• Title/Summary/Keyword: 정재초음파

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UBM 스퍼터링법으로 코팅한 벌크비정질합금(BMG) 박막의 특성 연구

  • Park, Hye-Seon;Yang, Ji-Hun;Jeong, Jae-Hun;Song, Min-A;Jeong, Jae-In;Sin, Seung-Yong;Mun, Gyeong-Il
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.02a
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    • pp.335-335
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    • 2013
  • 최근 다기능 소재의 개발이 필요함에 따라 서로 상반되는 2가지 이상의 물성을 동시에 구현할 수 있는 소재의 개발이 요구되고 있다. 4 성분계 물질을 단일 타겟으로 제조함으로써 다수의 타겟을 이용하는 기존 PVD 방법의 복잡성과 재형성 등의 문제점을 해결하고 다기능성을 구현할 수 있는 코팅막을 제조할 수 있게 된다. 본 연구에서는 제조된 4 성분계 모물질을 UBM 최근 다기능 소재의 개발이 필요함에 따라 서로 상반되는 2가지 이상의 물성을 동시에 구현할 수 있는 소재의 개발이 요구되고 있다. 4 성분계 물질을 단일 타겟으로 제조함으로써 다수의 타겟을 이용하는 기존 PVD 방법의 복잡성과 재형성 등의 문제점을 해결하고 다기능성을 구현 할 수 있는 코팅막을 제조할 수 있게 된다. 본 연구에서는 제조된 4 성분계 모물질을 UBM 스퍼터링법을 이용하여 질화 공정을 도출하였고 질소 함량에 따른 물리적 특성 및 박막의 특성에 대해 연구하였다. BMG (Bulk Metallic Glass) 타겟을 이용하여 마그네트론 스퍼터링법으로 박막을 코팅하였다. 시편은 Si wafer, SUS 그리고 부식 특성 평가를 실시하기 위하여 냉연강판을 사용하였다. 시편은 아세톤, 알코올로 각각 10분간 초음파 세척한 후 진공장비에 장착하여 Ar 분위기에서 글로우 방전으로 청정을 30분간 실시하였다. 시편청정이 끝나면 ~$10^{-6}$ Torr까지 진공 배기를 실시하고 Ar 가스를 주입하여 2.5 mTorr로 진공도를 유지하여 스퍼터링으로 박막 코팅을 실시하였다. 스퍼터링 파워는 약 0.6 kW (2.0 A)으로 고정하였고 질소 유량은 0~10 SCCM으로 변화시켜 BMG 박막을 코팅하였다. 질소가 첨가된 BMG 박막에서는 시편의 색상이 노란빛으로 나타났으며 이것은 타겟의 조성 중 가장 많이 함유되어있는 Zr이 질화되어 색상의 변화가 일어난 것으로 판단된다. BMG 코팅을 위해서 진공용기로 주입한 질소의 유량이 소량인 경우에도 BMG 코팅층에 비교적 많은 양의 질소가 존재하였고 일정량 이상에서는 BMG 코팅층에 존재하는 질소의 양이 포화되는 현상을 보였다. 질소 유량 3, 4 SCCM의 BMG 코팅층에서 ZrN (111), ZrN (200) Peak이 관찰되었다. BMG 코팅층의 경도 측정결과 Bias 50 V 인가 시 ~22 Gpa로 경도가 가장 높았다. BMG 코팅층의 내부식 특성을 평가하기 위해 염수분무 시험을 실시하였고 ~$10{\mu}m$의 두께를 갖는 BMG 코팅층에서 염수분무 시작 후 48시간 만에 적청이 발생하였다.

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Characterizing Fracture System Change at Boreholes in a Coastal Area in Korea for Monitoring Earthquake (지진감시를 위한 국내 해안지역 시추공 내 단열계 변화 특성)

  • Cheong, Jae-Yeol;Hamm, Se-Yeong;Ok, Soon-Il;Cho, Hyunjin;Kim, Soo-Gin;Yun, Sul-Min
    • The Journal of Engineering Geology
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    • v.29 no.1
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    • pp.1-12
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    • 2019
  • Earthquake can change underground stress condition around the hypocenter and affect the fracture systems of the rocks. In Korea, the M5.8 Gyeongju earthquake on September 12, 2016 and M5.4 Pohang earthquake on November 15, 2017 occurred inside the Yangsan fault zone and possibly affected the fracture systems in the Yangsan fault zone and nearby rock masses. In this study, the characteristics of the fracture system (fracture orientation, number of the fractures, fracture spacing and aperture, dip angle, fracture density along depth, and relative rock strength) of the rocks in the low/intermediate level radioactive waste repository site located in the coastal area of the East Sea are analyzed by the impact of the Gyeongju and Pohang earthquakes using acoustic televiewer data taken from the boreholes at the radioactive waste repository site in 2005 and 2018. As a result of acoustic televiewer logging analysis, the fracture numbers, fracture aperture, and fracture density along depth overall increased in 2018 comparing to those in 2005. This increase tendency may be due to changes in the fracture system due to the impact of the earthquakes, or due to weathering of the wall of the boreholes for a long period longer than 10 years after the installation of the boreholes in 2005. In the borehole KB-14, on the whole, the orientation of the fractures and the average fracture spacing are slightly different between 2005 and 2018, while dip angle and relative rock strength in 2005 and 2018 are similar each other.

Preoperative Evaluation of Lower Rectal Cancer by Pelvic MR with and without Gel Filling (하부직장암 환자에서 초음파겔 삽입 전후의 골반 자기공명영상의 비교)

  • Kim, Dae Jung;Kim, Joo Hee;Lim, Joon Seok;Chung, Jae-Joon;Yu, Jeong-Sik;Kim, Myeong-Jin;Kim, Ki Whang
    • Investigative Magnetic Resonance Imaging
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    • v.18 no.4
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    • pp.323-331
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    • 2014
  • Purpose : To assess the usefulness of rectal filling using ultrasonographic gel in patients with lower rectal cancer. Materials and Methods: Twenty five patients with lower rectal cancer were enrolled. High resolution pelvic MR was performed twice before and after gel filling. Independently and retrospectively, two radiologists reviewed each set of MR images using five-grade scales for sphincter involvement, CRM (circumferential resection margin) involvement and depiction of the tumor. Same two radiologists retrospectively performed consensus review of each set of MR images for tumor distance from the anal verge and T&N staging. Results: Tumor depiction scores from MR with gel filling were significantly higher than those of MR without distention (p<0.001). Compared to MR without distension, MR with gel filling had no significant differences in prediction of CRM or sphincter involvement (p>0.05). Distance from the anal verge was significantly different between MR with gel filling and rigid endoscopy ($6.8{\pm}1.6cm$ vs. $5.8{\pm}1.6cm$, p=0.001). There were no significant differences between pathological staging and MR staging with or without gel filling. Conclusion: MR with gel filling improved tumor depiction. And also MR with gel filling revealed same ability for the predictions of CRM or sphincter invasion in patients with lower rectal cancer, comparing with MR without gel filling.

A Study on Recycling Technology of Waste Tire Powder by Particle Size Distribution Analysis (입도분포해석에 의한 폐타이어 분말의 재활용 연구)

  • Hwang, Sung-Hyuk;Jung, Jae-Hum;Pack, So-Yoon;Kim, Jin-Kuk
    • Elastomers and Composites
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    • v.38 no.2
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    • pp.128-138
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    • 2003
  • It goes to be serious with environmental pollution because of great number of waste tires scrapped each you. That is why there are lots of studies for efficient recycle. We tried to reduce particle size of the waste tire powder using a new technology of self-designed grinding machine (SDGM) and ultrasonic treatment. The purpose of this study is to improve the physical properties of reduced waste tire powder. We investigated the fine powder by particle size distribution(PSD) analysis. And also we examined the physical and mechanical properties and cross-link density at various particle sire. Also we carried out morphological studies after making the products by SEM.

UBM 스퍼터링을 이용한 Al 박막의 치밀도 향상 연구

  • Park, Hye-Seon;Yang, Ji-Hun;Jang, Seung-Hyeon;Jeong, Jae-In
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.67-67
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    • 2010
  • 본 연구에서는 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 가볍고 내구성이 뛰어난 Al을 다양한 공정 조건에서 냉연 강판에 코팅하여 코팅층의 밀도 측정으로부터 치밀도를 알아보았다. 99.95% 순도의 Al 타겟을 사용하여 강판(냉연강판)과 실리콘 웨이퍼 시편에 증착시켰다. 시편은 알코올과 아세톤으로 초음파 세척을 하였으며 진공용기에서 펄스 전원 공급 장치를 이용하여 플라즈마 청정을 약 30분간 실시하였다. 시편 청정이 끝나면 ${\sim}10^{-6}$ Torr 까지 진공 배기를 실시하고, Ar 가스를 진공용기 내로 공급하여 ${\sim}10^{-3}$ Torr로 진공도를 유지하면서 스퍼터링으로 박막 코팅을 실시하였다. 전자석에 전류를 인가하지 않은 시편의 Al 코팅층 밀도는 bulk 밀도의 81%이며 전자석에 역방향 3 A의 전류를 인가시킨 시편의 Al 코팅층 밀도는 bulk 밀도의 약 94%를 보였다. Al 코팅층의 SEM 분석 결과, 스퍼터링 파워 증가에 따라 Al 코팅층 조직에 기공이 많아지고 두께가 증가하는 경향을 보였다. 또한 전자석의 순방향 전류가 증가하면 박막의 두께가 증가하고 치밀도가 낮아지는 반면 전자석의 역방향 전류가 증가할수록 Al 코팅층의 조직은 치밀해졌으며 전자석 전류를 역방향 3 A로 고정하고 스퍼터링 파워를 변화시켜 Al을 코팅하면 타겟 인가전압 1.5 A에서 가장 치밀한 Al 코팅층 조직을 얻을 수 있었다. 가장 치밀한 조직을 갖는 $1.57{\mu}m$의 Al 코팅층은 염수분무 시작 후 약 48시간 후에도 적청이 전면적의 5% 이내로 발생하였다. 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 냉연강판에 Al을 증착하였고 치밀한 조직의 박막을 형성함으로써 냉연 강판의 내식성을 향상할 수 있는 공정기술을 개발하였다.

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Dynamic Contrast-Enhanced MR Imaging in Detecting Local Tumor Progression after HIFU Ablation of Localized Prostate Cancer (국소적 전립선암의 고강도 집속 초음파 치료 후 국소적 암 재발의 발견과 역동적 조영증강 자기공명영상의 역할)

  • Park, Jung Jae;Kim, Chan Kyo;Lee, Hyun Moo;Park, Byung Kwan;Park, Sung Yoon
    • Investigative Magnetic Resonance Imaging
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    • v.17 no.3
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    • pp.192-199
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    • 2013
  • Purpose : To retrospectively evaluate the diagnostic performance of dynamic contrast-enhanced MR imaging (DCE-MRI) in detecting recurrent prostate cancer after HIFU of clinically localized cancer, as compared with T2-weighted imaging (T2WI). Materials and Methods: Twenty-six patients with increased prostate-specific antigen levels after HIFU were included in this study. All MR examinations were performed using T2WI and DCE-MRI, followed by transrectal ultrasound-guided biopsy. MRI and biopsy results were correlated in six prostate sectors. Residual or recurrent cancer after HIFU was defined as local tumor progression if biopsy results showed any cancer foci. Two independent readers interpreted the MR images. Results: Of 156 prostate sectors, 51 (33%) were positive for cancer in 17 patients. For detecting local tumor progression, the sensitivity of DCE-MRI and T2WI was 80% and 57% for reader 1 (P < 0.001) versus 84% and 61% for reader 2 (P < 0.001), respectively. The specificity and overall accuracy between DCE-MRI and T2WI showed no statistical difference in both readers (P > 0.05). Interobserver agreement of DCE-MRI and T2WI was moderate and fair, respectively. Conclusion: For detecting local tumor progression of prostate cancer after HIFU, DCE-MRI was more sensitive than T2WI, with less interobserver variability.

Characteristics of Particle Separation in Water Using Lab-Scale Acoustic Standing Wave (실험실 규모의 음향정재파를 이용한 수중의 입자분리 특성)

  • Ahn, Jaehwan;Kang, Sungwon;Ahn, Kwangho;Kim, I tae;Kim, Seog gu;Ahn, Hosang;Lee, Youngsup
    • Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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    • v.34 no.12
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    • pp.787-791
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    • 2012
  • Characteristics of particle separation in water using labscale acoustic standing wave were studied. Acoustic standing wave is similar to either sound wave or ultrasonic, which makes a constant wave while returning to the origin by reflector. During that time, particulates dispersed in water are collected on the node of wave, where a sound pressure is zero. Acoustic standing wave transducer as of 28.0 kHz and 1.0 MHz were utilized and $6.8{\mu}m$ kaolin and $100.5{\mu}m$ redmud in average diameter were used as experimental materials in water. Once acoustic standing wave are generated in water, water temperature rises by $0.15{\sim}0.20^{\circ}C/min$ due to a sound pressure. Initial concentration of kaolin and redmud were controlled to have same as of 0.1, 0.2, 0.3, 0.4, 0.5 g/L, respectively. Removal efficiency of the turbidity in a reacting chamber after 5 minutes, when acoustic sound wave was formed in most distinct, was measured to have 18.2~56.2% for kaolin and 23.0~53.6% for redmud at 1.0 MHz. Particle separation was not observed at 28.0 kHz.

Properties of TiN films prepared by using the DC sputtering and HIPIMS. (DC 스퍼터링과 HIPIMS로 제조한 TiN 박막의 특성 비교)

  • Byeon, In-Seop;Yang, Ji-Hun;Jeong, Jae-Hun;Kim, Seong-Hwan;Jeong, Jae-In
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2016.11a
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    • pp.102-102
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    • 2016
  • 본 연구에서는 직류 전원(direct current; DC)을 이용한 스퍼터링과 고전력펄스 마그네트론 스퍼터링(high-power impulse magentron sputtering; HIPIMS)의 두 가지 방법과 빗각 증착을 적용하여 제조한 티타늄 질화물(TiN) 박막의 미세구조 변화가 물성에 미치는 영향을 확인하였다. TiN 박막은 99.5%의 Ti 타겟을 사용하고, Ar가스와 $N_2$ 분위기에서 스테인리스(SUS304)와 초경(cdmented carbide; WC-10wt.%Co) 기판위에 코팅하였다. 기판은 알코올과 아세톤으로 초음파 세척을 실시한 후 진공용기에 장착하고 기본 진공도인 ${\sim}2.0{\times}10^{-5}Torr$ 까지 진공배기를 실시하였다. 기판과 타겟 간의 거리는 DC 스퍼터링은 10 cm, HIPIMS 스퍼터링은 8.5 cm 이었다. 진공용기의 압력이 기본 진공도까지 배기되면 Ar 가스를 ${\sim}10^{-2}Torr$로 주입한 후 기판에 라디오 주파수(radio frequency; RF) 전원으로 약 -800 V의 전압을 인가하여 글로우 방전을 발생시키고 약 30 분간 청정을 실시하였다. 기판의 청정이 끝난 후 기본 진공도까지 배기한 후 Ar와 $N_2$ 가스를 ${\sim}10^{-3}Torr$로 주입하여 TiN 코팅을 실시하였다. 빗각의 크기는 $45^{\circ}$$-45^{\circ}$이며, TiN 박막의 총 두께는 약 $2.5{\sim}4.0{\mu}m$ 로 유지하였다. 공정조건에 따라 TiN 박막의 주상정은 형태와 기울어진 각도가 다른 것을 확인하였다. DC 스퍼터링으로 제조된 TiN 박막은 기판홀더에 약 -100 V 의 bias 전압을 인가하면 인가하지 않은 박막에 비해 치밀한 박막의 성장과 경도 값도 증가하는 사실을 확인하였다. 또한 빗각을 적용하고 bias 전압을 인가하지 않은 시편에서 박리현상이 일어났다. HIPIMS로 제조한 TiN 박막은 bias 전압을 인가한 박막과 인가하지 않은 박막의 주상정 형상과 경도 값에 큰 차이가 없었으며, 박막의 박리현상은 모든 시편에서 일어나지 않았다. DC 스퍼터링으로 제조한 TiN 박막은 bias 전압을 인가하지 않으면 색상이 노란색이 아닌 갈색으로 나타났으며, HIPIMS으로 제조한 박막은 bias 전압 인가 유무에 상관없이 노란색 색상을 나타냈다. 앞서 설명한 DC 스퍼터링과 HIPIMS의 공정조건에 따라 나타난 박막의 경도, 색상, 물성변화 차이는 DC 스퍼터링보다 높은 HIPIMS의 이온화율에서 기인한 것으로 생각된다. 본 연구결과를 이용하면 다양한 형태의 박막 구조 제어가 가능하고 이러한 미세구조 제어를 통해서 박막의 물성도 제어가 가능할 것으로 판단된다.

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Left Atrial Myxoma with a Feeding Artery from the Left Circumflex Coronary Artery? - A case report - (관상동맥 좌회선지에서 기원하는 영양혈관을 갖는 좌심방 점액종 - 1예 보고 -)

  • Kim, Yun-Seok;Je, Hyoung-Gon;Jung, Jae-Seung;Lee, Jae-Won
    • Journal of Chest Surgery
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    • v.40 no.12
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    • pp.863-866
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    • 2007
  • A 64 year-old woman presented to out hospital because of syncope. Transesophageal echocardiography showed a $4.2{\times}2.4\;cm$ hypervascular mass in the left atrium. We assessed the mass to be a myxoma and we planned to excise the mass. The preoperative coronary angiography showed a feeding artery with an inner diameter of 2mm originating from the left circumflex coronary artery, so we excised the mass and clipped the feeding artery with two clips at the epicardium with a good result.

Left Atrial Rupture with Stable Vital Signs - A case report - (정상인 활력증후를 보인 좌심방 파열 - 1예 보고 -)

  • Jeong, Jae-Han;Cho, Sung-Woo;Shin, Yoon-Cheol;Lee, Hee-Sung;Kim, Kun-Il
    • Journal of Chest Surgery
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    • v.41 no.5
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    • pp.633-635
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    • 2008
  • Cardiac rupture after blunt chest trauma is a relatively uncommon diagnosis, and it is associated with a very high mortality rate. A 41-years-old man crashed his car into a guardrail and he was then transported to hospital. Although unstable vital signs are the most common symptoms of cardiac injury, this patient had stable vital signs. The chest CT scan showed pericardial effusion, and echocardiography did not clearly reveal cardiac tamponade, but the right atrium was slightly collapsed. Cardiac injury was suspected, and surgery was commenced for obtaining the diagnosis and treatment. A 2cm laceration at the junction of the left atrium and the lefl inferior pulmonary vein was discovered and this was repaired with $4{\sim}0$ Polypropylne monofilament sutures. We report here on the successful management of a patient with left atrial rupture following blunt chest trauma.