• Title/Summary/Keyword: 제조기술

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강관제조에 적용되는 용접기술

  • 서정현
    • Journal of Welding and Joining
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    • v.10 no.4
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    • pp.98-102
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    • 1992
  • 이 글에서는 1. 강관제조 공정, 2. 적용용접기술, 3.국내외 용접기술 적용 현황 등에 관하여 다루었다.

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Sputtering 공정 원격 감시제어 시스팀 설계

  • Lee, Gyeon-Yeong;Im, Seong-Ho
    • ETRI Journal
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    • v.10 no.4
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    • pp.60-68
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    • 1988
  • 반도체 제조분야에서는 소자의 고집적화와 특수용도 IC의 수요증대, 제조기술의 급속한 발전과 제조업체간 경쟁심화 등으로 복잡한 제조공정의 합리적인 관리와 고가의 공정장비 이용률 증대, 수율 및 생산성 향상을 위하여 제조공정 자동화가 활발하게 추진되고 있다. 본고는 반도체공정 자동화용 통신규격인 SECS 프로토콜을 이용하여 단위공정 장비를 상위 제어 시스팀에서 원격 감시제어하기 위한 시스팀 설계 방법에 관하여 기술한다.

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