반도체 제조와 같은 대량 생산 시스템에서 제품 검사는 매우 중요란 단계 중의 하나이다. 반도체 제조 공정 내에서의 시각 검사는 현재 사람의 육안에 주로 의존하고 있으나, 회로가 점점 복잡해지고 작아지는 추세에 비추어 볼 때 사람에 의한 시각 검사는 한계에 이를 것으로 보인다. 본 연구에서는 웨이퍼상의 결함을 자동으로 검출하고 검출된 길함을 분류하는 자동시각검사 시스템을 설계 구현하였다.
Si의 결정결함, 특히 dislocation 같은 것은 능동소자의 전기적특성에 큰영향을 끼친다. 그 중에서도 고온의 반도체 제조과정에서 결정결함이 발생하기 쉽다. 특히 에미터 확산시 고농도 불순물 또는 확산과정에서 종종 나타나는 dislocation 같은 결정결함이 가장 문제이다. Si보다 원자반경이 작은 P(인), B(붕소) 같은 불순물을 확산시킬때 원자반경의 차이에 의하여 확산층에 나타나는 strain은 확산으로 인한 dislocation에 의해 이완된다. 여기서 첫째, 확산으로 기인된 dislocation의 발생을 살펴보고 둘째, dislocation이 없는 고농도 확산에 대한 새로운 mechanism을 알아보고 마지막으로 전기적 특성에 대한 확산으로 생성된 결정결함의 영향을 논해 보기로 한다.
본 연구에서는 초미세 $Y_2O_3:EU^{3+}$ 분말을 이용하여 나노 형광체를 제조하였다. 나노 형광체는 소량의 Eu가 도핑된 $Y_2O_3$ 재질로 구성되어 있다. 형광체 분말의 결정화를 위해 $500{\sim}900^{\circ}C$의 온도로 열처리하였다. 제조된 나노 형광체를 HRTEM으로 관찰한 결과 입자 크기가 열처리 온도에 따라 약 $4{\sim}30nm$의 분포를 나타내었다. 또한 XRD로 결정상을 분석한 결과 주로 입방정 구조로 되어 있고 소량의 단사정 구조가 포함된 $Y_2O_3$ peak가 검출되었다. EDS 분석 결과 약 $6.7{\sim}7.5%$의 Eu가 검출되었다. 약 4nm 크기의 $Y_2O_3:EU^{3+}$ 분말로 제조한 나노 형광체의 발광 특성은 주요 파장대가 612nm인 PL spectrum이 관찰되어, 적색 형광체로서의 $Y_2O_3:EU^{3+}$ 나노 분말이 제조되었다.
요소수지접착제를 합판제조용 접착제와 유사하게 실험실에서 합성하고, 합성한 요소수지접착제를 증량제, 충전제, 산경화촉매제와 혼합하였다. 요소수지접착제 혼합물의 고형분량은 56.1%이고, 물은 43.9%였다. 국산재와 요소수지접착제 혼합물로 5종류의 Com-Ply를 제조하고, KS F 3101 보통합판의 인장 전단 접착력 시험 및 KS F 3104 파티클보드의 휨파괴계수 시험을 수행했다. 성능 평가된 결과는 제조된 5종류의 Com-Ply에서 모두 적합한 결과를 보여줬다. 이런 결과는 본 연구에서 사용된 요소수지접착제 혼합물이 국산재 Com-Ply제조에 적합하다는 것이다.
PED용 형광체로 사용되는 ZnCa$_2$O$_4$를 Clycine Nitrate Process로 합성하여 고상 반응법으로 합성한 ZnCa$_2$O$_4$ 분말과 비교 분석하였다. 또한 Glycine Nitrate Process로 제조시 Mn의 doping 농도를 변화시키면서 각각의 조성비에 따른 발광특성을 알아보았다. TGA 측정 결과 GNP법으로 합성된 ZnCa$_2$O$_4$ 의 경우 약 40$0^{\circ}C$ 이상에서 무게감량의 변화가 없었으며, XRD 상분석 결과 연소반응 후 이미 상형성이 이루어짐을 알 수 있었다. PL측정을 결과 GNP(GIycine Nitrate Process)로 제조된 ZnCa$_2$O$_4$분말의 발광효율이 고상 반응법으로 제조된 분말보다 우수하였으며, 균일하고 비표면적이 큰 단일상임이 관찰되었고, 더 작은 에너지와 시간으로 제조할 수 있는 장점이 있었다
본 연구에서는 극성 monomer인 HEMA와 GMA를 이용하여 PP를 개질한 상용화제를 제조하였고, 이를 이용하여 용융컴파운딩 방법에 의해 PP계 나노복합재료를 제조하였다. 제조한 나노복합재료는 comonomer 도입 유무에 따른 상용화제 효과를 관찰하고자 XRD를 이용하여 분산성을 확인하였고, UTM등을 통하여 기계적 성질을 측정하였다. XRD 분석 결과, comonomer가 도입된 상용화제를 이용하여 제조된 나노복합재료는 Clay의 층간삽입이 개선되어 분산성이 향상됨을 볼 수 있었다. 또한, 기계적 성질 평가 결과 GMA monomer로 개질된 상용화제를 사용하여 제조한 나노복합재료가 굴곡탄성률과 충격강도 측면에서 더 향상된 견과를 보여주었다 Comonomer를 도입하여 제조한 나노복합재료는 comonomer를 도입하지 않은 나노복합재료에 비해서 그라프팅 수율이 향상되었고, 반면에 용융지수가 감소되는 경향을 보였다. 본 연구에서 제조한 comonomer가 도입된 나노복합재료는 monomer와 comonomer의 비율이 1:1인 경우에 가장 향상된 기계적 성질과 분산성을 보임을 확인 할 수 있었다.
본 논문에서는 분말사출성형공정 (PIM)을 이용하여 1-3형 압전복합체용 PZT 프리폼 (preform)의 제조에 대한 연구를 수행하였다. PZT 분말을 이용해 제조한 피드스탁 (feedstock)의 점도 및 PVT 특성을 측정하였다. 또한 상용 프로그램인 3D-Timon 프로그램을 이용하여 PIM 제조공정 중 사출 성형체의 충진패턴 온도, 압력분포 및 성형 결함 등을 분석하고, 금형 시스템 및 제조공정을 최적화하였다. 최적화된 PIM 제조공정 조건을 사용하여 PZT rod가 균일하게 분포된 1-3형 압전복합체용 PZT 프리폼을 제조할 수 있었다.
전통 국악기인 가야금의 명주실 현의 제조방법을 개선하고자 시험을 수행한 결과는 다음과 같다. 가. 생사의 종류가 명주실 현에 미치는 영향을 구명하기 위하여 시험한 결과 생사종류에 따라서 강력과 신도의 차이가 컸으나 이 생사로 만든 명주실현은 강력과 신도의 차이는 줄어들어 생사종류에 따른 차이는 없었다. (중략)
기술전문인력이 없는 중소기업에서도 활용할 수 있는 산업용 위험기계의 위험성평가 체크리스트를 개발하기 위하여, 기존의 체크리스트를 평가하고 위험도를 보다 합리적으로 파악 관리할 수 있는 간단한 체크리스트를 개발하였다. 제조물책임법의 시행을 앞둔 시점에서 산업용기계ㆍ설비 제조업체가 안전성향상을 통한 제조물 결함대책에 적절히 대응할 자료의 마련을 목적으로 우리업계의 실태를 파악하고 설계단계의 안전성 평가방법과 안전기준을 제시함으로서 제조물책임법 시행에 따르는 기업의 피해를 예방함과 아울러 산업재해 예방에 기여하고자 한다.
2002년 소비자 보호 및 기업의 제품 역량 강화를 위해 대두된 제조물 책임법으로 제품에 대한 소비자의 관심이 증대되고 제품 결함에 대한 기업의 책임이 강화되고 있다. 본 연구에서는 전기 전자 산업에서 제조물 결함에 의해 나타나는 기업 및 소비자의 손해 배상에 대한 분석과 제품 흐름별 PL법 사례를 제시한다. 또한, 신속한 기업 PL 예방과 대응을 위한 RFID 적용 전, 후 PL법 대응 프로세스 분석을 통해 RFID 적용 PL법 대응 방향을 제시한다. 더불어, PL법 대응 시스템 설계 시 접근 방향과 제품 라이프 사이클에서 제시되는 데이터 흐름 및 상세적용 정보를 제시하여 효과적인 PL법 대응 프로세스 구축 방향을 제시하고, 전기 전자 산업 사례 적용을 통하여 전기 전자 산업의 PL법 대응 프로세스 및 핵심 정보를 제시하고자 한다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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