• Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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• v.8 no.7
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• pp.1429-1435
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• 2004

In this work, high performance broadband amplifier MMIC including all the matching and biasing components, and electrostatic discharge (ESD) protection circuit was developed for K/Ka band applications. Therefore, external biasing or matching components were not required for the operation of the MMIC. STO (SrTiO3) capacitors were employed to integrate the DC biasing components on the MMIC, and miniaturized LC parallel ESD protection circuit was integrated on MMIC, which increased ESD breakdown voltage from 10 to 300 V. A pre-matching technique and RC parallel circuit were used for the broadband design of the amplifier MMIC. The amplifier MMIC exhibited good RF performances and good stability in a wide frequency range. The chip size of the MMICs was $1.7{\pm}0.8$ mm2.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2006.11a
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• pp.348-350
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• 2006

전력회사는 전력의 안정성과 신뢰도확보를 위해 끊임없이 노력하고 있지만 전력설비의 자그마한 이상에도 그 파급효과는 상당히 클 수 있다. 특히 한국의 전력계통은 복잡한 그물망 구조를 가지고 있어 작은 선로사고가 국가 전체의 대형정전사고로 이어질 가능성을 가지고 있다. 특히 전력산업의 변화에 의해 전력계통의 대형정전사고의 책임 문제도 발생할 수 있다. 전력선의 사고의 대다수가 1선 지락 사고로 발생되며, 그중에 애자의 절연파괴로 인한 사고가 상당수를 차지하고 있다. 그러나 애자의 절연파괴는 가시적으로 발전하기 어려운 것이 사실이다. 그러므로 본 논문은 센서 및 통신 장비를 이용하여 쉽게 애자의 절연 파괴를 감지하고, 이를 신속하게 운영자에게 알릴 수 있는 시스템의 개요에 대하여 논한다.

• Proceedings of the IEEK Conference
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• 2003.07c
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• pp.2831-2834
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• 2003

본 논문에서는 PWM 방식을 이용한 THERMO-CON 제어 회로를 제안하였다. 제안한 회로는 정전압을 형성하기 위한 레귤레이터, 신호를 처리하기 위한 op-amp, 삼각파를 만들기 위한 OSC, 그리고 부하의 상태를 감지하기 위한 AMC 와 ISC 로 구성된다. 테스트 결과 서지 전압인가 시 PWM 방식으로 동작하여 회로의 P/sub D/(Power Dissipation)을 줄여 소자의 파괴를 막고 중부하 시(여러 개의 릴레이 구동 시) PWM 동작을 하여 소자의 파괴를 막는다는 것을 확인하였으며, 출력 쇼트 시 쇼트보호회로에 의해 출력 트랜지스터의 파괴를 막는다는 것을 확인하였다.

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.4 no.1
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• pp.18-25
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• 1995

건식, 습식, 건식/습식 산화분위기로 성장한 게이트 산화막 위에 AI, 인 도핑된 다결정시리콘, 비정질 실리콘/인 도핑된 다결정 실리콘을 증착하여 제작한 금속-산화물-반도체(metal-oxide-semiconductor:MOS)의 전기적 특성을 순간 절연파괴(TZDB), 정전용량-전압(C-V)과 경시절연파괴(TDDB)로 평가하였다. AI 게이트에서 습식산화막과 건식산화막의 평균 파괴전계는 각각 9.0MV/cm, 7.7MV/cm이였고, 습식산화막의 평균 파괴전계가 8.4MV/cm 이였으며, AI 게이트보다 0.6MV/cm 정도 낮았다. 이것은 다결정 실리콘/습식산화막 계면에서 인(phosphorus) 확산으로 다결정 실리콘의 grain 성장과 산화막의 migration에 의한 roughness 증가에 기인한다. 그러나 다결정 실리콘/건식산화막 계면에서 roughness 증가는 없었다. 다결정 실리콘 게이트에서는 건식/습식 산화막이 건식산화막과 습식산화막보다 평균 파괴전계와 절연파괴전하(QBD)가 높았다. 또한 다결정/비정질 실리콘 게이트에서는 습식산화막의 평균 파괴전계가 8.8MV/cm이였으며, 다결정 실리콘 게이트에서보다 0.4MV/cm 정도 높았다. 다결정/비정질 실리콘 구조는 앞으로 VLSI 적용에 있어서 게이트 전극으로 매우 유용할 것이다.

• Electric Engineers Magazine
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• v.194 no.10
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• pp.27-31
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• 1998

송배전선로 또는 전기철도 등의 전압에 의한 정전유도작용이나 전류에 의한 전자유도작용으로 인근 통신시설에 미치는 영향이 지나쳐 통신시설의 절연파괴나 운용방해를 유발하고 인체에 직, 간접으로 위험을 초래하는 것을 유도장해라 한다.

• Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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• 1999.05a
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• pp.44-44
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• 1999

• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.3 no.3
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• pp.360-367
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• 1994

Si2H6PH3 혼합기체를 사용하여 증착된 in-situ P-doped 비정질 실리콘과 SiH4 기체를사용하여 증착한후에 As+ 이온주입에 의해 도핑시킨 다결정 실리콘 박막을 하부 전극으로 하는 캐패시터를 형성 하였다. 여기서 유전박막층은 자연산화막 화학증착된 실리콘질화막 및 질화막의 산화에 의해 형성된 O-N-O 구조를 갖는 것이었다. 두 종류의 하부전극에 따른 캐패시터의 전기적 특서을 조사하였다. 전기 적 특성으로는 정전용량, 누설전류, 절연파괴전압 및 TDDB 등이었다. 이 가운데 정전용량, 누설전류 및 절연파괴전압은 하부전극에 따라 큰 차이를 보이지않았다. 그러나 음의 전장하에서의 TDDB 특성은 in-situ P-doped 비정실 실리콘이 하부전극인 캐패시터가 As+ 이온 주입실리콘이 하부전극인 것에 비해 더우수하였다. 이와 같은 TDDB 특성의 차이는 하부전극 실리콘의 integrity 차이로 인한 자연산화막의 결함 정도의 차이에 기인하는 것 같다. 이를 뒷받침하는 것으로 투과전자현미경 단면사진으로 확인하였 다. Shallow junction을 유지하는데도 in-situ P-doped 비정실 실리콘은 만족할 만한 결과를 보이며 박 막자체의 면저항값도 낮출 수 있어 초고집적 회로의 캐패시터 전극으로서 이용될 수 있는 것으로 평가 되었다.

• ETRI Journal
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• v.11 no.3
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• pp.11-22
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• 1989

Stress에 잘 견딜 수 있는 metal-oxide-semiconductor field effect transistor(MOSFET)의 매우 얇고(10mm 이하) 고신뢰성을 갖는 게이트 절연막을 개발하기 위해서 급속열처리법을 이용하여 제조한 재산화질화산화막의 특성에 관하여 연구하였다. AES 분석에 의하여 8nm 두께의 초기산화막을 질화시킬 때 산화막의 계면이 우선적으로 질화가 일어났으며, 질화된 막을 재산화시킬 때 표면과 계면의 [N]가 감소하였다. 또한 재산화시킬 경우 두께가 약간 증가함을 보였으며, 질화가 강하게 될수록 두께 증가는 크지 않았다. 전기적 특성으로써 I-V 특성과 고주파(1MHz) C-V 특성, 정전류 stress 후의 고주파 C-V 특성 변화 들을 조사한 결과 $950^{\circ}C$ 60초 동안 질화시킨 재산화질화산화막($ONO_L막$) 은 정전류 stress에 대하여 flat band 전압 변화에 계면 상태 밀도(interface state density)변화가 적고, 절연파괴전압(breakdown voltage)특성 등이 우수하게 나타났다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2009.07a
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• pp.403_404
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• 2009

전력은 공공재화로서 광역정전이나 전역정전이 발생하면 전력공급에 매우 심각한 문제가 발생하므로 이에 대한 합리적인 분석과 효과적인 대책 수립이 필요하다. 송전계통의 주 구성요소인 선로, 철탑, 변압기, 개폐장치들은 장기 사용에 따른 노후화와 같은 문제와 절연의 특성상 초고압전기 절연의 근원적 난점 등으로 다수의 절연파괴 고장이 불시에 발생하게 되어 전력공급의 신뢰성을 떨어뜨리게 된다. 이와 같이 전력기기들은 사전에 진단을 하여 기기의 상태를 알아내는 것이 필요하다. 주요 기기에 대한 진단은 데이터베이스의 구축과 이로부터 고장을 예측하고 신뢰성을 평가하는 것으로 이루어진다. 이를 위해 보다 정교하고 정확한 고장 예측 기술, 진단기술, 신뢰성 평가기술을 개발할 필요가 있다. 본 논문에서는 송전기기의 유지보수를 위한 기기 상태 추정 모델을 제시하고, 송전유지보수 전략 수립을 위한 방법을 제시한다.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2001.05c
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• pp.168-173
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• 2001

배전용 애자는 전기적, 열적, 기계적 스트레스 등 내 외부 서지에 의한 균열이 서서히 발생되며 장시간 사용시 절연파괴에 의한 지락사고로 진전되는 경우가 많다. 이러한 사고로 인하여 순간정전이나 장시간 정전에 의한 피해를 최소화하기 위해 열화된 애자를 조기에 검출함으로써 전력공급의 신뢰성 향상을 기하고자 한다. 이를 위해 열화된 애자에서 나타나는 물리적 현상에 의해 변화되는 주파수 스펙트럼 분포 해석을 통해 방전 전자파가 갖는 주기성 파형(120Hz)을 검출하여 열화된 애자를 탐지 추적하는 장치를 개발하고자 한다.