• Title/Summary/Keyword: 전자 회전 공명

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자기장을 인가한 솔레노이드형 유도 결합 플라즈마 장치에서의 전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 특성

  • Lee, Jae-Won;Kim, Yeong-Do;Lee, Yeong-Gwang;Jeong, Jin-Uk
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2012.02a
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    • pp.516-516
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    • 2012
  • 약한 자기장 (~20 G)이 인가된 유도 결합 플라즈마 장치는 고효율, 높은 균일도의 플라즈마를 생성할 수 있다. 그러므로 이 장치에 대한 변수 제어뿐만 아니라, 전자 싸이클로트론 공명(Electron cyclotron resonance) 현상에 의한 방전 특성에 대한 연구는 매우 중요하다. 그에 연관된 여러 연구가 있었지만, 대부분의 연구는 평판형 유도 결합 플라즈마에서 진행되었다. 그에 따라서, 본 연구는 솔레노이드 형태의 유도 결합 플라즈마 장치에서 플라즈마 변수에 대한 약한 자기장의 영향을 살펴보았다. 실험에 사용된 인가주파수는 13.56 MHz에서 27.12 MHz였으며, 다양한 압력과 전력에서 실험이 진행되었다. 이러한 솔레노이드 형태의 유도 결합 플라즈마에서의 플라즈마 변수는 국부적인 특성을 보였으며, 평판형 유도 결합 플라즈마와 비교/분석을 진행하였다.

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Behaviors of Atomic Fluorine and Fluorocarbon Radicals in $CF_4+H_2$Electron Cyclotron Resonance Plasma Employing Actinometry and Appearance Mass Spectrometry (전자 회전 공명 플라즈마 발생 장치에서의 $CF_4+H_2$가스 방전시 Appearance Mass Spectrometry와 Actinometry를 통한 플루오로카본 래디칼과 플루오린 원자의 거동에 관한 연구)

  • 도현호;김정훈;이석현;황기웅
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.4 no.4
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    • pp.417-424
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    • 1995
  • 전자 회전 공명 플라즈마 발생 장치에서 CF4를 방전시켰을 때 각종 플루오로카본 래디칼의 절대적, 상대적 밀도 변화를 수소 철가율, 동작 압력 그리고 축방향에 따라 appearace mass spectrometry(AMS)를 통해 조사하였으며, 플루오린 원자의 상대적 밀도 변화가 actinometry법에 의해 조사되었다. 수소첨가에 따른 CF2 래디칼의 거동을 actinometry와 AMS로 살펴보았을 때 서로 일치하는 경향을 얻었으며 마이크로웨이브전력 500W, 압력 7.5mTorr에서 CF3와 CF2 래디칼의 밀도가 CF에 비해 높았으며 각각 2X1013/㎤, 1X1013/㎤의 값을 가졌다. 수소를 첨가함에 따라 플루오린 원자와 CF3의 밀도는 감소하는 반면 CF2와 CF의 밀도는 현저히 증가하여 수소가 40% 첨가된 경우 CF2의 밀도가 CF3보다 커짐을 확인하였다. 또한, CF2가 증가하면서 C2F4의 존재가 확인되었으며, 수소가 30% 첨가된 경우 축방향을 따라 C2F4래디캄만이 증가하였고 플루오린 원자는 감소하는 반면 다른 CFx(x=1~3)래디칼은 거의 변화가 없었다. 이러한 실험 결과를 토대로 CF4+H2 플라즈마를 이용한 산화막 식각 특성이 설명되었다.

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Cu(II) Adsorption by Quartz: An EPR Study (석영에 의한 구리(II) 흡착: 전자상자성공명 연구)

  • 현성필;조영환;한필수;김수진
    • Proceedings of the Mineralogical Society of Korea Conference
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    • 2001.06a
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    • pp.44-44
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    • 2001
  • 구리(II)의 전자상자성공명 흉수선의 모양과 선 폭에 대한 해석을 통해 석영-물 계면에서의 구리(II) 및 흡착수와 석영 표면과의 상호 작용에 대해 연구하였다. 두 가지 흡수선이 중첩하여 흡수선을 구성하며 따라서 석영 표면에 적어도 두 종류의 구리(II)가 존재함을 알 수 있었다. 하나는 g=2.18에 중심을 둔 초미세 갈라짐이 분해되지 않는 등방성 단일 흡수선을 보여 주는 구리(II) 이온이다. 이는 수용액 중에서와 유사한 빠른 자유 회전 운동이 가능한 상태로 표면에 매우 약하게 결합된 구리 이온(Cu($H_2O$)$_{6}$$^{2+}$)인 것으로 해석된다. 다른 하나는 축 대칭 흡수선 $g_{∥}$=2.40, $g_{⊥}$=2.08)을 가지는 구리(II)로서 이는 표면에 강하게 결합된 것으로 해석된다. 본 결과는 흡착 현상에 대한 열역학적 접근법인 표면 착물화 모델들이 제시하는 광물 표면에서의 금속 이온 흡착 모델이 거시적 관점에서 흡착 현상을 잘 모사할지라도 분자 수준의 미시적 관점에서 흡착 메커니즘을 규명하기 위해서는 독립적인 분광학적 정보가 제시되어야함을 보여 준다.다.

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Real-time Interactive Control of Magnetic Resonance Imaging System Using High-speed Digital Signal Processors (고속 DSP를 이용한 실시간 자기공명영상시스템 제어)

  • 안창범;김휴정;이흥규
    • Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SC
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    • v.40 no.5
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    • pp.341-349
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    • 2003
  • A real time interactive controller (spectrometer) for magnetic resonance imaging (MRI) system has been developed using high speed digital signal processors (DSP). The controller generates radio frequency (rf) waveforms and audio frequency gradient waveforms and controls multiple receivers for data acquisition. By employing DSPs having high computational power (e.g., TMS320C670l) real time generation of complicated gradient waveforms and interactive control of selection planes are possible, which are important features in real-time imaging of moving organs, e.g., cardiac imaging. The spectrometer was successfully implemented at a 1.5 Tesla whole body MRI system for clinical application. Performance of the spectrometer is verified by various experiments including high- speed imaging such as fast spin echo (FSE) and echo planar imaging (EPI). These high-speed imaging techniques reduce measurement time, however, usually intensify artifact if there is any systematic phase error or jitter in the synchronization between the transmitter, receiver, and gradients.

Electron Spin Resonance of an Irradiated Single Crystal of L-alanine (인체 등가물질에 대한 방사선 조사)

  • 한영환;권수일
    • Progress in Medical Physics
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    • v.4 no.1
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    • pp.41-53
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    • 1993
  • The electron spin resonanec of sigle crystals of L-alanine have been observed at T=300K, 100K and analyzed for different orieantations of the crystal in the magnetic field and at microwave frequency X-band. The stable free radical profuced by the irradiation is proved to be of the form CH$_3$CHR, where R is a group which has no nuclei with detectable coupling A notable dependence on temperature of the absorption was observed in the range from 1100K to 2l0K. It was concluded that the reorietation of the methy group of the radical H$_3$CCHR is quenched at low temperature.

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ESR Study on Paramagnetic Defects of the $gamma$-irradiated Ammonium Sulfate Single Crystal (${\gamma}$-선에 조사된 황산 암모늄 단결정의 상자성 결함에 관한 전자스핀공명 연구)

  • Yo Chul Hyun;Kim Eun Ok
    • Journal of the Korean Chemical Society
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    • v.29 no.2
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    • pp.80-87
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    • 1985
  • Radiation damage in a single crystal of ammonium sulfate caused by ${\gamma}$-irradiation at room temperature has given rise to several paramagnetic centers. Electron spin resonance (ESR) spectra of crystal are obtained with the X-band EPR spectrometer at room temperature. An intense and isotropic peak of Gaussian shape at g = 2.0036 is assigned to $SO_3^-$, which shows power saturation effects. Angular dependence of spectra is studied for the rotations about three mutually perpendicular axes a, b and c. The g-values are obtained from the relative distances between isotropic peak of $SO_3^-$ and anisotropic peak of the species. Principal $g^-$values and direction cosines were calculated by diagonalizing the 3${\times}$3 matrix whose elements are the $g^-$values for each species. From the analysis of characteristic principal $g^-$values and direction cosines for ammonium sulfate single crystal, anisotropic peaks corresponding to $SO_4^-,\;SO_2^-$ and defect structure corresponding to electron excess type are identified.

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Semi-Automatic Registration of Brain M Images Based On Talairach Reference System (Talairach 좌표계를 이용한 뇌자기공명영상의 반자동 정합법)

  • Han Yeji;Park Hyun Wook
    • Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SC
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    • v.41 no.1
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    • pp.55-62
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    • 2004
  • A semi-automatic registration process of determining specified points is presented, which is required to register brain MR images based on Talairach atlas. Generally, ten specified points that define Talairach coordinates are anterior commissure(AC), posterior commissure (PC), anterior feint (AP), posterior point (PP), superior point (SP), inferior point (IP), left point (LP), right point (RP) and two points for the midline of the brain. The suggested method reduces user interaction for S points, and finds the necessary points for registration in a more stable manner by finding AC and PC using two-level shape matching of the corpus callosum (CC) in an edge-enhanced brain M image. Remaining points are found using the intensity information of cutview.

The Study on Characteristics of a-C:H Films Deposited by ECR Plasma (전자회전공명 플라즈마를 이용한 a-C:H 박막의 특성 연구)

  • 김인수;장익훈;손영호
    • Proceedings of the Korea Society for Industrial Systems Conference
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    • 2001.05a
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    • pp.224-231
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    • 2001
  • Hydrogenated amorphous carbon films were deposited by ERC-PECVD with deposition conditions, such as ECR power, gas composition of methane and hydrogen, deposition time, and substrate bias voltage. The characteristics of the film were analyzed using the AES, ERDA, FTIR. Raman spectroscopy and micro hardness tester. From the results of AES and ERDA, the elements in the deposited film were confirmed as carbon and hydrogen atoms. FTIR spectroscopy analysis shows that the atomic bonding structure of a-C:H film consisted of sp³and sp²bonding, most of which is composed of sp³bonding. The structure of the a-C:H films changed from CH₃bonding to CH₂or CH bonding as deposition time increased. We also found that the amount of dehydrogenation in a-C:H films was increased as the bias voltage increased. Raman scattering analysis shows that integrated intensity ratio (I/sub D//I/sub G/) of the D and G peak was increased as the substrate bias voltage increased, and films hardness was increased.

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Study on the Interanal Physical Changes of Kiwi Fruit Using Magnetic Resonance Imaging Technique (자기공명영상 기술을 이용한 저장 중 키위의 내부 변화 연구)

  • Baek, Seung Hoon;Kim, Myoung Ho;Choi, Kyu Hong;Kim, Seong Min
    • Proceedings of the Korean Society for Agricultural Machinery Conference
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    • 2017.04a
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    • pp.96-96
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    • 2017
  • 농산물 수확 이후 저장 유통 과정에서 일어나는 생리적 현상 변화에 따른 내부품질의 측정 분석연구가 활발히 진행되고 있다. 이 연구에서는 비파괴 측정 방법들 중 하나인 자기공명영상(Magnetic Resonance Imaging, MRI) 기술을 활용하여 후숙 과일인 키위의 저장 일수에 따른 형태 및 내부 구조의 변화를 조사하였다. 공시재료는 국내에서 판매되고 있는 키위들 중 3품종(뉴질랜드산 Sun Gold, 뉴질랜드산 Green, 칠레산 Jin Green)별로 균일한 크기의 과일 5개씩을 이용하였으며, 시료를 실험실내($16.6^{\circ}C$, 38% RH)에서 18~19 일간 보관하면서 3~5일 간격으로 5회 시험하였다. 전북대 농업과학기술연구소가 보유하고 있는 MRI(M10, Aspect Imaging, Israel)를 활용하여 영상 이미지를 얻었으며, 저장 기간에 따른 무게 감소는 전자저울(한성, HK-series)을 이용하였다. 자기공명영상 이미지는 Gradient-Eco 펄스열을 사용하였고, 횡단면(Axial)의 영상면(Image-direction)을 중심으로 영상영역(Field of View, FOV)은 $80mm{\times}80mm$로 1회 촬영 할 때 마다 30개의 영상들을 얻었다. 저장 기간이 길어질수록 내부 공동현상이 커지는 것으로 나타났고, 뉴질랜드산 Sun Gold 품종은 다른 두 품종보다 내부 공동이 빠르게 나타났다. 실험이 끝나는 날에는 껍질이 연화되어 타원형의 형체를 계속 유지하지 못하고 붕괴되는 이미지를 MRI를 통해서 관찰 할 수 있었다. 시간이 지남에 따라 영상들의 위치가 일정하지 않고 일부 회전을 한 것처럼 나타났다. 이는 키위 전용 홀더를 만들어 고정하지 않고 측정하다보니 생긴 오차로 생각 되었다. 키위를 건조한 공간에 오래 보관하였기 때문에 시간이 지남에 따라 수분증발과 연화된 껍질 사이로 과육이 흘러 일부를 제외한 대부분의 키위 무게가 일정하게 감소하는 것을 알 수 있었다.

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