• Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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• v.21 no.4
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• pp.268-275
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• 2020

In domestic mountain resort areas, a catenary system cannot be installed for the protection of the natural environment and view. Therefore, mountain trams must be operated wireless. In this study, a local ground pantograph, which supplies electricity to the battery on board, was developed for this purpose, and its performance was verified by tests. The system is installed on ground at stops or repair shops. While a bogie goes to the pantograph, the arms and collection shoes are raised by a spring force to make contact with the collection bar under the bogie so electric power can be supplied to the battery. Because it is a local ground type, it does not require a roof pantograph and catenary system. The system enables the mountain tram to run wireless. In addition, there is no separation and arc because it collects current while standing at stops or shops. The system has a long life because moving contact, which generates wear and damage to shoes, is avoided. The insulation resistance was above the criteria of 10 ㏁, and there was no abnormal temperature increase when a current of 335A was supplied for one hour.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.6-6
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• 2010

Indium Tin Oxide (ITO)를 포함한 Transparent Conduction Oxide (TCO)는 LCD, OLED와 같은 Display, 그리고 Solar Cell 등 광신호와 전기신호간 변환이 필요한 모든 Device에 반드시 필요한 핵심 물질로, 특히 고특성 Display의 투명전극에서 요청되는 95% 이상의 투과도와 $15\;{\Omega}/{\square}$ 이하의 면저항 특성을 동시에 만족할 수 있는 기술은 현재까지 Plasma Sputtering 공정으로 $160^{\circ}C$ 이상에서 증착된 ITO 박막이 유일하다. 그러나, 최근 차세대 기술로서 Plastic Film을 기반으로 하는 Flexible Display 및 Flexible Solar Cell 구현에 대한 요구가 급증하면서, Plastic Film 기판위에 Plasma Damage이 없이 상온에 가까운 저온 ($100^{\circ}C$ 이하)에서 특성이 우수한 ITO 투명전극을 형성 할 수 있는 기술의 확보가 중요한 현안이 되고 있다. 지난 10년 동안 $100^{\circ}C$이하 저온에서 고특성의 ITO 또는 TCO 박막을 얻기위한 다양한 연구와 구체적인 공정이 활발히 연구되어 왔으나, ITO의 결정화 온도 (통상 $150{\sim}180^{\circ}C$)이하에서 증착된 ITO박막은 비정질 상태의 물성적 특성을 보여 원하는 전기적, 광학적 특성확보가 어려웠다. 본 논문에선 기본적으로 절연체 특성을 가져야 하는 산화물인 TCO가 반도체 또는 도체의 물리적 특성을 보여주는 기본원리의 고찰을 토대로, 재료학적 특성상 Crystalline 구조를 보여야 하는 ITO (Complex Cubic Bixbyte Structure)가 Plasma Sputtering 공정으로 저온에서 증착될 때 비정질 구조를 갖게 되는 원인을 규명하고, 이를 바탕으로 저온에서 증착된 ITO가 Crystalline 구조를 유지 할 수 있게 하고, Stress Control에 유리한 Nano-Crystalline 박막을 형성하면서 Crystallinity를 임의로 조절 할 수 있는 새로운 기술인 Magnetic Field Shielding Sputtering (MFSS) 공정과 최근 성과를 소개한다. 한편, 또 다른 새로운 저온 TCO 박막형성 기술로서, 유기반도체와 같은 Process Damage에 매우 취약한 유기물 위에 Plasma Damage 없이 TCO 박막을 직접 형성할 수 있는 Neutral Beam Assisted Sputtering (NBAS) 기술의 원리를 설명하고, 본 공정을 적용한 Top Emission OLED 소자의 결과를 소개한다. 또한, 고온공정이 수반되는 Solar Cell용 투명전극의 경우, 통상의 TCO박막이 고온공정을 거치면서 전기적 특성이 열화되는 원인을 규명하고, 이에 대한 근본적 해결 방법으로 ITO 박막의 Dopant인 Tin (Sn) 원자의 활성화를 증가시킨 Inductively Coupled Plasma Assisted DC Magnetron Sputtering (ICPDMS)의 원리와 박막의 물성적 특성과 내열 특성을 소개한다.

• Economic and Environmental Geology
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• v.44 no.5
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• pp.451-462
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• 2011

Asbestos or its applications have been used for long times and for various purposes in our life because of their merits, namely fire resistance, electric insulation and chemical resistance capacity etc. Despite of theses many merits, one of the problems of asbestos is shown toxicity according to its fiber type. So we need data to solve about this problem. In this paper, we study on the technical method of asbestos waste treatment and on the trends of asbestos researches and developments by the analysis of its patents and DWPI database materials. As a result, the asbestos-waste treatment data in the its related patents is used 267 cases to analyze. These data are divided into 86(32.5%) cases of solid waste disposal(B09B). 41(16.6%) cases of separation(B01D) and 27(10.2%) of lime, magnesia, slag, cement and their composites(C04B).

• Transactions of the Korean Society of Automotive Engineers
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• v.14 no.1
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• pp.100-108
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• 2006

Time-resolved current and voltage measurements for an inductive automotive spark system were made. Also presented are measurements of the total energy delivered to the spark gap. The measurements were made in air for a range of pressures from 1-18atm, at ambient temperatures. The measured voltage and current characteristics were found to be a function of many ignition parameters; some of these include: spark gap distance, internal resistance of the spark plug and high tension wire, and pressure. The voltages presented were measured either at the top of the spark plug or at the spark gap. The measurements were made at different time resolutions to more accurately resolve the voltage and current behavior throughout the discharge process. This was necessary because the breakdown event occurs on a time scale much shorter than the arc and glow phases. The breakdown, are, and glow voltages were found to be functions of spark plug resistance, gas density, and spark plug gap as expected from the literature. Spark duration was found to decrease as either pressure or gap was increased. The transition from the arc to glow phase is usually distinguished by a sudden rise in the voltage across the gap. At pressures above about 7atm this transition was not observed suggesting that a glow phase was not present. Energy delivered to the gap increased with increasing pressure. The effective resistance of the spark gap during discharge was about twice as large for the glow phase as the arc phase.

• Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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• v.28 no.1
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• pp.46-50
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• 2015

The cable degradation process is largely divided into three steps; Step 1 : Thermal degradation, Step 2 : Weibull degradation, Step 3 : Partial discharge. it is progress in step order. This article aims to explain the process of cable degradation using the method of insulation resistance and accordingly to compose and manufacture a system of measuring the life of electrical cable. Before measuring the insulation resistance, a system of measuring the temperature and current of cables was made, and the established system was installed for test on the site of a power plant to collect the measured data. The current sensor was used TFC30P80A-CL420, and temperature sensor was used the DK-1270 PT100 sensor as RTD sensor. When measured the temperature and the load current at the same position, was confirmed that in case of the load current value was high, also temperature value high. Therefore, the correlation between load currents and temperature was verified, and the analysis of diagnostic data was evaluated, which could be utilized in identifying the fault condition of cable systems.

• Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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• v.15 no.4
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• pp.373-379
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• 2002

We investigated the evolution of magnetoresistance and magnetic property of tunneling magnetoresistive(TMR) device with microstructure and plasma oxidation time. TMR devices have potential applications for non volatile MRAM and high density HDD reading head. We prepared the tunnel magnetoresistance(TMR) devices of Ta($50{\AA}$)/NiFe($50{\AA}$)/IrMn($150{\AA}$)/CoFe($50{\AA}$)/Al($13{\AA}$)-O/CoFe($40{\AA}$)/FiFe($400{\AA}$)/Ta(($50{\AA}$) structure which have $100{\times}100\mu\textrm{m}^2$ junction area on $2.5{\times}2.5\textrm{cm}^2$ Si/$SiO_2$(($1000{\AA}$) substrates by an inductively coupled plasma(ICP) magnetron sputter. We fabricated the insulating layer using an ICP plasma oxidation method by with various oxidation time from 30 sec to 360 sec, and measured resistances and magnetoresistance(MR) ratios of TMR devices. We found that the oxidized sample for oxidation time of 80 sec showed the highest MR radio of 30.31 %, while the calculated value regarding inhomogeneous current effect indicated 25.18 %. We used transmission electron microscope(TEM) to investigate microstructural evolution of insulating layer. Comparing the cross-sectional TEM images at oxidation time of 150 sec and 360 sec, we found that the thickness and thickness variation of 360 sec-oxidized insulating layer became 30% and 40% larger than those of 150 sec-oxidized layer, repectively. Therefore, our results imply that increase of thickness variation with oxidation time may be one of the major treasons of the MR decrease.

• Journal of Sensor Science and Technology
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• v.2 no.1
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• pp.95-99
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• 1993

a-Si : H TFTs for image sensor have been fabricated and their operational characteristics have been investigated. Hydrogenated amorphous silicon nitride(a-SiN : H) films were used for the gate insulator and $n^{+}$-a-Si : H films were depostied for the source and drain contact. The thicknesses of a-SiN : H and a-Si : H films were $2000{\AA}$, respectively and the thickness of $n^{+}$-a-Si : H film was $500{\AA}$. Also the channel length and channel width of a-Si : H TFTs were $50{\mu}m$ and $1000{\mu}m$, respectively. The ON/OFF current ratio, threshold voltage, and field effect mobility of fabricated a-Si : H TFTs were $10^{5}$, 6.3 V, and $0.15cm^{2}/V{\cdot}s$, respectively.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2005.07a
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• pp.649-650
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• 2005

반도체는 고집적화, 고속도화, 저전력화를 목적으로 발전하고 있다. 이를 위하여 design rule의 감소, 새로운 물질과 프로세스의 적용 등 많은 연구가 이루어지고 있으며, RC delay time을 줄이기 위한 Cu 와 저유전율 재료의 적용이 그 대표적인 예라 할 수 있다. Cu 배선은 기존의 Al 배선에 비하여 높은 전자이동 (electro-migration)과 응력 이동 (stress-migration) 저항을 가짐으로써 전기적인 성능 (electrical performance) 에서 이점을 가지고 있다. 반도체에서의 Cu 배선 구조는 평탄화된 표면 및 배선들 사이에서의 좋은 전기적인 절연성을 가져야 하며, 이는 디싱(dishing)과 에로젼(erosion)의 중요한 인자가 된다. 기존의 평탄화 공정인 Cu CMP(Chemical Mechanical Polishing)에 있어서 이러한 디싱, 에로전과 같은 결함은 선결되어져야 할 문제로 인식되고 있다. 따라서 본 연구에서는 이러한 결합들을 감소시키기 위한 새로운 평탄화 방법으로 Cu gap-filling 을 하는 동시에 평탄화된 표면을 이루는 ECMD(Electro-Chemical Mechanical Deposition) 공정의 전기적 기계적 특성을 파악하였다.

• Journal of radiological science and technology
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• v.27 no.2
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• pp.45-50
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• 2004

Synthesis diamond films have been deposited on the molybdenum substrates using an microwave plasma enhanced chemical vapor deposition method. The effects of deposition time, surface morphology, infrared transmittance and Raman scattering have been studied. Diamond deposited on molybdenum substrate for 100 hours by MW plasma CVD from $CH_4-H_2-O_2$ gas mixture had good crystallity with $100[{\mu}m]$ thickness needed for radiation detector. Diamond radiation detector of M-I-M type was made and the current of radiation detector was increased by increasing X-ray dose.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.02a
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• pp.184-184
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• 2010

Write-once-read-many times (WORM) 메모리 소자는 1회에 한해 쓰기 가능한 저장 장치로서 반영구적인 기록 보존을 필요로 하는 분야에서 널리 사용되는 저항 구조의 비휘발성 메모리 소자이다. 무기물을 사용한 WORM 메모리 소자의 제작과 소자의 전기적 특성에 관한 많은 연구가 활발히 진행되었으나 절연성 고분자인 Polystyrene (PS) 박막에 분산된 ZnO 나노입자를 이용한 무기물/유기물 복합 구조의 WORM 메모리 소자에 관한 연구는 상대적으로 미흡하다. 본 연구에서는 ZnO 나노입자가 분산되어 있는 PS를 스핀코팅 방법으로 박막 형태로 증착하여 WORM 메모리 소자를 제작하고 전기적인 성질을 조사하였다. 소자를 제작하기 위해 ZnO 나노 입자와 PS를 용매인 N,N-디메틸포메미드에 혼합하여 소자를 제작하였다. 그 후 하부 전극인 ITO가 증착되어 있는 유리 기판 위에 ZnO와 PS가 분산되어 있는 고분자 용액을 스핀 코팅 방법으로 도포한 후에 열을 가해 용매를 제거하여 박막을 형성하였다. ZnO 나노입자가 분산되어 있는 PS 박막 위에 Al을 상부 전극으로서 증착하였다. 전압을 인가하여 측정한 전류-전압 특성은 1.5 V에서 소자의 전도도가 크게 향상이 되는 것을 관측하였다. 읽기 전압에서 낮은 전도도(OFF 상태)와 높은 전도도 (ON 상태)의 크기는 $10^3$으로 이며, ON 상태가 된 이후에는 OFF 상태로 전환되지 않는 전형적인 WORM 메모리 소자의 특성이 관측되었다. ZnO 나노 입자가 없이 PS 만으로 박막을 제작한 소자는 쌍안정성 특성이 나타나지 않았다. 따라서 소자에서 전류 쌍안정성으로 나타난 원인은 PS안에 분산되어 있는 ZnO 나노입자에 기인함을 알 수 있었다. 제작된 WORM 메모리 소자의 기억 유지 특성에 대한 결과는 장시간에 걸친 측정에서 ON 전류 및 OFF 전류의 변화가 거의 없었다. 이 실험 결과는 제작된 무기물/유기물 복합 구조를 가진 WORM 메모리 소자는 우수한 기억 특성을 가지고 있으며 반영구적인 메모리 소자로 사용할 수 있음을 제시하고 있다.