• 한국산학기술학회논문지
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• 제9권1호
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• pp.23-28
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• 2008

마이크로칼럼에 사용되는 전자렌즈는 MEMS 공정으로 정밀하게 가공되어 기존의 전자칼럼에 비하여 광학수차를 최소화 할 수 있으며, 이는 전자칼럼의 성능 향상에 주요한 요소로 작용한다. 습식 식각과 건식 식각에 의해 형성되는 전자렌즈의 모양과 배열조합에 따른 전자 광학계 연구는 중요한 의미가 있다. 마이크로칼럼은 전자방출원, source 렌즈, deflector, focus 렌즈(Einzel 렌즈)로 구성되는데, 전자빔의 특성에 가장 큰 영향을 주는 source 렌즈의 구성 요소 중 extractor와 limiting aperture의 모양에 따른 전자빔 특성을 조사하여 마이크로칼럼 제작에 있어서 최적화된 전자렌즈 조합을 도출하였다.

• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
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• 한국소음진동공학회 2007년도 춘계학술대회논문집
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• pp.185-190
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• 2007

최근 반도체 및 디스플레이 산업 등에서 초정밀 가공, 측정 등이 필요함에 따라, 외란과 내부 진동을 차단하는 방진 시스템에 대한 연구가 활성화 되고 있다. 기존에 소개된 여러 방진 시스템 중에서 가장 많이 연구되는 공기스프링은 압축 공기를 이용하여 큰 하중을 지지할 수 있으면서 상대적으로 낮은 강성으로 낮은 고유진동수를 유지할 수 있다. 본 연구는 기존의 레벨링 밸브를 이용한 수동 방진 시스템을 분석하여 이를 개선하고 능동 방진 시스템을 설계한다. 공기의 비선형 특성에 기인하는 복잡한 비선형 시스템 제어에 PID 제어기 보다 유리한 퍼지 제어기를 설계하였고, 실험과 해석을 비교하였다.

• 한국분말재료학회지
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• 제20권4호
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• pp.308-312
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• 2013

In this paper, we describe experiment results using a vibration assisted hybrid femtosecond laser (${\lambda}$:795 nm) ultra-precision machining system. The hybrid system we have developed is possible that optical focal point of the femtosecond laser constantly and frequently within the range of PZT(piezoactuator) vibrator working distance. Using the hybrid system, We have experimented on brass and studied about differences of result of hole aspect ratio compare to general experiment setup of femtosecond laser system. Aspect ratio of a micro hole on brass is increased as 54% with 100 Hz vibration frequency and surface roughness of the side wall also improved compare to non-vibration.

• 한국결정학회지
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• 제12권2호
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• pp.102-112
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• 2001

단결정 실리콘의 기계적 손상거동에 대한 이해는 반도체 정밀가공의 관점에서 매우 중요하다. 최근 이루어지고 있는 Diamond Anvil Cell(DAC) 이나 압입시험을 통한 고압상연구로 부터 실리콘은 고압에서 일련의 상변화과정을 겪는다는 것이 알려지고 있으며 마찬가지로 실리콘에 다이아몬드 팁으로 scratching시험을 하는 과정에서 다양한 기계적인 손상과 응력상들이 나타날 수 있다. 본 연구에서는 단결정 실리콘에 대하여 scratching시험에 의하여 나 타나는 균열에 대하여 고찰하고 mirco-Raman 분광법을 사용하여 scratching에 의하여 나타나는 상을 분석하였다. 그 결과 scratching 방향과 속도에 따라 균열의 양상이 달라지며 scratching속도와 하중조건에 따라 여러가지 다른 상이 관찰됨을 확인하였다

• 천문학논총
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• 제22권3호
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• pp.55-61
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• 2007

The KASINICS (Korea Astronomy and Space science Institute Near Infrared Camera System) is a ground-based near-infrared (NIR) imaging instrument. KASINICS has offner relay optics to reduce unwanted infrared light. For the offner optics, we adopted an ultra precision machining process which is installed at KBSI (Korea Basics Science research Institute). Since the offner relay optics is made of aluminum 6061 metal material, we did several tests to reach the specification. We found that a 0.497mm radius nose bite and 220m/min machining speed are best tool and condition to make this offner optics with the precision machine. In this paper, we report the technical method of ultra precision machining and results of the KASINICS offner optics.

• 한국지능시스템학회논문지
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• 제23권1호
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• pp.24-28
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• 2013

이 논문에서는 아동 크기 휴머노이드 로봇의 설계 및 개발과정에 대하여 기술한다. 경량형 휴머노이드 로봇의 설계 개념을 제시하고, 3차원 설계 툴을 이용하여 1m 이상 크기 휴머노이드 로봇의 메커니즘을 설계하였다. 로봇의 구동을 위한 하드웨어는 제한된 로봇의 무게 내에서 최적의 성능을 낼 수 있도록 설계하였다. 3차원 설계 툴을 사용하여 설계한 로봇의 프레임 및 링크들은 가볍고 강도가 좋은 재료를 선정하고 정밀 가공을 통해 제작하였다. 제작된 아동 크기의 휴머노이드 로봇은 역기구학, 균형제어를 적용하여 기본 동작을 구현하고 그 성능을 실험을 통하여 확인하였다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2010년도 하계학술대회 논문집
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• pp.179-179
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• 2010

본 연구에서는 무안경식 3 차원 입체영상 기술에 쓰이는 렌티큘러 렌즈의 제작공정 중 오차(Error)로 작용할 수 있는 몇 가지 변수를 가정하였고 이러한 변수의 오차에 의해 좌우되는 가장 중요한 성능인자인 광학적 상호간섭 (Cross-Talk)을 최소화하도록 연구를 수행하였다. 이를 위해서 초정밀절삭가공과 UV경화법을 사용하였고 광학적 상호간섭 (Cross-Talk)에 가장 큰 영향을 주는 피치공차 (Allowance)를 ${\pm}0.5{\mu}m$내로 줄여서 3차원 입체감을 향상시킬 수 있음을 확인하였다.

• 한국공작기계학회:학술대회논문집
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• 한국공작기계학회 2003년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.376-381
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• 2003

Ultra precision diamond cutting is a very efficient manufacturing method for optical parts such as HOE, Fresnel lenses, diffraction lenses, and others. During micro cutting, the rake angle is likely to become negative because the tool edge radius is considerably large compared to the sub-micrometer-order depth of cut. Depending on the ratio of the tool edge radius to the depth of cut, different micro-cutting mechanism modes appear. Therefore, the tool edge sharpness is the most important factor affecting the qualities of machined parts. That is why diamond especially mono-crystal diamond, which has the sharpest edge among all other materials is widely used in micro-cutting. The question arises, given a diamond tool, what is the minimum (critical) depth of cut to get continuous chips while in the cutting process\ulcorner In this paper, the micro machinability around the critical depth of cut is investigated in micro grooving with a diamond tool, and introduce the minimizing method of cutting depth using vibration cutting. The experimental results show the characteristics of micro cutting in terms of cutting force ratio (Fx/Fy), chip shape, surface roughness, and surface hardeing around the critical depth of cut.

• 한국결정성장학회지
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• 제22권5호
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• pp.223-226
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• 2012

이종(異種)금속을 접합 가공하는 모꾸메가네기법, 상감기법 등의 기존 제작 방식은 주얼리 대량생산에 있어 표현 및 제작 상 많은 제한이 따른다. 이를 극복하기 위하여 기존의 정밀주조기법과 CAD/CAM방식을 융합한 다중(多重)주물 제작기법을 제시하였다. 주얼리 원본제작에 있어 CAD/CAM을 활용하여 2차 원본은 1차 원본보다 5 % 작게 제작하였다. 1차 황동 주조물에 2차로 은을 주조하여 실험하였으며, 2차 주조 시 통상적 주조의 플라스크 온도 보다 약 $150{\sim}200^{\circ}C$ 높게 주조하였다. 다중주물 방식을 통하여 대량생산이 가능한 이종(異種)금속의 주얼리를 손쉽게 제작할 수 있었다.

• 전력전자학회:학술대회논문집
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• 전력전자학회 2006년도 전력전자학술대회 논문집
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• pp.501-503
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• 2006

최근 산업 분야에서 리니어모터는 고속, 고정밀도의 요구사항에 따라 회전 모터와 볼 스크류, 벨트를 이용한 직선구동방식보다 빠르고 정확하며, 효율이 높기 때문에 활발히 이루어지고 있다. 리니어모터 중에서 선형 브러시리스 직류 전동기(LBLDCM)는 다른 리니어모터에 비해 소형, 경량이 가능하고, 저속 및 고속의 운전이 용이하며, 기계 가공 정도보다는 엔코더 등과 같은 위치 결정 응용 분야에 적합하며 본 연구에서 사용된 LBLDCM은 코일 가동형으로 영구 자석에 의해 발생된 자계와 가동자 코일에 흐르는 전류 사이에 작용하는 힘을 이용하게 된다. 이와 같은 LBLDCM을 응용분야에 적용하기 위해서는 구동 중에 속도가 변하는 지점에서 발생하는 진동을 줄여야 하며 목표지점까지의 정확한 위치 제어가 필수적이다. 따라서, 본 연구에서는 다양한 속도 프로파일에 따른 진동에 대해 비교 분석한 후, 이동거리에 따른 적합한 속도 프로파일에 대해 알아보았고, 그 결과를 토대로, 목표지점까지의 위치 오차를 저감하면서 정밀한 위치 제어에 적합한 프로파일을 제시하였다.