• Journal of the Korean Vacuum Society
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• v.7 no.3
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• pp.208-213
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• 1998

Silicidation of the Co/Ti/Si bilayer system in which Ti is used as epitaxy promoter for $CoSi_2$has recently received much attention. The Co/Ti bilayer on the spacer oxide of gate electrode must be thermally stable at high temperatures for a salicide transistor to be fabricated successfully. In the $SiO_2$substrate was rapid-thermal annealed. The Sheet resistances of the Co/Ti bilayer increased substantially after annealing at $600^{\circ}C$, which is due to the agglomeration of the Co layer to reduce the interface energy between the Co layer and the $SiO_2$substrate. In the bilayer system insulating Ti oxide stoichiometric Ti oxide and silicide were not found after annealing.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.447-447
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• 2013

최근 전자산업의 발전으로 차세대 디스플레이 소자로 산화물반도체가 주목받고 있다. 산화물 반도체는 저온공정, 높은 이동도 및 투과율을 가지기 때문에 이러한 공정이나 물성 측면에 있어 기존의 a-Si, LTPS 등을 대채할 만한 소자로서 연구가 활발이 이루어지고 있다. 특히 고해상도 및 고속구동이 진행됨에 따라 높은 이동도의 필요성이 대두되고 있다. 본 연구에서는 IGZO 산화물 반도체 박막트랜지스터의 이동도 개선을 위해 나노입자를 사용하였다. 게이트전극으로 사용된 Heaviliy doped P-type Si 기판위에 200 nm의 SiO2 절연층을 성장시킨 후, 채널로 작동하기 위한 IGZO 박막을 증착하기 전에 10~20 nm 크기의 니켈, 금 나노입자를 부착시켰다. 열처리 온도는 $350^{\circ}C$, 90분동안 진행하였고, 100 nm의 알루미늄 전극을 증착시켜 TFT 소자를 제작하였다. TFT 소자가 동작할 시, IGZO 박막 내부의 전자들은 게이트 전압으로 인해 하부로 이동하여 채널을 형성, 동시에 드레인 전압으로 인한 캐리어들의 움직임으로 인해 소자가 동작하게 된다. 본 연구에서는 채널이 형성되는 계면 부근에 전도성이 높은 금속 나노입자를 부착시켜 다수 캐리어인 전자가 채널을 통과할 때 전류흐름에 금속 나노입자들이 기여하여 전기적 특성의 변화에 어떠한 영향을 주는지 연구하였다. 반응시간을 조절하여 기판에 붙는 나노입자의 밀도 변화에 따른 특성과 다양한 크기(5, 10, 20 nm)를 갖는 금, 니켈 나노입자를 포함한 IGZO TFTs 소자를 제작하여 전달특성, 출력특성의 변화를 비교하였고, 실질적인 채널길이의 감소효율과 캐리어 이동도의 변화를 비교분석 하였다.

• Journal of Satellite, Information and Communications
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• v.9 no.1
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• pp.33-37
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• 2014

This paper introduces homogeneous liquid crystal (LC) orientations on chemically modulated polystyrene (PS) surfaces using various ion beam (IB) exposure time. Transparent PS was replaced with conventional polyimide material. As a non-contact process, IB bombardment process induced LC orientation in the direction parallel to the IB process. Through x-ray photoelectron spectroscopy, it was shown that the chemical compositional changes of the IB-irradiated PS surfaces were determined as a function of IB exposure time.Using this analysis, the optimal IB bombardment condition was determined at IB exposure time of up to 15 s. Moreover, thermal stability on IB-irradiated PS surfaces were carried out which showed that a relatively high IB exposure time induced a thermally stable LC alignment property.

• Proceedings of the KIPE Conference
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• 2006.06a
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• pp.56-58
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• 2006

본 논문은 PVD(Physical Vapor Deposition)의 마그네트론 스퍼터(Magnetron sputter) 박막코팅(Thin film coating) 공정에서 플라즈마(Plasma)를 발생시키고 제어하는 DC 전원공급 장치에 관한 것이다. 이 논문에서는 임피던스의 변화가 심하고 아크(Arc)가 빈번히 발생하는 플라즈마 부하의 특성에 대해, 과도상태(Transient state)의 출력제어 성능을 향상시키고 아크 발생 시 부하로 전가되는 아크에너지를 저감시키기 위한 직류 전원 공급 장치에 대해 소개한다. 전원장치는 수하특성을 가지며 플라즈마 부하에 적합한 출력 제어성을 확보하고 아크 에너지를 최소화하기 위해 고주파 L-C 직렬공진회로 기법을 적용한다. 개발된 DC 20kW급 전원 장치는 인버터와 고주파 절연변압기, 정류기로 구성된다. 인버터는 $100{\sim}200kHz$의 제어주파수로 PFM 및 PWM 제어를 하며, 단위용량 5kW급 컨버터 4개를 직, 병렬 연결하여 출력리플을 최소화 하였다. 개발된 장치의 우수한 제어성능은 실제 플라즈마 공정에서 시험 평가한 결과를 통해 검증할 수 있었다.

• Journal of the Korea Institute of Building Construction
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• v.2 no.1
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• pp.139-146
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• 2002

This study deals with the characterizing and the application like as insulation materials in the joint part in concrete surface layer and waterproofing sheet especially for roof slabs. Using steel materials and butil-rubber tape to band waterproofing sheet and concrete surface together before this waterproofing system will be applied. It can be expected to both the curability and the watertightness by coating poly-urethane 2 or 3 times with sheet surface. Therefore this waterproofing system can be possible to protect water without the damage when vapor is going out from concrete and without air pockets because of the difference temperature inside and out. This system particularly consists of air bents and elastic waterproofing sheet considering the physical damage while water can cause purely physical damage. This system is one of the most efficient ways of waterproofing system without air pocket.

• Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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• v.5 no.2
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• pp.315-320
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• 2001

This paper describes a rotation-type field mill to measure the electric field intensity caused by thunderclouds on the ground level. The field mill developed is consisted of two isolated electrode vanes, a grounded stator and a rotor. To develop a high sensitive field mill, the principles and design rules of a rotation-type field mill are studied. Also, two types of calibration system, such as a cylindrical guard electrodes and a parallel-plate electrodes, are proposed to determine the sensitivity and frequency bandwidth of the field mill. From the calibration experiment, the frequency bandwidth and the sensitivity of the field mill are DC ~ 200 [Hz] and 0.267 [mV/V/m], respectively. Therefore, it can measure the electric field intensity from 73 [V/m] to 18.7 [㎸/m].

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2008.04b
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• pp.8-9
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• 2008

In the procedure of the estimation, the short time breakdown characteristics for the epoxy composite specimens, which were made with the variation of hardener and/or filler, were tested firstly. Then the long time voltage-to-time test was implemented. Finally, the long time breakdown voltage of each specimen was estimated with the parameters obtained from the statistical treatment with Weibull distribution. Base on the results, it has been found that the optimal weight ratio of epoxy resin/hardener/filler that has the excellent long time breakdown characteristic was 100/100/65. It was due to the silane treatment which relieves the electric field at the interface between filler and epoxy.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2007.07a
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• pp.713-714
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• 2007

폴리머 애자는 절연 특성이 우수하고 무게가 가벼워 설치하기 쉽고 운반 및 설치가 용이하여 송배전 가공 선로에서의 사용이 점점 증가하고 있다. 특히, 우수한 발수 특성으로 섬락 사고를 방지하며 누설전류가 적어 전력 손실 감소에 크게 기여한다. 자기 애자에 비교한 여러 장점으로 세계적으로 사용이 급격히 확대되어 왔으며, 국내에서도 배전급 선로에서는 대부분 폴리머 애자를 사용하고 있으며, 송전 선로에서도 확대 사용 중에 있다. 폴리머 애자는 무기물인 자기 애자에 비교하여 비교적 저온에서 분해 될 가능성이 많기 때문에 산불에 의하여 발생할 피해와 신뢰성을 파악하고 검토하여야 한다. 우리나라 송전선로는 국토의 65%에 이르는 산지에 대부분 포설되어 있으므로 폴리머 애자가 산불에 대하여 취약하거나 신뢰성이 크게 저하된다면 송전선로의 안정적 운용에 심각한 장애 요소가 될 것이며 산업 전반에 걸친 부정적 파급 효과는 엄청날 것이다. 하지만 지금까지 국내는 물론 세계적으로도 산불의 발생이 송전급 폴리머 애자의 신뢰성에 미치는 영향을 구체적으로 연구한 문헌은 거의 없었다. 따라서 본 연구에서는 폴리머 애자에 154 kV 전압을 실제로 인가한 상태에서 산불을 모의한 실험으로, 산불의 발생이 폴리머 애자의 신뢰성에 미치는 영향을 고찰하였다. 이미 수십년의 사용 실적이 있는 자기 애자와 비교 실험, 평가함으로서 그 결과의 신뢰성을 높이고자 하였다.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 1993.07b
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• pp.624-626
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• 1993

The Electrical Charge generated by friction in flowing insulating oil can create hazadous accidents. Neutralization of static charges in the oil during transportation is an obvious method of overcoming the problem of internal electric charge. It is known that SCR(Static Charge Reducer) can neutralize much of this charge by the needle electrode and mixing it with the original charge. In our experiment, a filter to generate static charge was set just befor a measurement pipe, and streaming current from the filter to the earth $I_s$, current from the electrode to the earth $I_e$ and current from the receiving tank to the earth $I_f$ were measured in a steady state. As a result, charge density and needle electrode current increases with increasing of oil temperature. Charge elimination rate decreases with increasing of oil flow rate, and increases with increases of oil temperature. Faraday Cage current decreases with increasing of oil temperature.

• Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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• v.33 no.4
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• pp.286-290
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• 2020

The formation of inorganic thin films in low-temperature solution processes is necessary for a wide range of commercial applications of organic electronic devices. Aluminum oxide thin films can be utilized as barrier films that prevent the deterioration of an electronic device due to moisture and oxygen in the air. In addition, they can be used as the gate insulating layers of a thin film transistor. In this study, aluminum oxide thin film were formed using two methods simultaneously, a thermal process and the DUV process, and the properties of the thin films were compared. The result of converting aluminum nitrate hydrate to aluminum oxide through a hybrid process using a thermal treatment and DUV was confirmed by XPS measurements. A film-based a-IGZO TFT was fabricated using the formed inorganic thin film as a gate insulating film to confirm its properties.