• Title/Summary/Keyword: 전이층

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DC magnetron sputtering을 이용한 Hf 첨가된 zinc oxide기반의 Thin film transistor의 전기적 특성

  • Sin, Sae-Yeong;Mun, Yeon-Geon;Kim, Ung-Seon;Kim, Gyeong-Taek;Park, Jong-Wan
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.08a
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    • pp.110-110
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    • 2010
  • 현재 박막 트랜지스터는 비정질 실리콘 기반의 개발이 주를 이루고 있으며, 이 비정질 실리콘은 성막공정이 간단하고 대면적에 용이하지만 전기적인 특성이 우수하지 않기 때문에 디스플레이의 적용에 어려움을 겪고 있다. 이에 따라 poly-Si을 이용한 박막 트랜지스터의 연구가 진행되고 있는데, 이는 공정온도가 높고, 대면적에의 응용이 어렵다. 따라서 앞으로 저온 공정이 가능하며 대면적 응용이 용이한 박막 트랜지스터의 연구가 필수적이다. 한편 최근 박막 트랜지스터의 채널층으로 사용되는 물질에는 oxide 기반의 ZnO, SnO2, In2O3 등이 주로 사용되고 있고, 보다 적합한 채널층을 찾기 위한 연구가 많이 진행되어 왔다. 최근 Hosono 연구팀에서 IGZO를 채널층으로 사용하여 high mobility, 우수한 on/off ratio의 특성을 가진 소자 제작에 성공함으로써 이를 시작으로 IGZO의 연구 또한 세계적으로 활발한 연구가 이루어지고 있다. 특히, ZnO는 wide band gap (3.37eV)을 가지고 있어 적외선 및 가시광선의 투과율이 좋고, 전기 전도성과 플라즈마에 대한 내구성이 우수하며, 낮은 온도에서도 성막이 가능하다는 특징을 가지고 있다. 그러나 intrinsic ZnO 박막은 bias stress 같은 외부 환경이 변했을 경우 전기적인 성질의 변화를 가져올 뿐만 아니라 고온에서의 공정이 불안정하다는 요인을 가지고 있다. ZnO의 전기적인 특성을 개선하기 위해 본 연구에서는 hafnium을 doping한 ZnO을 channel layer로 소자를 제작하고 전기적 특성을 평가하였다. 이를 위해 DC magnetron sputtering을 이용하여 ZnO 기반의 박막 트랜지스터를 제작하였다. Staggered bottom gate 구조로 ITO 물질을 전극으로 사용하였으며, 제작된 소자는 semiconductor analyzer를 이용하여 출력특성과 전이 특성을 평가하였으며, ZnO channel layer 증착시 hafnium이 도핑 되는 양을 조절하여 소자를 제작한 후 intrinsic ZnO의 소자 특성과 비교 분석하였다. 그 결과 hafnium을 doping 시킨 소자의 field effect mobility가 $6.42cm^2/Vs$에서 $3.59cm^2/Vs$로 낮아졌지만, subthreshold swing 측면에서는 1.464V/decade에서 0.581V/decade로 intrinsic ZnO 보다 좋은 특성을 나타냄을 알 수 있었다. 그리고 intrinsic ZnO의 경우 외부환경에 대한 안정성 문제가 대두되고 있는데, hafnium을 도핑한 ZnO의 경우 temperature, bias temperature stability, 경시변화 등의 다양한 조건에서의 안정성이 확보된다면 intrinsic ZnO 박막트랜지스터의 문제점을 해결할 수 있는 물질로 될 것이라고 기대된다.

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경사 코팅법으로 제조된 TiN 다층 박막의 특성

  • Song, Min-A;Yang, Ji-Hun;Park, Hye-Seon;Jeong, Jae-Hun;Jeong, Jae-In
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.08a
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    • pp.270-270
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    • 2011
  • 전이금속(transition metal) 질화물(nitride)은 높은 경도, 내마모성, 부식 저항성 그리고 내열성 등과 같은 우수한 기계적 물성 때문에 많은 연구가 되어 왔다. 이 중 질화 티타늄은 높은 경도, 내식 및 내마모의 우수한 기계적 특성으로 공구(tool)와 같은 제품의 수명 향상을 위한 표면 코팅소재로 사용되어 왔으며, 금(gold)색의 미려한 색상을 이용한 제품의 외관 표면처리와 인체에 무해한 특성을 활용한 정형외과 및 치과용 보형물의 수명 및 안정성 향상 등 다양한 분야에 응용 되고 있다. 본 연구에서는 아크방전을 이용한 경사 코팅법으로 질화 티타늄을 합성하였으며, 경사 코팅에 따른 단층 및 다층 박막(2~3 layer)의 미세조직 변화와 그 물성을 평가하였다. 아크 소스에 장착된 타겟은 120 $mm{\Phi}$, 99.5%의 Ti 타겟을 사용하였고, 시편과 타겟 간의 거리는 약 30 cm이며, 시편은 냉연강판과 SUS를 사용하였다. 시편을 진공용기에 장착하고 ~10-6 Torr까지 진공배기를 실시하고, Ar 가스를 진공용기 내로 공급하여 ~10-4 Torr에서 시편에 bias (Pulse : 400 V)를 인가한 후 아크를 발생시켜 약 5분간 청정을 실시하였다. 플라즈마 청정이 끝나면 시편에 인가된 bias를 차단하고 코팅하였다. 경사 코팅을 위한 시편의 회전각은 45$^{\circ}$, -45$^{\circ}$이며, 질화 티타늄의 두께는 약 3 ${\mu}m$로 동일하게 코팅 하였다. 45$^{\circ}$ 단일층의 경우 0$^{\circ}$ 단일층보다 경도가 감소하나 zigzag 구조의 다층으로 갈수록 45$^{\circ}$ 단일층과 비교하여 확연히 경도가 증가함을 볼 수 있었다. 다층 질화 티타늄의 경사 코팅을 통해 박막의 미세조직 변화를 SEM 이미지를 통해 확인하였으며 증착 방식에 따라 경도, 조도, 반사도 등의 물성 변화가 나타났다. 본 연구에서 얻어진 결과를 이용하여 다양한 형태의 박막구조 제어를 통한 물성변화가 가능할 것으로 예상된다.

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A Study on Sedimentology of the Mesozoic Munamdong Formation, Northeastern Gyeonggi Massif, Korea (경기육괴 북동부에 분포하는 중생대 문암동층의 퇴적학적 연구)

  • Choi, Young-Gi;Ryu, In-Chang
    • Economic and Environmental Geology
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    • v.47 no.5
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    • pp.517-532
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    • 2014
  • The Munamdong Formation is a small scale sedimentary deposit which is located in Yuljeonri, Naemyeon, Hongcheon Gangwon-do. In order to understand the depositional environment and its sequential change in the formation, sedimentary facies analysis was conducted. The result indicates that the Munamdong Formation began to be deposited in alluvial fan system accompanying volcanic activity and gradually deposited in lake system. As well, U-Pb, K-Ar and $^{40}Ar/^{39}Ar$ ages are determined from the Munamdong Formation. The SHRIMP U-Pb Phanerozoic Eon age of the detrital zircons in the middle part of the Munamdong formation yields $229.8{\pm}2.5Ma$. The K-Ar and $^{40}Ar/^{39}Ar$ ages of the volcanic rock in the lowermost part of the Munamdong formation are $203.7{\pm}3.9Ma$ and $227.4{\pm}8.4Ma$ respectively. These results confirm that the Munamdong Formation was deposited during the Late Triassic, indicating that the basin might be formed due to post-collisional rifting or collapsing.

Studies on Salmonella enteritidis Contamination in Chicken Egg using Confocal Scanning Laser Microscopy (Confocal Scanning Laser Microscopy 를 이용한 계란에서의 Salmonella enteritidis 오염 연구)

  • Jang, Keum-Il;Park, Jong-Hyun;Kim, Kwang-Yup
    • Korean Journal of Food Science and Technology
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    • v.31 no.3
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    • pp.771-777
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    • 1999
  • The structural function of three egg membrane layers and cuticle layer, and the effectiveness of 5 film coatings (chitosan, starch, gelatin, dextrin, mineral oil) on the prevention of Salmonella enteritidis penetration was investigated using confocal scanning laser microscopy (CSLM). Diameters of outer membrane fibers, inner membrane fibers and limiting membrane particles in eggshell were $1.5{\sim}7.2$, $0.8{\sim}2.0$ and $0.1{\sim}1.4\;{\mu}m$, respectively and average thicknesses were 10.0, 3.5, $3.6\;{\mu}m$, respectively. Average thickness of cuticle layer was $6.0\;{\mu}m$ and cuticle layer covered $40{\sim}80%$ of total eggshell surface. Average coating films thickness for chitosan, starch, gelatin, dextrin and mineral oil were 2.2, 2.5, 3.9, 3.6 and $5.0\;{\mu}m$, respectively. After immersion process eggshell surface was almost completely covered by coating films. Chitosan coating was most effective among 5 film coatings in inhibiting growth of Salmonella enteritidis. Penetration process of Salmonella enteritidis through eggshell was investigated by multicolor imaging using CSLM and plate counting. Cuticle layer was the most important structure in blocking the penetration. Among 5 film coatings, chitosan showed the best and similar effectiveness with cuticle layer.

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Preparation of Forward Osmosis Membranes with Low Internal Concentration Polarization (농도 분극이 저감된 정삼투 분리막 제조)

  • Kim, Nowon;Jung, Boram
    • Membrane Journal
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    • v.24 no.6
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    • pp.453-462
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    • 2014
  • Thin film composite (TFC) polyamide (PA) membranes were prepared on polyester (PET) nonwoven reinforced polysulfone supports for forward osmosis (FO) processes. PSF (polysulfone) supports were prepared via the phase inversion process from PSF casting solutions in dimethyl formamide (DMF) solvents (19 wt%) by using a PET nonwoven (thickness of $100{\mu}m$) as a mechanical reinforcing material for reverse osmosis (RO) membrane. The PSF support from 19 wt% of DMF/PSF casting solution showed sponge-like morphology and asymmetric internal structure. To reduce the internal concentration polarization in FO operation, thin ($20{\mu}m$ of thickness) nonwoven-supported PSF supports were prepared by using PSF/DMF casting solution (9~19 wt%). A desirable support structure with a highly porous sponge-like morphology were achieved from the thin nonwoven-supported PSF layer prepared with 9~12 wt% casting solution. A crosslinked aromatic polyamide layer was fabricated on top of each support to form a TFC PA membrane. The tested sample from 12 wt% of DMF/PSF casting solution presented outstanding FO performance, almost 5.5 times higher water flux (24.3 LMH) with low reverse salt flux (RDF, 1.5 GMH) compared to a thick nonwoven rainforced membrane (4.5 LMH of flux and 3.47 GMH of RSF). By reducing the thickness of the nonwoven and optimizing PSF concentration of casting solution, the morphology of the prepared membranes were changed from a dense structure to a porous sponge structure in the boundary area between nonwoven and PET support layer.

Seismic study of the Ulleung Basin crust and its implications for the opening of the East Sea (탄성파 탐사를 통해 본 울릉분지의 지각특성과 동해형성에 있어서의 의미)

  • Kim, Han Jun
    • Journal of the Korean Geophysical Society
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    • v.2 no.1
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    • pp.9-26
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    • 1999
  • The Ulleung Basin (Tsushima Basin) in the southwestern East Sea (Japan Sea) is floored by a crust whose affinity is not known whether oceanic or thinned continental. This ambiguity resulted in unconstrained mechanisms of basin evolution. The present work attempts to define the nature of the crust of the Ulleung Basin and its tectonic evolution using seismic wide-angle reflection and refraction data recorded on ocean bottom seismometers (OBSs). Although the thickness of (10 km) of the crust is greater than typical oceanic crust, tau-p analysis of OBS data and forward modeling by 2-D ray tracing suggest that it is oceanic in character: (1) the crust consists of laterally consistent upper and lower layers that are typical of oceanic layers 2 and 3 in seismic velocity and gradient distribution and (2) layer 2C, the transition between layer 2 and layer 3 in oceanic crust, is manifested by a continuous velocity increase from 5.7 to 6.3 km/s over the thickness interval of about 1 km between the upper and lower layers. Therefore it is not likely that the Ulleung Basin was formed by the crustal extension of the southwestern Japan Arc where crustal structure is typically continental. Instead, the thickness of the crust and its velocity structure suggest that the Ulleung Basin was formed by seafloor spreading in a region of hotter than normal mantle surrounding a distant mantle plume, not directly above the core of the plume. It seems that the mantle plume was located in northeast China. This suggestion is consistent with geochemical data that indicate the influence of a mantle plume on the production of volcanic rocks in and around the Ulleung Basin. Thus we propose that the opening models of the southwestern East Sea should incorporate seafloor spreading and the influence of a mantle plume rather than the extension of the crust of the Japan Arc.

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동해 울릉분지 남서부 천부퇴적층의 퇴적학적 특성 및 지화학 연구

  • 김일수;류병재;박명호;정태진;이영주;유강민
    • 한국석유지질학회:학술대회논문집
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    • autumn
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    • pp.56-62
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    • 2001
  • 울릉분지 남서부 해역에서 채취한 두 개의 피스톤 코어 (piston core) 시료를 이용하여 퇴적학 및 지화학적 특성을 연구하였다. 코어는 제4기말의 이질 퇴적물로 대부분 구성되어 있고, 테프라 (tephra layer)와 사질 퇴적물이 일부 협재되어 나타난다. 기존 확인된 울릉분지의 테프라를 이용하여 층서 대비를 한 결과, 두 코어는 대양보다는 높은 퇴적률 (10-12cm/kyr)을 갖는다. 이는 코어가 약 4만 4천년 전의 기록부터 시작하고 있음을 의미한다. 동위원소 층서 2 (마지막 빙기) 중에 형성된 구간에서는 저탁류의 영향을 많이 받은 여러 종류의 퇴적상들이 교호하여 나타난다. 코어의 하부 구간에서는 가스의 방출에 의하여 형성된 것으로 사료되는 수평균열이 다수 관찰된다. 두 코어에서 측정된 유기탄소 (organic carbon) 함량은 평균 $1.8\% $(0.1-4.5\%)$으로 열린 바다 (open sea) 퇴적물의 유기탄소 함량보다 높다. 이는 Termination I 시기 때 해수면 상승으로 인해 산소가 다소 결핍된 환경으로 전이되면서 유기탄소의 양이 증가하였음을 보여주는 것으로 해석된다.

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SEM-EDS를 이용한 고대문화의 해석 - 고대의 유리구슬 -

  • Kim, Gyu-Ho;Heo, U-Yeong
    • 한국전자현미경학회:학술대회논문집
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    • 1999.05a
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    • pp.40-44
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    • 1999
  • 기록이 없는 과거 역사에 대한 연구는 문화재라는 간접적인 자료를 통하여 이루어지고 있다. 지금까지의 문화재 연구는 외형적인 특성을 연구하는 고고학이나 미술사의 분야만으로 국한하였으나 점차 내형적인 특성을 연구하는 과학적인 분석기술도 다양하게 응용되고 있다. 문화재의 특성적 성분을 분석하여 원료, 제작방법, 시대, 그리고 지역으로 그룹화한다면 문화재의 특성과 함께 지역, 시대에 따른 문화적 형태와 수준, 그리고 문화의 유입 경로 등에 대한 자료를 제시할 수 있다. 분 연구에서는 유리나 도자기 유약 등의 문화재를 분석할 경우에 대한 SEM-EDS의 정량분석 조건들을 설정하고 경남 김해 양동리고분에서 출토된 고대 유리구슬에 대하여 직접 적용하여 보았다. 분석 결과, 매장되었던 고대 유리에서는 풍화층이 존재하며 이에 대한 분석조건과 정량분석의 문제점들을 고찰하였다. 이를 기초로 하여 적용한 양동리고분의 유리구슬은 알칼리계 유리로 칼리계 유리는 AD 1C, 소다계 유리는 AD 2C말$\sim$3C초부터 나타난 것으로 추정된다. 그리고 유리의 색상은 전이금속 동(Cu), 철(Fe), 그리고 망간(Mn)의 함유량과 밀접한 관계가 있음을 보인다. 이 분석 결과에 따라 고대 유리구슬의 성분 함유량이 원료, 색상, 유구편년, 그리고 지역에 따라 그룹이 형성될 수 있음을 확인하였다.

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Design of Laminar Flow Chamber Apparatus for Endothelial Cell Physiology Study (혈관내피세포의 생리적 반응 연구를 위한 평판형 층류발생장치의 설계)

  • 장준근
    • Tribology and Lubricants
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    • v.14 no.1
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    • pp.94-98
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    • 1998
  • 혈관내피세포는 혈관의 내벽에 단일 층을 구성하고 있는 상피세포로 동맥경화나 혈관협착의 원인에 매우 중요한 역할을 하는 것으로 알려져 있다. 그리고, 모든 혈관 질환의 발생장소가 혈관이 나뉘는 분지부에 집중되고 있어, 혈류역학과 혈관질환 간에 상호연관성이 있음을 짐작할 수 있다. 특히, 최근에 와서 혈관내피세포가 혈액유동에 의해 발생하는 전단응력을 인지하여 혈관의 제반 생리적 반응을 조절한다는 연구결과가 속속 발표되고 있어, 혈관질환의 극복을 위한 연구 개발에 혈관내피세포에 대한 이해의 중요성이 증대되고 있다. 이에 본 연구에서는 혈관내피세포에 혈류와 같은 크기의 전단응력을 부가하여 세포의 생리적 반응을 고찰할 수 있는 평판형 층류발생장치를 설계, 제작하였다. 설계된 평판형 층류발생장치는 유동환경 하에서의 혈관내피세포의 동적반응을 고찰 할 수 있도록 유동액의 온도, 산도, 전단응력의 크기를 조절할 수 있도록 설계하였으며, 제작된 실험장치를 이용하여 전단응력에 의한 혈관내피세포의 형태변화를 고찰하였다. 개발된 층류발생장치는 혈관내피세포의 연구 뿐 아니라, 백혈구의 점착, 암세포의 전이등에도 다양하게 활용이 가능하다.

불안정판을 이용한 자세균형 훈련시스템에 관한 연구

  • Kim, Gyeong;Park, Yong-Gun;Kim, Seong-Hyeon;Yu, Mi;Gwon, Dae-Gyu;Hong, Cheol-Un;Kim, Nam-Gyun
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 2004.05a
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    • pp.294-294
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    • 2004
  • 최근 평균수명의 연장에 따른 사회 노년층의 증가로 낙상사고의 빈도가 높아지고 있으며, 또한 교통사고 발생이 빈번함에 따라 전정계 이상 및 체성감각계의 기능 손상에 의한 자세균형 환자가 점점 증가하고 있는 추세이며, 이러한 균형 제어력의 소실이 환자의 재활치료에 많은 어려움을 초래하고 있다. 자세균형제어에 관한 연구는 주로 힘판을 이용하여 특정 감각시스템으로부터의 입력을 제한하거나 외력에 의해 평형 유지를 방해했을 때, 신체 전이(displacement), 압력중심의 움직임(Center Of Pressure; COP), 자세 유지 시 작용하는 근육의 활동전위 등을 측정하는 연구와 더불어 균형에 어려움을 느끼는 환자를 위한 바이오피드백(Biofeedback)을 적용한 연구가 보고되고 있다.(중략)

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