• Title/Summary/Keyword: 정밀측정장비

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Optical Fiber Wavemeter Using a Polarization Interferometer (광섬유 편광간섭계를 이용한 광파장 측정)

  • 이현우;이영주;김용평
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2000.02a
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    • pp.86-87
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    • 2000
  • 지금까지 광파장 측정기로는 회절격자를 이용한 스펙트로미터$^{[1]}$ , 간섭계형 측정기$^{[2]}$ , 퓨리어변환 스펙트로미터$^{[3]}$ 등이 개발되어 왔다. 이러한 측정 방법들은 정밀도면에서 안정적이나 시스템의 부피가 크고, 복잡하며, 광학적 정렬의 어려움이 있다. 또한 WDM 파장영역인 1550nm 부근에서 회절격자를 이용한 스펙트로미터는 고가의 광검출기를 사용하여야 한다. 최근에는 기존의 광학적 정렬이나 기계적인 움직임이 없이 측정가능한 방법에 대한 연구가 활발하다. 본 논문에서는 위상지연기로 쓰인 Polarization Mantaining Fiber(PM-fiber)내에서 입사광의 파장에 따라 fast축과 slow축 방향 편광성분의 위상차가 파장의 함수인 것을 이용해 이 위상차에의한 서로 다른 편광성분의 Power의 차이를 측정함으로써 파장을 결정하는 저가의 휴대용 광파장 측정장비의 구현방법을 제시하였다. (중략)

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A Study on Experimental Vibration pre-estimation Techniques of Structure (구조물의 실험적 진동예측 기술에 관한 연구)

  • 이홍기;권형오
    • Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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    • 1992.10a
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    • pp.48-52
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    • 1992
  • 진동원을 가진 장비를 임의의 구조물에 설치할 경우 관심이 되는 문제는 구 조물의 임의의 위치에서의 진동 수준을 추정하는 일이다. 특히 정밀장비를 다루는 반도체 공장에서 크린룸이나, 정밀측정, 분석 실험실등 미진동을 제 어해야 하는 분야에서는 더욱 그 필요성이 대두되고 있다. 진동제어가 필요 한 공간에 대한 진동수준의 예측이 가능할 경우 진동윈이나 수진점(active and passive type)방진에서 최적화된 전달률(transmissibility)을 명확히 결정 할 수 있어 설계와 시행오차를 최소화 할 수 있다. 그러나 이러한 실제문제 를 다룰 경우 대부분 진동제어 구조물은 복잡하고 설치 운용되는 장비들은 대형, 복합장비가 사용되는 것이 일반적이고 수행기간도 여러가지 공정상 단 시간에 이루어져야 하는 현실적인 어려움이 있다. 진동제어가 필요한 구조물 에 대한 임의의 공간에서 진동수준을 신속하고 정확하게 예측하기 위해서는 최소한 두 가지 정보만이라도 명확히 해야 한다. 하나는 장비의 주파수별 정 확한 가진력의 산정이고 다른 하나는 장비가 설치되고 진동제어가 필요한 구조물에 대한 동적특성(dynamic property)이다. 가진력에 대한 정보는 일반 적으로 장비제작사가 제시하는 것이 원칙이나 그렇지 못할 경우 구조해석 기술자(structure engineer)가 해석적으로 추정하거나 또는 명확히 가진 특성 을 알지 못하는 복잡한 장비는 실험적으로 결정해야 한다. 구조물의 동적 특 성을 나타내는 모빌리티(mobility)를 구하는 방법은 해석적인 방법과 실험적 인 방법이 있으나 복합재료, 복잡한 구조형태나, 지지조건, 다양한 결합부의 동적 특성을 정의하여 해석적으로 정확히 해결하기에는 어려움이 있다. 이러 한 제한조건을 손쉽게 해결하는 방법은 실 구조물에 대한 동적실험(dynamic test)을 통하여 단기간에 동적특성을 결정하고 SDM(structure dynamic modification)이나 FRS(force response simulation)를 수행하여 임의의 좌표 공간에 대한 진동수준을 해석적으로 예측할 뿐만 아니라 구조물의 진동제어 를 위한 동적인자를 변경시킬 수 있는 정보를 제공하며 장비를 방진할 경우 신뢰성 있는 전달률을 결정할 수 있다. 실험적으로 철교, 교량이나 건물의 철골구조 및 2층 바닥 등 대,중형의 복잡한 구조물에 대항 동특성을 나타내 는 모빌리티를 결정할 경우 충격 가진 실험이 사용되는 실험장비 측면에서 나 실험을 수행하는 과정이 대체적으로 간편하다. 그러나 이 경우 대상 구조 물을 충분히 가진시킬수 있는 용량의 대형 충격기(large impact hammer)가 필요하게 된다. 이러한 동적실험은 약 길이 61m, 폭 16m의 4경간 교량에 대 하여 동적실험을 수행하여 가능성을 확인하였다. 여기서는 실험실 수준의 평 판모델을 제작하고 실제 현장에서 이루어질 수 있는 진동제어 구조물에 대 한 동적실험 및 FRS를 수행하는 과정과 동일하게 따름으로써 실제 발생할 수 있는 오차나 error를 실험실내의 차원에서 파악하여 진동원을 있는 구조 물에 대한 진동제어기술을 보유하고자 한다.

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Calibration System Suitability Evaluation and Test Limits Determination Method through Factor Analysis of Uncertainty (불확도 요인 분석을 통한 교정 시스템 적합성 평가 및 시험기준 결정 방안)

  • Kim, Hong-Tark;Kim, Boo-Il
    • The Journal of the Korea institute of electronic communication sciences
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    • v.14 no.6
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    • pp.1139-1144
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    • 2019
  • A calibration system for diagnosing and confirming the performance of precision measuring instruments minimizes the risk of misjudgment of calibration resulted by complying with international standard requirements in order to ensure the reliability of calibration results. This paper uses a proposed calibration system suitability assessment and a guard-band technique through an analysis of uncertainty factors when it is impossible to acquire and operate high-performance equipment at a calibration laboratory, and proposes an optimized test limit output model substituting performance standards. The proposed method provides an optimized test standard to meet the quantitative evaluation criteria of the calibration system and the probability of false acceptance risk required by international standards.

고분해능 XRD를 이용한 150 mm 사파이어 웨이퍼의 정밀한 면방위 측정

  • Bin, Seok-Min;Yu, Byeong-Yun;Jeon, Hyeon-Gu;Kim, Chang-Su;O, Byeong-Seong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.08a
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    • pp.306-306
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    • 2012
  • 사파이어 단결정은 LED 소자의 기판으로 널리 사용되고 있으며 현재 소재 수율을 향상시키기 위하여 6인치 이상의 대구경 웨이퍼를 만들기 위하여 많은 노력을 경주하고 있다. 단결정, 특히 반도체 단결정 웨이퍼에서($00{\cdot}1$), ($11{\cdot}0$) 등의 어떠한 결정학적인 방위(crystallographic orientation)가 표면과 이루는 각도, 즉 표면방위각(off-cut 또는 misorientation angle)의 크기와 방향은 제조된 LED 소자의 물성에 영향을 끼치므로 웨이퍼를 가공할 때 정확하게 컨트롤해야한다. 본 연구에서는 고분해능 X-선을 이용하여 표면이 결정학적 방향과 이루는 면방위각을 정밀하게 결정하는 측정법을 연구하였다. 본 연구에서는 기존의 ASTM 의 측정법과는 다른 원리를 이용하고 웨이퍼의 휨(bending)이나 측정고니오 회전축의 편심과 무관하게 표면방위각을 결정하는 새로운 이론적 모델을 제시하고 그 모델을 적용하여 표면의 수직축이 대구경 사파이어($00{\cdot}1$) 축과 이루는 표면방위각을 정확하게 측정 분석하였다. 그리고 이러한 측정방법의 장점을 이용하여 ASTM의 측정법과 면방위 측정 결과를 비교 분석 하였다. 150 mm 사파이어 웨이퍼를 ASTM의 방법으로 면방위를 측정하였을 때 고분해능 장비에서 회전축 ${\Phi}$의 기준을 다르게 설정함에 따라서 수직/수평 면방위 측정결과가 많은 차이를 보였다. 그러나 본 연구에서 사용한 측정법에서는 이러한 수직/수평 면방위의 값들이 거의 변화하지 않고 일정하게 나타나는 것을 확인 하였으며, 측정한150 mm 사파이어 웨이퍼의 표면방위각은 $0.21^{\circ}$이고 표면각이 나타나는 방향은 웨이퍼의 primary edge 방향으로부터 $1.2^{\circ}$벗어나 있는 방향이었다.

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The Study of continuous cardiac output measurement module development of the cardiopulmonary function patient of using the Swan-Ganz Catheter (Swan-Ganz Catheter를 이용한 심폐기능 이상자의 지속적 심박출량 측정 모듈 개발에 관한 연구)

  • Han, Seung-Hwan;Kim, Young-Kil
    • Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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    • 2012.05a
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    • pp.194-197
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    • 2012
  • The purpose of the thesis is to develop a module which can measure precise Continuous Cardiac Output(CCO) better than existing equipments for the critical cardiopulmonary patient diagnosis purpose. This module enables more precise and effective diagnosis and treatment for the patient by compensating old method which injected cold liquid to inside of heart to measure the CCO.

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Simultaneous measurement of the parallelism and the relative surface figure of a nontransparent plate using visible light (가시광선을 이용한 불투과 평면창의 평행도 및 상대적 표면형상 동시측정)

  • 김연수;김현숙
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.13 no.2
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    • pp.89-91
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    • 2002
  • A test method that can measure the parallelism and the surface figure of an nontransparent plate using visible light is proposed. The testing system consists of a Twyman-Green interferometer. In addition, test results for the IR filter of IR MTF measuring system are described.

Simulation Modeling of Range and Acceleration Measurement Instruments for Satellite Formation Flying (편대비행 위성용 거리 및 가속도 관측기 시뮬레이션 모델링)

  • Kim, Jeong-Rae
    • Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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    • v.33 no.2
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    • pp.75-83
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    • 2005
  • NASA/DLR Gravity Recovery and Climate Experiment (GRACE) mission, which consists of two co-orbiting low altitude satellites, is to measure the Earth gravity field with unprecedented accuracy. Its key instruments include inter-satellite ranging systems and three-axis accelerometers. For the preliminary design and requirements analysis, extensive instrument simulation models are developed. These modeling techniques and orbit-gravity field estimation techniques are described.

Development of On-line PD Monitoring System for High Voltage Power Cable System (초고압 선로 부분방전 On-line 모니터링 시스템 개발)

  • Kim, Choong-Sik;Lee, Chang-Young;Kim, Won-Nyeon
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2005.07e
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    • pp.58-60
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    • 2005
  • 초고압 선로에 대한 풍부한 진단 경험과 축적된 Know-how를 바탕으로 선로의 이상유무를 원격으로 진단, 감시하는 On-line PD Monitoring System을 개발하였다. 초고압 선로의 이상 유무를 활선상태에서 정밀하게 진단할 수 있는 전기적인 측정방법으로 부분방전이 유일하다. 그러나 부분방전 신호는 미약하고 주위 노이즈와 구분이 어렵기 때문에 측정 뿐만 아니라 분석하기가 어렵다. 부분방전 측정 장비는 이러한 노이즈를 효과적으로 제거하고 측정된 신호를 의미있는 정보로 가공하여 사용자에게 제공해 주어야 한다. 본 논문에서는 이러한 조건들을 충족하는 고성능의 원격 진단시스템에 관하여 서술하였다.

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Meta Heuristic for Calibration of Scanning Electron Microscope (주사 전자 현미경의 보정작업을 위한 메타 휴리스틱 알고리즘)

  • Lee, Sangwook
    • Proceedings of the Korea Contents Association Conference
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    • 2011.05a
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    • pp.535-536
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    • 2011
  • 주사전자현미경은 시편의 표면형상을 수 nm의 정밀도로 관찰할 수 있는 측정 장비로, 과학 기술 및 산업 분야에서 널리 사용되고 있다. 이러한 주사현미경은 30여종 이상의 변수조합에 의해 운영되며, 정상적인 영상을 관찰하기 위해서는 변수를 최적화하는 보정작업을 필요로 한다. 본 논문에서는 이러한 보정작업을 용이하게 하기 위한 메타 휴리스틱 기법을 소개한다.

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독자적인 카메라모듈 초점검사공정 기술력 통해 메가급 카메라폰 시장 공략

  • Park, Ji-Yeon
    • The Optical Journal
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    • s.103
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    • pp.54-56
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    • 2006
  • 휴대폰 부품 및 정밀광학측정장비 제조전문기업으로 이름이 잘 알려진 (주)지엔오(대표 · 배순구)는 최근 2메가급의 카메라폰이 등장하고 있는 시점에 맞추어 기존에 작업자의 육안검사에 의존하던 카메라모듈의 초점검사공정을 자동화한 자동포커스 렌즈시스템 개발을 완료하면서 시장의 주목을 받고 있다. 또한 소형카메라에 장착되는 광학시스템 및 렌즈의 성능평가방법의 표준화사업에도 참여하여 초소형 카메라모듈의 제조, 생산업체로서의 위치도 확고히 하고 있다.

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