Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference (한국소음진동공학회:학술대회논문집)

  • 1995.04a
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  • Pages.233-239
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  • 1995
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  • 1598-2548(pISSN)
The Korean Society for Noise and Vibration Engineering (한국소음진동공학회)
권호 표지

A Study on the Micro-Vibration Control of a Precision Equipment(HDD CELL Vibration Control)

정밀장비의 미진동제어 기술에 관한 연구(HDD CELL 진동제어)

  • 이홍기 (유니슨산업㈜ 유니슨기술연구소) ;
  • 박해동 (유니슨산업㈜ 유니슨기술연구소) ;
  • 최현 (삼성전자㈜ 생산기술센타 자동화연구소) ;
  • 배기선 (삼성전자㈜ 생산기술센타 자동화연구소) ;
  • 김두훈 (유니슨산업㈜ 유니슨기술연구소)
  • Published : 1995.04.01
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Abstract

정밀장비의 내진 및 방진설계에 대한 일반적인 procedure를 제시하고 이를 정밀제어 장비인 HDD CELL에 적용하였다. 정밀장비의 내진 설계를 위해서 는 정확한 진동 허용규제치와 정밀장비가 설치되는 구조물의 진동 환경에 대한 데이터를 확보하는 것이 우선적으로 해야할 일이다. 구조물의 진동은 직접 측정을 하거나 설계 자료를 이용하는 것이 가능하지만 진동 허용규제치는 장비 제작사에서 진동환경시험을 통하여 얻어진 자료를 사용 자에게 제시하는 것이 일반적인 과정이다. 그러나 고도의 정밀성을 요하는 장비 전체를 가진 테이블에 설치하여 진동환경시험을 수행하는 일은 시간과 경제적인 측면에서 유익하지 못하다. 그러한 면에서 본 논문에 제시한 진동 허용가진력 규제치를 이용한 정밀장비의 내진 및 방진의 정량적인 설계뿐만 아니라 진동 허용규제치를 손쉽게 구할 수 있다는 점에서 유익하다 하겠다.

Keywords