SiC/Si 이종접합박막 성장 및 투과전자현미경 분석

  • 박철주 (전남대학교 금속공학과) ;
  • 이병택 (전남대학교 금속공학과) ;
  • 남기석 (전북대학교 화학공업공학과) ;
  • 서영훈 (전북대학교 화학공업공학과)
  • Published : 1995.12.01