전자 회전 공명 플라즈마 발생 장치에서의 $CF_4$ 방전사 Apearance Mass Spectrometry와 Actinometry를 통한 플루오로카본 래디칼과 플루오린원자의 거동에 관한 연구
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 1995년도 제9회 학술발표회 논문개요집
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- pp.97-97
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- 1995