• 한국전자현미경학회:학술대회논문집
• /
• 한국현미경학회 1998년도 제29차 춘계학술대회
• /
• pp.68-68
• /
• 1998

• E2M - 전기 전자와 첨단 소재
• /
• 제8권4호
• /
• pp.464-471
• /
• 1995

메그네트론 스퍼터링으로 제작한 고밀도 다층박막($Co_75{{Pt_12}{Cr_13}}$합금) 디스크를 투과전자현미경을 이용해 단면 및 평면의 미세조직의 조사 혹은 미소부위 성분분석을 할 경우, 선행되어야하는 시편준비 경로와 각 단계별 구체적방법 및 그 효과를 연구하였다. Ion밀링시간이 증가함에 따라 시료가 얇게 되는과정에서 스퍼터링된 물질이 관찰될 시편부위의 다른 표면에 증착되므로써 미세조직의 선명도를 해칠 수 있고, 이로인한 해석상의 오류가능성이 시사되었다. 또한, 자기박막 디스크와 같이 다층으로 구성된 단면분석용 시료에서는 서로 맞붙인 실리콘 단결정 접착면을 따라 밀링속도가 선택적으로 커서 우선축이 생김으로써 양질의 시편을 얻기 어려운 문제점이 제기되었다. 이같은 문제를 포함한 전자현미경 시료준비과정에서 생길 수 있는 문제를 해결할 수 있는 실마리와 이를 이용해 수행한 전자현미경 분석결과 및 효과적인 시편준비방법이 본 논문에서 언급되었다.

• 한국전자현미경학회:학술대회논문집
• /
• 한국현미경학회 1999년도 제30차 추계학술대회
• /
• pp.54-58
• /
• 1999

GaAs 위에 증착된 ZnTe 박막의 계면 구조를 투과 전자 현미경을 이용하여 관찰하였다. 2-빔 조건을 사용하여 관찰된 계면에서 모아레 즐무늬가 관찰되었으며, 이러한 모아레 줄무늬의 생성원리를 규명하였다. 또한 고분해능 투과 전자현미경상으로부터 얻어진 결과와 비교하여 ZnTe의 성장방식 전이 및 섬 구조를 가지는 ZnTe 박막의 여러 가지 구조적 성질들 - 섬의 크기, 변형량, $60^{\circ}$ 전위의 분포 등 - 에 대해 밝혔다. 이러한 결과들은 큰 변형량이 걸린 반도체 이종 접합 구조의 해석에 일반적으로 적용될 수 있다.

• 한국전자현미경학회:학술대회논문집
• /
• 한국현미경학회 1997년도 제28차 춘계학술대회
• /
• pp.12-12
• /
• 1997

• 한국전자현미경학회:학술대회논문집
• /
• 한국현미경학회 1995년도 제26회 춘계학술대회 연제초록
• /
• pp.8-8
• /
• 1995

• 한국전자현미경학회:학술대회논문집
• /
• 한국현미경학회 2001년도 제32차 추계학술대회
• /
• pp.25-25
• /
• 2001

• 한국전자현미경학회:학술대회논문집
• /
• 한국현미경학회 2005년도 제36차 추계학술대회 및 제4회 HVEM 이용자 워크샵
• /
• pp.164-169
• /
• 2005

• 한국전자현미경학회:학술대회논문집
• /
• 한국현미경학회 2005년도 제36차 추계학술대회 및 제4회 HVEM 이용자 워크샵
• /
• pp.147-149
• /
• 2005

• 한국전자현미경학회:학술대회논문집
• /
• 한국현미경학회 1995년도 제26차 추계학술대회
• /
• pp.31-32
• /
• 1995

• 한국전자현미경학회:학술대회논문집
• /
• 한국현미경학회 1997년도 제28차 창립30주년 기념 추계학술대회
• /
• pp.49-51
• /
• 1997