, 이러한 반도체 장비내의 공정 부분품들은 수율과 생산성을 향상시키기 위하여 내플라즈마 특성이 우수한 세라믹 또는 세라믹 코팅막으로 구성되어 있다. 더욱이 최근에는 미세공정을 위해 고밀도 플라즈마 공정이 요구되면서, 노출된 세라믹 층이 침식되어 파티클이 떨어져 나오거나 모재와 세라믹 막 사이의 박리현상과 같은 심각한 문제들이 발생되고 있다. 따라서 보다 우수한 내플라즈마 특성을 갖는 세라믹 코팅 기술 개발이 시급한 실정이다. 현재 내플라즈마성 세라믹 코팅막 제조를 위한 코팅기술로서는 주로 용사법이 이용되고 있으나 기공률이 높고 치밀하지 못한 등의 문제점으로 인하여 사용수명이 짧다는 한계에 봉착하였다. 이에 본 연구에서는 상온에서 치밀하고 고속으로 세라믹 후막 형성이 가능한 Aerosol Deposition (AD)법과 AD법의 단점인 edge, corner, hole에서 코팅이 잘 안 되는 점을 보완할 수 있는 Arc Plasma Anodizing (APA)법을 조합하여, 상용화된 Al 모재위에 APA법을 사용하여 $Al_2O_3$ 후막 중간층을 형성한 뒤 그 위에 AD법으로 치밀한 $Al_2O_3$ 후막 성막함으로써 내 플라즈마 향상을 위한 새로운 개념의 제조기술개발을 시도하였다. 이를 위해 우선 Al 모재 위에 APA를 사용하여 중간층인 $Al_2O_3$막을 제조하였으며, 중간층의 두께에 따른 특성을 확인한 결과, $Al_2O_3$중간층의 두께가 두꺼워질수록 표면조도가 증가함을 확인 할 수 있었다. AD법으로 $Al_2O_3$중간층 위에 치밀한 $Al_2O_3$막을 제조하는데 있어 중요인자를 확인하기 위해, AD법으로 중간층 위에 $Al_2O_3$막을 제조한 후 성막특성을 관찰하였다. 그 결과, 중간층의 표면조도가 $0.8-1\;{\mu}m$인 경우에는 수 ${\mu}m$의 두께로 성막 되었으나, 표면조도가 $1\;{\mu}m$ 이상인 $Al_2O_3$중간층 위에서는 성막 되지 않았다. 이를 통해 AD법으로 치밀하고 두꺼운 $Al_2O_3$ 후막을 $Al_2O_3$중간층 위에 성막하기 위해서는 표면조도가 중요인자임을 확인하였다.

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재료상수가 상이한 요소로 이루어진 적층평판형구조물의 Brazier효과에 관한 연구 (A Study on the Brazier Effect of Laminated Plate Structures Having Different Material Constants for Each Element)

  • 김재열;한상을;권택진
    • 전산구조공학
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    • 제9권3호
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    • pp.199-207
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    • 1996
  • 원통관에 휨모멘트가 작용하면 변형후 단면은 타원형상을 갖게된다. 단면의 타원화에 의해 단면이 감소하게 되면 휨강성이 감소하게 되며, 따라서, 휨모멘트-곡률관계가 하중점감형으로 된다. 이 휨강성의 감소현상을 Brazier이론 또는 Brazier현상이라고 한다. 적층평판에 있어서도 각층의 재료상수가 뚜렷하게 다른 경우 원통관에서의 Brazier현상과 유사한 현상이 발생한다. 본 논문에서는 평판에서의 Brazier현상을 규명하기 위하여 3층 적층모델을 만들어 각층의 재료정수가 현저히 다른 경우 어떠한 현상이 일어나는 가를 실험적으로 규명하였고, 이론해석을 위하여 스프링모델을 사용하였다. 본 논문의 모델에서 알 수 있듯이 중간층의 재료상수가 상하층 요소의 재료상수 보다 뚜렷하게 작은 경우 중간층의 거동이 현저히 크게됨을 알 수 있었다. 즉, 본 논문에서 채택한 모델의 경우에 있어서도 원통관에서 일어나는 Brazier형상이 일어나고 있음이 실험적 그리고 해석적으로 규명되었다 .

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치과 중간관리자의 근무경험에 대한 현상학적 연구 (A Phenomenological Study on Experiences as a Dental Intermediary Manager)

  • 문학진;임순연
    • 치위생과학회지
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    • 제16권4호
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    • pp.263-271
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    • 2016
  • 본 연구는 대전 충남 지역 치과병 의원에서 10년 경력 이상 근무한 치과 중간관리자 업무 경험에 대한 의미와 본질을 탐색하고자 심층면접을 이용하였으며 다음과 같은 결론을 얻었다. 치과위생사는 선배 치과위생사가 퇴사, 치과의사의 권유, 이직, 승진 등 다양한 과정으로 중간관리자가 되는 것으로 나타났다. 치과 중간관리자로서 역할로는 주기적으로 소통을 통하여 직원을 관리를 하거나, 신입직원을 교육시키거나, 역량에 맞춰서 적합한 업무에 배치, 대화를 통한 긍정적인 관계를 유지하는 등 인적자원관리를 하고 있는 것으로 나타났다. 또한 환자를 관리하거나 경영목표를 설정하는 등의 업무도 다양하게 수행하고 있는 것으로 나타났다. 치과 중간관리자는 직원들에게 목표를 설정해주고 성과를 달성하였을 경우 보상을 하거나, 칭찬을 하는 등 적절한 동기부여를 하는 것으로 나타났다. 치과 중간관리자의 어려움은 중간관리자가 개념 및 역할을 모르거나, 추가적인 업무에 대한 어려움, 원장님과 직원 간에 중간역할의 어려움, 환자 관리, 업무에 대한 권한과 책임이 모호함, 상사와의 의견충돌, 중간관리자의 업무에서 느끼는 오해, 중간관리자 업무에 대한 교육의 부재 등으로 나타났다. 치과 중간관리자는 리더십, 변화주도, 자기관리 등의 능력을 갖추어야 한다고 느끼고 있었다. 마지막으로 중간관리자로서 느끼는 보람으로 직원을 지원하여 업무를 잘 수행할 수 있게 한 점과, 환자가 진심으로 감사함을 표현할 때 보람을 느끼는 것으로 나타났다. 이상의 결과를 종합해 보았을 때, 치과 중간관리자는 인적자원관리, 병원 경영 지원, 환자 관리 등 다양한 업무를 수행하고 있는 것으로 나타났으나, 다양한 치과 환경에 따라 중간관리자의 업무 대한 명확한 기준이 없고 치과 중간관리자에 대한 직무 교육이 제대로 이뤄지지 않고 있음을 알 수 있었다. 따라서 현재 치과 중간관리자에게 필요한 리더십, 변화관리, 자기관리, 재무관리 등 교육과정이 개설되어야 할 것이며, 치위생학 교육과정에도 환자 및 직원관리를 위한 의사소통, 치과 행정, 컴퓨터 활용 교육 등 중간관리자 업무에 대한 교육도 동시에 이루어져야 한다고 사료된다. 또한 이 연구를 바탕으로 치과 중간관리자의 역량 진단도구 및 평가도구와 관련된 후속연구가 필요할 것으로 생각된다.

중간토의 역학적 특성에 관한 실험적 연구 (Laboratorial Study for Mechanical Prosperities of Intermediate Soils)

  • 박중배;전몽각
    • 한국지반공학회지:지반
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    • 제11권3호
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    • pp.113-122
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    • 1995
  • 본 논문은 소성지수 약30의 해성점토에 모래 및 모래로 제작한 실트분을 혼합하여 제작한 중간토의 역학적 성질을 파악하는데 그 목적을 두고 있다. 실험으로는 물리적 실험을 거친 후, 공학적 특성을 살피기 위해 압밀시험과 삼축압축전단시험을 하였다. 압밀시험에서는 오성지수의 변화에 따라 중간토의 압밀특성, 즉 압밀곡선의 형태와 투수성 및 압축성이 변화하는 것으로부터 중간토와 점토의 영역을 구분하였다. 한편, 삼축압축전단시험에서는 배수조건에 따른 각각의 시료의 압축전단특설을 밝히고, 특히 비배수조건하에서는 변형률 속도가 전단특성에 끼치는 영향을, 그리고 변형률속도와 소성지수 및 시료의 과압밀비의 변화에 따른 변형률경화 현상의 특성과 그 원인을 전단 중에 측정한 간극수압의 거동으로부터 규명하였다. 아울러 중간토의 전단특성에 미치는 배수조건과 변형률속도의 영향을 비교검토하였다.

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