• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2004.05a
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• pp.320-320
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• 2004

반도체용 노광장비나 검사장비, 초정밀 광학렌즈, 비구면 렌즈 가공 등의 핵심이 되는 것은 초정밀결정기술이다. 서브미크론의 정밀도를 갖는 장비는 한치의 오차도 허용치 야고 계획된 경로대로 정확하게 목표지점에 도달해야 초정밀 가공을 기대 할 수 있다 초정밀 공기정압 스테이지는 저마찰 특성과 높은 운동정밀도, 청정환경유지가 가능하여 반도체 노광장비에서 PDP 나 LCD검사장비, 초정밀가공 가공기 등 다양한 정밀장비에서 활용된다.(중략)

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 2007.05a
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• pp.993-999
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• 2007

반도체나 TFT-LCD등을 생산하는 정밀산업 공장구조물에는 진동에 민감한 수많은 정밀장비(검사 및 생산용 장비)가 청정실(Clean Room)에 설치되어 운용된다. 정밀장비는 정상운용을 위하여 주변에 각종 유틸리티 설비가 설치된다. 이러한 수많은 유틸리티 설비들과 그 밖의 많은 장비들로 인하여 공장 내 청정실에는 각종 수 많은 소음/진동원들이 산재해 있다. 이러한 소음/진동원으로 인하여 청정실 내에는 소음/진동의 환경을 저하시킨다. 이에, 본 연구에서는 정밀장비 주변에 설치 된 유틸리티의 가동으로 인하여 발생하는 진동으로 인하여 간헐적으로 정밀장비에 영향을 미치는 과도진동의 현상을 확인하고, 과도진동 현상에 대하여 정밀장비에서 제시한 진동허용규제치와 비교/평가하고, 진동허용규제치의 유효성에 대하여 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 1995.04a
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• pp.233-239
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• 1995

정밀장비의 내진 및 방진설계에 대한 일반적인 procedure를 제시하고 이를 정밀제어 장비인 HDD CELL에 적용하였다. 정밀장비의 내진 설계를 위해서 는 정확한 진동 허용규제치와 정밀장비가 설치되는 구조물의 진동 환경에 대한 데이터를 확보하는 것이 우선적으로 해야할 일이다. 구조물의 진동은 직접 측정을 하거나 설계 자료를 이용하는 것이 가능하지만 진동 허용규제치는 장비 제작사에서 진동환경시험을 통하여 얻어진 자료를 사용 자에게 제시하는 것이 일반적인 과정이다. 그러나 고도의 정밀성을 요하는 장비 전체를 가진 테이블에 설치하여 진동환경시험을 수행하는 일은 시간과 경제적인 측면에서 유익하지 못하다. 그러한 면에서 본 논문에 제시한 진동 허용가진력 규제치를 이용한 정밀장비의 내진 및 방진의 정량적인 설계뿐만 아니라 진동 허용규제치를 손쉽게 구할 수 있다는 점에서 유익하다 하겠다.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 1991.04a
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• pp.175-181
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• 1991

정밀장비의 진동환경을 평가, 제어하기 위해서는 우선적으로 미진동 환경을 측정할 수 있는 장비와 기술이 필요하며, 방진 system 구성시 국내에서는 방진소재의 개발이 요구되고 있다. 그리고 진동에 민감한 정밀장비들을 사용 하는 반도체 및 정밀공장에서는 진동허용 기준을 나타내는 data sheet가 필 요하고 사용자측에서도 장비의 진동 test성적서를 장비구매시 제작사에 요구 할 필요성이 있다. TEM(투과형 전자현미경)의 경우 음압에 의한 가진문제도 대두되고 있으며 정밀장비가 최대의 성능을 발휘하기 위해서는 이러한 문제 를 검토해야 한다. 만일 국내에서 진동에 민감한 정밀장비를 제작시 장비의 진동 특성을 평가할 수 있는 실험장치와 기술이 필요하다.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 2004.11a
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• pp.184-187
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• 2004

TFT LCD 생산 공정에 사용되는 정밀측정/검사/생산장비가 위치하는 바닥의 진동문제는 크게 장비자체의 가동에 의한 것과 장비외부의 가진원에 의해서 정밀장비의 바닥에 진동이 발생하게 된다. 이러한 진동문제는 건물을 설계 시공하는 건축자의 입장에서는 장비 가동전 건물 인수시 진동문제에 관심이 있으나 장비를 운영하는 사용자의 입장에서는 장비 가동전의 진동문제와 더불어 장비 가동시 장비내부의 진동원에 대해서도 진동대책을 요구하게 된다. 따라서 양자의 진동문제 해결을 위해서는 정밀장비 주변의 진동원에 대한 동하중 설계자료와 함께 장비 가동시 바닥에 진동을 발생시키는 진동원인 장비에 대해서 동하중을 파악하여야 한다. 장비기초의 단위하중에 대한 진동응답을 표현하는 주파수 전달함수는 이러한 동하중과 바닥의 진동허용규제치를 동시에 표현하는 요소로 기존의 정밀장비가 요구하는 장비바닥의 진동허용규제치와 함께 동하중을 유발하는 장비기초에서는 반드시 구조물의 동강성 허용규제치를 이용한 구조물의 동적설계가 요구된다.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2003.05a
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• pp.40-46
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• 2003

진동에 민감한 각종 정밀장비를 갖추고 있는 공장구조물은 설립하는 설계 초기단계에서부터 정밀장비의 정상 운용을 위하여 장비 업체 제시한 진동허용규제치 및 동특성허용규제치를 만족할 수 있도록 공장구조물 설계시 진동 측면에 대하여 동적(動的) 특성을 검토해야만 한다. 이러한 설계조건을 만족시켜주기 위한 방안으로 외부에서 정밀장비로 유입되는 진동에 대찬 진동절연을 위하여 진동전달률 이론을 적용하여 방진효율 산출하는 방법과 정밀장비에서 발생하는 동하중을 고려하여 공장구조물에 대한 동적설계를 수행하는 것으로, 구조물 동특Jt!을 요구되는 만큼 구조물의 동특성 변경하는 SDM(Structural Dynamic Modifacation)방법이 주로 활용된다 이에 본 연구에서는 앞서 언급한 구조물의 동적설계시 후자조건인 구조물의 동특성을 변경하고자 하는 경우에 실구조물에 하중을 정량적으로 조절하며 가할 수 있는 VSD 시스템을 이용하여 구조물의 동특성을 변화시키는 것을 동적해석으로 예측하였고, 현장에서 실제 동적실험으로 구한 결과를 동적설계목표치와 비교하여 유용성에 대하여 확인하였다.

• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.17 no.9
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• pp.369-374
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• 2016

Cooling towers have been installed on rooftops or outside of buildings and widely applied to control the indoor temperature in residential areas and buildings. However, the noise and vibration resulting from their operation may cause problems in adjacent buildings. The purpose of this study is to measure the noise and vibration of an industrial cooling tower located adjacent to industrial plants and to investigate its influence on the surroundings according to an authorized evaluation standard. Further, in order to measure the effect of the vibration of the tower on the precision equipment inside the plant, an experiment is conducted to measure the vibration of the ground in the plant and the targeted precision equipment. The measurement results indicate that the noise in the cooling tower is 4 to 9 dB(A) higher than the maximum level defined in the standard of 68dB(A). The effect of the vibration of the tower on the precision equipment is comparatively minimal, because that in the supporting frame of the building is weaker than that on the floor where the precision equipment is located. The vibration of the floor on.

• The Optical Journal
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• s.107
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• pp.25-29
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• 2007

초정밀 가공기술은 선진국에서 기술이전을 회피하는 가장 심한 분야로 광산업의 핵심부품인 반사경, 비구면 렌즈, 광통신매체의 가공과 관련하여 국내의 초정밀 관련 기술의 한계에 의하여 전적으로 수입에 의존하고 있다. 이에 한국기초과학지원연구원은 2005년부터 기존의 측정분석위주의 단순지원에서 국가적 수요에 대응하는 대형첨단연구장비의 국산화를 위한 기술개발에 역점을 두고 있다. 이를 위한 기반기술로써 초정밀 가공 및 측정장비의 설치운영을 통한 첨단 연구장비의 핵심부품을 개발하고 있다. 특히 천문관측용 적외선(IR) 광학계의 초정밀가공기술 개발을 통한 항공우주용 광학계의 국산화 기술 향상에 기여하고 있다.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 2009.04a
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• pp.423-423
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• 2009

미진동 제어라는 분야에 대한 연구는 반도체 산업이 초고도화 및 초정밀화가 진전되고 있는 최근에 들어와 학계보다는 전문 반도체와 TFT-LCD의 미진동제어 관련 엔지니어 그룹과 정밀 장비 제작사를 중심으로 이루어져왔다. 고집적 생산 제품을 가공 및 검사하기 위해서는 가공 선폭 이상의 분해 성능을 가진 고정밀도의 생산 및 검사 장비가 필요하다. 이런 고정밀도 생산 및 검사장비는 내외부로부터 입력되는 진동에 민감한 영향을 받는다. 초기 반도체 산업을 주도한 미국을 중심으로 일부 학자와 반도체 진동 제어를 수행하는 전문연구소에서 작성한 BBN-Criteria는 정밀장비의 용도나 분해능 별로 정리된 진동허용규제치를 지침서로 사용하여 왔다. 그러나 장비의 엄밀한 주파수 특성 및 정밀도 측면에서 불확실한 영역부분을 가지고 있기 때문에 미소한 진동을 제어하는 구조 설계자 관점에서는 불충분한 자료이다. 그리고 주파수 분해능을 가진 진동허용규제치를 제시하는 것이 바람직하지만 대부분의 제작사에서는 그렇지 못하고 있다. 그런 이유에는 장비 개개의 진동허용규제치가 다른 고가의 장비 전량에 대하여 시험을 수행해야 하는 점, 가진(加振)특성, 중량, 크기 등의 진동실험 자체에 어려움 때문이다. 또한 진동실험시 가진주파수의 분해능의 결려에 따른 장비의 동적 특성이 고려되지 않은 불확실한 영역 부분을 포함한 진동허용규제치를 제시함으로서 불확실한 영역부분의 진동 하한치를 진동허용규제치의 상한치로 결정하는 문제로 인하여 진동허용규제치가 더욱 가혹하게 제시되어 건물 구조 설계와 방진의 어려움을 가중시킬 여지가 있다. 본 논문에서는 이런 어려움 등을 회피하는 방법으로 주파수응답함수(Frequency Response Function, FRF)를 이용하여 정밀장비의 진동허용규제치를 결정하는 간편하면서도 더욱 정밀한 새로운 방법을 모색하였다.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 2005.11a
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• pp.236-239
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• 2005

본 연구에서는 정밀 측정/검사장비의 운영상 발생하는 에러의 원인을 규명하기 위함이다. C/R에 사용되어지는 정밀측정/검사장비는 장비 기초에 대하여 진동허용규제치를 장비 제작업체 제공한다. 이에 C/R 구조 및 장비 기초에 대하여 진동원 차단 방안등을 수행하게된다. 이러한 진동허용규제치를 만족시키기 위한 방안을 수행함에도 공조 소음등과 같은 요인에 의한 장비의 운영상 발생하는 진동과 관련된 에러를 규명하고 이를 제어하기 위한 연구를 수행하였다.