• 제목/요약/키워드: 준 수직입사 타원계

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편광자-보정기-시료-보정기-검광자 배치를 가지는 준 수직입사 타원계의 타원식 (Ellipsometric Expressions for a Near-normal-incidence Ellipsometer with the Polarizer-compensator-sample-compensator-analyzer Configuration)

  • 김상열
    • 한국광학회지
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    • 제32권4호
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    • pp.172-179
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    • 2021

  • 높은 종횡비를 가지는 미세 패턴 시료의 하부층 구조결함에 대해 높은 민감도를 가지는 광학적 임계치수 측정 장비로서 준 수직입사 타원계를 제안한다. 이 준 수직입사 타원계에서는 입사광은 편광자와 위상지연자를 순차적으로 통과하며 반사광은 이들을 역순으로 통과한다. 하나의 편광자와 하나의 위상지연자를 입사광과 반사광이 공유하며 편광자와 위상지연자의 여러 방위각 조합에서 측정한 빛의 세기로부터 타원상수를 결정하는 이 준 수직입사 타원계의 측정원리를 검토하고 최적의 타원상수 측정방법을 제시한다.

  • https://doi.org/10.3807/KJOP.2021.32.4.172 인용 PDF KSCI