• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 1993년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.192-197
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• 1993

반도체 기억소자의 급격한 발전추세에 대응하기 위해서는 노광(exposure) 장비의 증첩정밀도 (overlay accuracy)가 같이 개선되어야 한다. 본 연구에서는 64M ERAM 제조를 목적으로개발된 스텝 퍼(stepper) 시스템의 성능평가 항목 중에서 증첩정밀도에대한 측정방법 및 현재까지의 연구결과를 기술하였다. 제작된 웨이퍼 정렬계는 off-axis 및 TTL 광학계와 이들 정렬신호에 따라 움직이는 웨이 퍼 구동계로 구성되어 있다. off-axis 광학계는 화상처리와 회절의 두 가지 방식이 가능하도록 설계 제작되었으며, TTL 광학계는 dual beam interferometric method를 이용하였다. 본 실험의 결과는 웨이퍼 정렬계의 특성을 평가한 것으로서, 현재까지 off-axis 정렬 방법만으로 얻은 증첩정밀도는 0.26-0.29$\mu$m (m+3 $\sigma$ )이다. 따라서 여기에 이미 제작되어 있는 TLL 정렬광학계를 추가로 사용하면 0.1 $\mu$m 이하의 정밀도에 이를 것으로 예측된다.

• 한국항공우주학회지
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• 제32권10호
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• pp.142-146
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• 2004

인공위성용 지구관측 카메라나 천문관측 망원경에는 무게와 부피의 제약 때문에 Cassegrain 방식 망원경이 많이 쓰인다. 이와 같은 위성용 광학계의 성공적인 임무 수행을 위해서는 광학계의 정밀 정렬이 필수적이다. 본 논문에서는 인공위생용 지구관측 카메라인 MAC (Medium-sized Aperture Camera)의 조립 과정에 적용된 컴퓨터를 이용한 광학정렬 방법의 모사와 정렬실험 결과를 정리한다.

• 한국광학회지
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• 제15권4호
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• pp.391-396
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• 2004

인공위성용 지구관측 카메라나 우주관측 망원경에는 크기와 무게의 제약 때문에 Cassegrain 방식의 망원경이 많이 쓰인다. 이와 같은 우주광학계의 성공적인 임무수행을 위해서는 망원경부의 정밀한 광학정렬이 매우 중요하다. 본 논문에서는 정렬 정밀도에 따른 Cassegrain 방식 망원경부의 광학정렬 방법 중, 간섭무늬를 이용한 방법, 파면오차를 이용한 방법, 역최적화 광학정렬 방법 등을 모사를 통해 제시하고, 현재 개발 중인 구경 300 mm급 소형 위성용 카메라에 적용한 광학정렬 실험 결과를 정리한다.

• 광학세계
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• 통권177호
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• pp.50-51
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• 2020

• 한국안광학회지
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• 제7권2호
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• pp.123-128
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• 2002

본 연구는 PDP, FED의 진공결합용 광학정렬장치 개발하는 것으로, 진공장치 내에서 전면기관과 배면기관을 접합할 때 매번 똑같이 정확하게 빠르게 정렬하는 것은 매우 어려운 정밀 기술이다. 특히 이러한 기술은 선진국으로부터 이전 받기가 가장 어렵다. 본 연구에서는 광학설계 기술을 사용하여 장초점의 고배율 렌즈계가 되도록 구성한 CCD 사진기와 화상처리장치로 진공접합용 광학정밀장치를 개발하여 진공장치 내에서 두 기관의 정렬의 정확도를 크게 높였다.

• 한국광학회지
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• 제17권2호
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• pp.186-190
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• 2006

공초점 불안정형 공진기의 광학 정렬을 정밀하게 수행할 수 있는 새로운 개념의 null 렌즈 광학 정렬 방법을 제안하였다. 제안된 정렬 방법은 3.5 m 공진기에 적용하여 민감도 분석을 통해 실용성 여부를 판단하였으며, 공진기의 길이 변화가 1.0 mm 발생하였을 때와 반사경이 광축에 대하여 1.0 mrad 기울었을 때에 대한 pupil map 분석 데이터를 제시하였다.

• 한국정밀공학회지
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• 제23권5호
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• pp.103-110
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• 2006

Automatic optical alignment modules are a key technology in optical communication system. However, the optic component assembly depends highly on manual or semi-automated alignment process. In this paper, a novel alignment mechanism with minimum degree-of-freedom has been designed and theoretical models are derived from geometric optical characteristics on collimators, optical filters and optical ray alignment. The automatic alignment control algorithm has been newly developed based on the mechanism and models, and then we make fast, precise and reliable alignment through the algorithm. The reliability of developed modules has been verified with various simulations and performance evaluations.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2003년도 학술회의 논문집 정보 및 제어부문 B
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• pp.472-475
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• 2003

현재 광 정렬 시스템에 채용하고 있는 다채널 광 파워미터는 측정 채널의 수가 증가하는 상황이다. 그러나 기존 시스템 제어를 통한 각 채널의 정밀한 정렬은 다 채널 광 파워미터 기술에 적합하지 않은 방식이다. 그러므로 본 논문에서는 기존 방식을 채택한 광 정렬 방식을 개선하기 위해 하다마스 변환 복원 알고리즘을 이용한 광 능동 정렬 검출 방법을 제안한다. 다채널 광학 정렬 시스템에서 가장 중요한 문제는 채널의 증가에 따라 채널별 정렬의 정밀도가 떨어진다. 기존 정렬 시스템에서 채용하고 있는 다채널 광 파워미터의 기술 수준은 약 4채널까지 동시 측정이 가능하였다. 이 방법은 채널 양쪽에 검출기를 설치하여 광량의 최대 지점을 최적 정렬 위치로 결정한다. 그러나 시스템 채널이 증가할 수록 안쪽에 위치한 광소자를 정렬을 무시하기 때문에 정확한 정렬에 적합하지 않다. 그리고 고속, 대용량의 데이터 처리요구에 맞추기 위한 64채널 광소자 생산을 위해서는 16개의 4채널 광 파워미터를 사용하는 방법이 있으나 이는 신뢰할 만한 수준의 측정치를 제공하지 못한다. 따라서 새로운 개념을 적용한 다채널 동시측정을 위한 광소자 측정 기술 및 광 파워미터의 개발이 절실히 요구되고 있는 실정이다. 하다마드 변환 복원 알고리즘을 이용한 광 능동 정렬 검출 시스템은 이러한 요구를 충족시킬 수 있다. 그러므로 본 논문은 하다마드 변환 복원 알고리즘을 이용한 광 능동 정렬 검출 시스템이 기존의 시스템보다 우수한 알고리즘과 성능을 가지고 있음을 실험을 통해 입증한다.

• 한국광학회지
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• 제17권4호
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• pp.354-358
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• 2006

적층으로 구성되는 초소형 전자렌즈의 실리콘 렌즈와 절연체인 파이렉스는 접합과 정렬을 동시에 수행하여야 한다. 이를 위한 방법으로 회절을 이용한 정렬과 레이저 접합을 이용하였으며, source 렌즈와 Einzel 렌즈의 정렬오차는 가장 큰 개구를 기준으로 최대 $\pm$4% 이내에서 이루어졌다. 정렬 조건과 레이저 접합 조건을 제시하였으며, 접합을 견고히 하기 위한 양극 접합 방식을 기술하였다. 전류영상화를 통해 선폭이 9 $\mu$m인 Cu grid를 시험한 결과 완성된 전자렌즈는 감속모드보다 가속모드에서 분해능이 좋았으며, 작은 개구를 가진 렌즈의 정밀한 정렬과 조합으로 높은 분해능을 믿을 수 있었다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2003년도 하계학술대회 논문집 D
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• pp.2118-2120
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• 2003

다중 채널 광학 정렬 시스템에서 가장 중요한 문제는 각 채널별 정렬이 얼마나 정밀하게 이루어지며 향후 패널의 다중화가 어느 선까지 가능할 수 있는가이다. 기존 시스템은 채널 양쪽에 검출기를 설치하여 광량의 최대 지점을 정렬 위치로 결정하는 방식을 사용했다. 그러나 시스템 채널이 증가함에 따라 정밀한 정렬과 만족할 만한 성능을 얻기에는 어느 정도 한계가 있음을 알 수 있었다. 이러한 단점을 보완하기 위해 본 논문은 단일 검출기를 사용하여 패널별 광량을 측정할 수 있는 방법을 제안한다. 그리고 복원 알고리즘을 통해 기존의 시스템과 다른 측정법과 만족할 만한 결과를 도출하는 방법을 소개하고자 한다.