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Simultaneous measurement of the parallelism and the relative surface figure of a nontransparent plate using visible light

가시광선을 이용한 불투과 평면창의 평행도 및 상대적 표면형상 동시측정

  • 김연수 (국방과학연구소 기술연구본부) ;
  • 김현숙 (국방과학연구소 기술연구본부)
  • Published : 2002.04.01

Abstract

A test method that can measure the parallelism and the surface figure of an nontransparent plate using visible light is proposed. The testing system consists of a Twyman-Green interferometer. In addition, test results for the IR filter of IR MTF measuring system are described.

기존의 가시광선 Twyman-Green 간섭계를 이용하여 불투과 평면창의 평행도 및 상대적 표면형상 오차를 동시에 정밀하게 측정할 수 있는 새로운 방법을 제시하고, 적외선 변조전달성능(MTF) 측정장비용 필터에 대하여 시험적으로 측정한 격과를 기술하였다.

Keywords

References

  1. 한국광학회지 v.12 no.3 입력 광파면 왜곡에 따른 광학계 성능 김연수;김현숙;최세철;김창우;이윤우;송재봉;김병윤
  2. Optical Shop Testing D. Malacara
  3. Appl. Opt. v.6 no.6 Precise measurement of planeness G. Schulz;J. Schwider https://doi.org/10.1364/AO.6.001077