• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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• pp.342-342
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• 2007

원자층 증착(Atomic Layer Deposition: ALD) 방법은 반응물질들을 펄스형태로 챔버에 공급하여 기판 표면에 반응물질의 표면 포화반응에 의한 화학적 흡착과 탈착을 이용한 박막증착기술이다. ALD법은 박막의 조성 정밀제어가 쉽고, 파티클 발생이 없으며, 대면적의 박막 증착시 균일성이 우수하고, 박막 두께의 정밀 조절이 용이한 장점이 있다. 원자층 증착 공정에서 짧은 시간 안에 소스를 충분히 공급하기 위한 방법으로는 소스 온도를 증가시켜 전구체의 증기압을 높여 반응기로의 유입량을 증가시키는 방법, 전구체의 공급시간을 늘리는 방법 등을 들 수 있다. 그러나 전구체 온도를 상승시키는 경우, 공정 조건의 변화가 요구되며 전구체의 변질에 의하여 형성된 막이 의도하는 막 특성을 만족시키지 못하게 되는 문제점이 발생될 우려가 있다. 그리고 전구체를 충분히 공급하기 위하여 전구체의 공급시간을 늘이는 방법을 사용하면, 원하는 두께의 막을 형성하기 위하여 소요되는 공정시간이 증가된다. 이를 해결하기 위해 수송가스를 이용한 버블러 형태의 전구체 공급 장치를 사용하지만 이 또한 전구체의 수명을 단축시키는 단점을 가지고 있다. 본 논문에서는 위의 문제점을 극복할 수 있는 새로운 개념의 수송가스 도움 전구체 공급 장치를 소개한다. 본 연구에서 사용된 수송가스 도움 전구체 공급 장치를 가지는 ALD 장비는 Lucida-D200 (NCD Technology사)이며 기판으로는 8인치 실리콘 웨이퍼를 사용하였으며 (TEMA)Zr을 사용하여 ZrO2 박막을 성장하였다. 수송가스 도움 전구체 공급 장치를 사용한 경우, 그렇지 않은 경우 보다 $30^{\circ}C$ 이상 전구체 온도를 낮출 수 있으며, 또한 증착 속도를 약 2배정도 증가시킬 수 있었다. 이들 박막들은 XRD, XPS, AFM 등을 이용하여 결정구조, 결합에너지, 표면 거칠기 등의 특성을 관찰하였다. 그리고 C-V, I-V 측정을 이용해 정전용량, 유전율, 누설전류 등의 전기적 특성을 평가하였다.

• 광산업정보
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• 통권35호
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• pp.48-55
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• 2006

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 1997년도 제12회 학술발표회 논문개요집
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• pp.192-192
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• 1997

• 한국자기학회:학술대회 개요집
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• 한국자기학회 1998년도 추계연구발표회 논문개요집
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• pp.8-9
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• 1998

• 한국전자거래학회:학술대회논문집
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• 한국전자거래학회 1997년도 한국전자거래학회 종합학술대회지
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• pp.53-58
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• 1997

본 논문에서는 통합 Logistics Center라는 새로운 조직을 통해서, 생산, 영업 및 물류를 총괄하여, 전체 공장과 전체 DC/SB의 재고량을 줄이고. 결품현상 방지, 수송비용 절감을 도모할 수 있는 통합 물류 시스템을 구축하는데 필요한 각 Process 및 이를 수행할 수 있는 발견적 해법을 개발하는 것을 연구한다. 생산(공장)에는 가장 정확한 각 DC/SB의 수요 예측량을 토대로 수립된 발주량과, 이 발주량을 통해서 결정된 생산의뢰 계획을 제공한다. 이 생산 계획은 제품이 생산되어서 출고될 때, 근거리 지역에 있는 DC/SB에 출고될 수 있도록, 각 공장의 전용라인에 대해서는 최소 수송비용을 고려한다. 제품의 혼합생산 라인의 정보( 생산 Capa.)를 이용하여 나머지 발주량을 생산 의뢰 계획으로 바꾸게 된다. 공장에서는 이 계획을 바탕으로 생산 계획을 수립하여, 그 계획과 생산된 제품을 DC/SB로 출고시킨다. 공 장의 출하 가능량과 각 DC/SB의 2주전의 발주량은 실제 많은 차이가 발생하므로, 이를 재조정하여, 공장의 재고를 최소로 하는 방향으로 공장의 출하 가능량을 조절한다. 조절된 출하 가능량은 2일간의 근거리 수송 원칙에 의해서 입고될 DC/SB를 결정한다. 공장의 출고를 돕기 위해서 배차계획을 수립한다. 본 연구에서는 각각의 Process Engine들의 활동과 정보의 흐름이 서로 상이한 시간 간격으로 발생할 때 각 Process Engine 의 Input/output으로 사용되는 정보의 효율적인 Systematic 동기화 및 Database와 interface 및 Multi-Tasking Database Transaction을 고려할 것이다.

• 대한전자공학회논문지TE
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• 제37권1호
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• pp.27-34
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• 2000

본 논문에서는 SCH 양자우물 구조를 가진 레이저 다이오드에서의 캐리어 수송기구와 변조응답 특성에 대해 고찰하였다. 캐리어 수송구조 고찰을 위해 캐리어 밀도분포및 다이오드전류를 계산하였다. 또한 우물내에서의 캐리어 재결합율을 SCH길이의 함수로 도출하였다. 변조응답 특성에서는 캐리어와 광자에 대한 3쌍의 비율 방정식을 도출, 해석하여 SCH 길이에 따른 변조 대역폭과 완화 진동 주파수, 감쇄 비율과 K-factor의 특성에 대하여 고찰하였다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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• pp.155.2-155.2
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• 2015

OLED 소자 제작 과정에서는 증착 과정이 필요하다. 따라서 증착 과정에서의 변화도가 소자의 성능 및 수명에 큰 영향을 미친다. 이와 관련하여 소자 증착시 조건을 다르게 하여 OLED의 특성이 변함을 관찰하였다. OLED는 전자수송층, 정공수송층, 발광층과 이들을 중심으로 이들의 역할을 도와주는 보조층들로 이루어져 있다. 각각의 유기층들이 증착조건의 변화에 따라 어떤 변화가 있는지 캐패시턴스 측정을 통해 분석해 보았다. OLED에 전압을 걸고 측정한 캐피시턴스에 따라 구동 전압, 해당 전압에서의 변화 등을 분석하였다.

• 한국산학기술학회:학술대회논문집
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• 한국산학기술학회 2002년도 춘계학술발표논문집
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• pp.87-89
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• 2002

본 연구는 전자상거래의 발전으로 인해 더욱 그 중요성이 부각되고 있는 중간창고(대포)에서의 반주시스템에 대한 새로운 개념을 도입한 모델을 제안하고 있다. 제안 모델은 종래의 발주점방식과 비교되는 발주범위에 의한 발주방식이며, 발주시 수송조건을 고려하고 있다. 본 논문에서는 모델의 정식화가 해법을 제안하고 있으며 수치 예를 통하여 그 유용성을 보여주고 있다.

• 기계와재료
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• 제21권4호
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• pp.48-55
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• 2010

극저온에서 고분자 복합재료는 열전도도가 낮아 단열 특성이 탁월하고 전기절연성이 뛰어나 에너지 산업, 전기 및 전자산업, 생물공학, 의료분야, 수송산업, 우주 항공 산업 등 응용 범위가 매우 광범위하고, 산업 규모 또한 지속적으로 성장하고 있다. 향후 신재생 에너지의 저장 및 수송용으로 열전도도가 낮은 고분자 복합재에 대한 수요가 크게 증가할 것으로 예상된다. 따라서 본 고에서는 고분자 복합재료의 극저온 응용에 관한 국내외 기술동향과 수지 및 복합재 물성, 극저온에서의 특성 평가 기술 등에 대하여 소개하였다.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제24권4호
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• pp.85-90
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• 2017

페로브스카이트 태양전지의 전자수송층(ETL)인 다공성 $TiO_2$에 $TiCl_4$를 흡착시켜 FTO 전극과 광활성층의 직접 접촉을 방지하고, 페로브스카이트 광활성층과 $TiO_2:TiCl_4$ 전자수송층 간의 전자 이동을 쉽게 함으로써 소자의 광전변환 효율을 높이고자 했다. 제작한 페로브스카이트 태양전지의 구조는 FTO/$TiO_2:TiCl_4$/Perovskite($CH_3NH_3PbI_3$)/spiro-OMeTAD/Ag이다. $TiCl_4$ 수용액에 다공성 $TiO_2$를 침지하는 시간을 변화시켜 제작한 소자의 광전기적 특성에 미치는 영향을 비교 평가하였다. $TiO_2:TiCl_4$ 전자수송층을 갖는 페로브스카이트 태양전지의 광전변환효율은 $TiCl_4$ 수용액에 $TiO_2$ 전자수송층을 30분 동안 침지하여 제작한 소자에서 가장 높은 10.46%를 얻었으며, 이는 $TiO_2$만의 전자수송층을 갖는 소자에 비해 27% 향상되었다. SEM, EDS, XPS 측정으로 $TiCl_4$ 흡착으로 인한 $TiO_2$ 층의 다공성 감소와 Cl 성분의 검출, 페로브스카이트 광활성층의 큐브형 모폴로지와 $PbI_2$ 피크의 이동을 관찰하였으며, $TiO_2:TiCl_4$ 층과 페로브스카이트 광활성층이 형성되었음을 확인하였다.