• 한국진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
• /
• pp.339.2-339.2
• /
• 2014

터치패널은 저항막 방식, 정전용량 방식, 적외선방식, Camera방식 등을 사용하고 있으며 현재 널리 상용화 되어 있는 방식은 정전용량 방식이다. 최근 터치스크린의 면적이 점점 커지게 되면서 점차 저저항, 고투과율을 가지는 IM ITO (Index matching ITO)를 요구하고 있다. 본 연구에서는 중대형 사이즈(15inch 이상)의 Cover glass 일체형 터치센서 구현을 위한 저저항(60ohm/sq이하), 고투과(88% 이상)의 IMITO Glass를 제작하여 전기적,광학적 특성을 분석하여 IMITO 성막조건을 최적화시키는 연구를 하였다. 또한 TSP의 Pattern 시인성을 향상시키기 위해 Index matching층을 고굴절재료와 저굴절 재료를 사용한 다층박막을 형성하여 반사율(0.5% 이하)을 최소화시켜 구현하였다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
• /
• 한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집
• /
• pp.276-279
• /
• 2005

This paper presents a novel cylindrical capacitive sensor (CCS) for both radial and axial motion measurements. Although the new CCS has almost the same geometric configuration as the conventional CCS, the unused axial area of the CCS is utilized to measure the axial motion of the rotor, which can affords more compact design and reduction of the system complexity. First, a theoretical model of the proposed CCS is derived. Based on the derived theoretical model, compensation methods to decouple the radial and axial motion measurements are proposed. In addition, error analysis is performed and a design rule is proposed to guarantee the same accuracy in measuring both radial and axial motions. Finally, a test rig and electronics for the proposed CCS are built and the effectiveness of the proposed CCS is verified with experiments and simulations.

• 센서학회지
• /
• 제19권2호
• /
• pp.92-98
• /
• 2010

The capacitive sensor has a simple structure, compact size and low cost, but a small dynamic range. The small range is caused by use of gap variation. If the sensor takes area variation type with one plate moving horizontally, it can have a large measurable range. While the area variation has relatively low sensitivity, some studies have found methods to improve the sensitivity. Even though the methods are effective, parameters of the results are limited and 2 dimensional. This study provides more practical and 3 dimensional analysis and suggests relations between parameters. Using the results, the optimized design parameters of a high dynamic range capacitive sensor can be found.

• 센서학회지
• /
• 제19권3호
• /
• pp.191-196
• /
• 2010

In this paper, modeling of the non-ideal frequency response, especially "notch-and-spike" magnitude phenomenon and phase lag distortion, are discussed. To characterize the non-ideal frequency response, a new electro-mechanical simulation model based on SPICE is proposed using the driving loop of the capacitive vibratory gyroscope. The parasitic components of the driving loop are found to be the major factors of non-ideal frequency response, and it is verified with the measurement results.

• 폴리머
• /
• 제30권3호
• /
• pp.207-209
• /
• 2006

ITO 코팅 글라스를 기판으로 사용하고 폴리(페닐렌에테르설폰)(PES)을 감습막으로 하여 정전용량형 습도센서를 제작하였다. 감습막은 PES를 m-cresol에 용해한 후 스핀코팅으로 제조하였고 그 상부에 다공성 Au막을 스퍼터링으로 증착하였다. 상대습도 $20\sim90%$의 범위에서 센서의 용량은 감습막두께에 반비례하였고 1% 미만의 비선형 특성을 나타내었다. 또한 $1.4{\mu}m$ 두께의 샘플에서는 20 kHz에서 1.3%의 히스테리시스와 1.14의 우수한 감도를 얻을 수 있었다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
• /
• 대한전기학회 2002년도 하계학술대회 논문집 C
• /
• pp.1997-1999
• /
• 2002

고분자 주쇄(Main chain)의 소수성을 가지는 플루오르 그룹을 배제시킨 습도 민감성 폴리이미드를 합성 및 이미드화 하였고, 이를 이용한 초고참도 습도 센서를 제작 및 측정하였다. 사용된 폴리이미드는 다이아민계로 Oxydianyline(ODA)와 다이안하이드라이드계로 Pyromellitic dianhydried(PMDA)를 유기용매 Dimethyla cetamide(DMAc) 하에서 폴리이미드 전구체 (Polyamic acid)를 합성하였으며, 진공 및 승온 조건에서 유기용매를 제거하여 이미드화(Imidization) 반응을 진행시켜 제조하였다. 본 습도 센서는 정전용량형 고감도 습도 센서로 디자인되었으며 실리콘 웨이퍼상에서 일반적인 반도체 공정을 이용하여 구현하였다. 본 습도 센서는 센서 크기와 유효면적, 감습층의 두께를 주요 변수로 설정하였으며 이에 따른 습도 민감성 효과를 평가 및 분석하였다. 측정 결과 유효면적 70%, 감습층 두께 $1.1{\mu}m$ 로 제작된 습도 센서는 상대숨도$20%{\sim}90%$ 영역에서 캐패시턴스와 선형적 상관관계를 보여주고 있으며, 습도 민감도는 3.9 pF/%RH 클 얻을 수 있었다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
• /
• 한국정밀공학회 2004년도 춘계학술대회 논문요약집
• /
• pp.325-325
• /
• 2004

최근 UC 공작기계의 활용성 및 산업전반에 차지하는 중요성이 날로 증가하고, If기술을 접목한 네트워크 솔루션의 비약적인 발달에 힘입어 대부분의 공정들이 자동화됨에 따라 최종 부품의 가공정밀도는 전적으로 CNC 공작기계에 의존한다고 할 수 있다. 그러나 공작기계 각 구성 부품들의 가공오차와 조립 시 발생하는 기하학적 오차, 장시간 사용으로 인한 마모, 구조물의 온도 상승에 따른 열팽창 등으로 인하여 공구와 공작물간에 상대적인 공칭거리와 실제로 운동하는 거리와의 차이가 발생한다.(중략)

• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
• /
• 한국신재생에너지학회 2005년도 춘계학술대회
• /
• pp.335-338
• /
• 2005

Starting with the development of environmentally friendly electric controlled engine, sensors have played an increasing role in automotive technology. Electric power steering (EPS) systems are more and more replacing hydraulic systems. To improve fuel economy, the power assistance is provided by an electric drive. In this paper, development of a unique torque sensor for EPS is introduced. A capacitive type torque sensor is concluded to be suitable for EPS because its output is accurate, linear and robust against the variance of temperature, and patents have not applied so much.

• 한국공작기계학회논문집
• /
• 제13권5호
• /
• pp.55-61
• /
• 2004

Chatter monitoring is also important for realizing an unmanned machining system. while many researches were done on this area, it is still a difficult job to detect very small amplitude amount of chattering. A monitoring system using a capacitive spindle displacement sensor was developed to monitor cutting vibration in turning in this research. The variance of the measured spindle displacement signals using the developed sensor was calculated and utilized to quantify the small vibration in machining. The results were compared with variance obtained using a tool dynamometer. The result showed that the developed system could be utilized in monitoring the subtle changes of cutting vibrations with high sensitivity confidence.

• 대한기계학회논문집A
• /
• 제30권11호
• /
• pp.1369-1375
• /
• 2006

In this work, mechanical characteristics of stainless steel diaphragm have been studied as a potential robust substrate and a diaphragm material for micromachined devices. Lamination process techniques combined with traditional micromachining processes have been adopted as suitable fabrication technologies. To illustrate these principles, capacitive pressure sensors based on a stainless steel diaphragm have been designed, fabricated and characterized. The fabrication process for stainless steel micromachined devices keeps the membrane and substrate being at the environment of 8.65MPa pressure and $175^{\circ}C$ for a half hour and then subsequently cooled to $25^{\circ}C$. Each sensor uses a stainless steel substrate, a laminated stainless steel film as a suspended movable plate and a fixed, surface micromachined back electrode of electroplated nickel. The finite element method is adopted to investigate residual stresses formed in the process. Besides, out-of-plane deflections are calculated under pressures on the diaphragm. The sensitivity of the device fabricated using these technologies is 9.03 ppm $kPa^{-1}$ with a net capacitance change of 0.14 pF over a range 0$\sim$180 kPa.