• Title/Summary/Keyword: 전이금속산화물

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산화공정을 통해 제작 된 전이금속산화물 박막의 저항변화 특성 연구

  • Seong, Yong-Heon;Go, Dae-Hong;Kim, Sang-Yeon;Do, Gi-Hun;Seo, Dong-Chan
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2009.11a
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    • pp.30.1-30.1
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    • 2009
  • 정보화가 급속히 진전됨에 따라 보다 많은 양의 정보를 전송, 처리, 저장하게 되면서 이를 위해 대용량, 고속, 비휘발성의 특징을 갖는 차세대 메모리의 개발이 절실히 요구되고있다. 이 중 저항 변화 메모리(ReRAM)는 일반적으로 TiO2, Al2O3, NiO2, HfO2, ZrO2 등의 전이금속산화물을 이용한 MIM 구조로서 적당한 전기 신호를 가하면 저항이 높아서 전도되지 않는 상태(Offstate)에서 저항이 낮아져 전도가 가능한 상태(On state)로 바뀌는 메모리 특성을가진다. ReRAM은 비휘발성 메모리이며 종래의 비휘발성 기억소자인 Flash memory 보다 access time 이105 배 이상 빠르고, 5V 이하의 낮은 전압에서도 동작이 가능하다. 또한 구조가 간단하여 공정 단순화가 가능하고 소자의 집적화도 쉽다는 점 등 많은 장점들이 있어서 Flash memory를 대체할 수 있는 유력한 후보로 여겨지고 있다. 본연구에서는 DC-magnetron Sputtering 방법으로 전이금속 박막을 증착하고, Dry furnace로 산화시켜 전이금속산화물 박막을 제작한 후 저항변화 특성을 연구하였다. 두 개의 전이금속산화물 박막을 dual-layer로 형성시켜 저항변화특성을 관찰하였으며 또한, 전이금속산화물 박막의 조성을 달리 하여 저항변화를 관찰 하였다. 전이금속산화물 박막의 전기적 특성을 알아보기 위해 Si(100) wafer 위에 Pt를 이용 MIM 형태로 capacitor 시편을 제작 하여, probe station으로 I-V 측정을 하였고 조성 및 표면 분석을 위해서는 AES와 AFM을, 미세구조를 분석을 위해서는 TEM과 SEM 을 사용하였다.

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증착방법을 달리한 $TiO_2$ 박막의 표면처리에 따른 저항변화 특성 연구

  • Seong, Yong-Heon;Kim, Sang-Yeon;Do, Gi-Hun;Seo, Dong-Chan;Jo, Man-Ho;Go, Dae-Hong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2010.02a
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    • pp.206-206
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    • 2010
  • 정보화 기술이 급속히 발전함에 따라서 보다 많은 양의 data를 전송, 처리, 저장 하게 되면서 이를 처리 할 수 있는 대용량, 고속, 비휘발성의 차세대 메모리의 개발이 요구 되고 있다. 이 중 저항 변화 메모리(ReRAM)는 일반적으로 전이금속산화물을 이용한 MIM 구조로서 적당한 전기 신호를 가하면 저항이 높아서 전도되지 않는 상태(Off state)에서 저항이 낮아져 전도가 가능한 상태(On state)로 바뀌는 메모리 특성을 가진다. ReRAM은 비휘발성 메모리이며 종래의 비휘발성 기억소자인 Flash memory 보다 access time이 $10^5$배 이상 빠르며, 2~5V 이하의 낮은 전압에서 동작이 가능하다. 또한 구조가 간단하여 공정상의 결함을 현저히 줄일 수 있다는 점 등 많은 장점들이 있어서 Flash memory를 대체할 수 있는 유력한 후보로 여겨지고 있다. 저항 변화의 특징을 잘 나타내는 물질에는 $TiO_2$, $Al_2O_3$, $NiO_2$, $HfO_2$, $ZrO_2$등의 많은 전이금속산화물들이 있다. 본 연구에서는 Reactive DC-magnetron Sputtering 방법과 DC-magnetron sputter를 이용하여 Ti를 증착한 후 Oxidation 방법으로 각각 증착한 $TiO_2$박막을 사용하여 저항변화특성을 관찰하였다. $TiO_2$상부에 Atomic Layer Deposition (ALD)를 이용하여 $HfO_2$ 박막을 증착하여 표면처리를 하고, 또한 $TiO_2$에 다른 전이 금속박막 층을 추가 증착하여 저항변화 특성에 접합한 조건을 찾는 연구를 진행하였다. 하부 전극과 상부 전극 물질로는 Si 100 wafer 위에 Pt 또는 TiN을 사용하였다. 저항변화 특성을 평가하기 위해 Agilent E5270B를 이용하여 current-voltage (I-V)를 측정하였다. X-ray Diffraction (XRD)를 이용하여 증착 된 전기금속 박막 물질의 결정성을 관찰했으며, Atomic Force Microscopy (AFM)을 이용하여 증착 된 샘플의 표면을 관찰했다. SEM과 TEM을 통해서는 sample의 미세구조를 확인 하였다.

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Electric-field Assisted Photochemical Metal Organic Deposition for Forming-less Resistive Switching Device (전기장 광화학 증착법에 의한 직접패턴 비정질 FeOx 박막의 제조 및 저항변화 특성)

  • Kim, Su-Min;Lee, Hong-Sub
    • Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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    • v.27 no.4
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    • pp.77-81
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    • 2020
  • Resistive RAM (ReRAM) is a strong candidate for the next-generation nonvolatile memories which use the resistive switching characteristic of transition metal oxides. The resistive switching behaviors originate from the redistribution of oxygen vacancies inside of the oxide film by applied programming voltage. Therefore, controlling the oxygen vacancy inside transition metal oxide film is most important to obtain and control the resistive switching characteristic. In this study, we introduced an applying electric field into photochemical metal-organic deposition (PMOD) process to control the oxidation state of metal oxide thin film during the photochemical reaction by UV exposure. As a result, the surface oxidation state of FeOx film could be successfully controlled by the electric field-assisted PMOD (EFAPMOD), and the controlled oxidation states were confirmed by x-ray photoelectron spectroscopy (XPS) I-V characteristic. And the resistive switching characteristics with the oxidation-state of the surface region could be controlled effectively by adjusting an electric field during EFAPMOD process.

The Magnetic Structure and Magnetic Anisotropy Energy Calculations for Transition Metal Mono-oxide Clusters (전이금속산화물 클러스터의 자기구조 및 자기이방성에너지 계산)

  • Park, Key-Taeck
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.21 no.1
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    • pp.1-4
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    • 2011
  • We have studied magnetic structure and magnetic anisotropy energy of cubic transition metal mono-oxide cluster FeO and MnO using OpenMX method based on density functional method. The calculation results show that the antiferromagnetic spin arrangement has the lowest energy for FeO and MnO due to the superexchange interactions. The magnetic anisotropy is only found for antiferromagnetically ordered FeO cluster, since occupied electron of 3d down-spin level induces the spin-orbit couplings with <111> directed angular momentum.

Catalytic Reduction of Oxidized Mercury to Elemental Form by Transition Metals for Hg CEMS (수은 연속측정시스템에서 전이금속에 의한 산화수은의 원소수은으로의 촉매환원)

  • Ham, Sung-Won
    • Clean Technology
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    • v.20 no.3
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    • pp.269-276
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    • 2014
  • This study was aimed to develop catalytic system for the dry-based reduction of oxidized mercury ($Hg^{2+}$) to elemental mercury ($Hg^0$) which is one of the most important components comprising mercury continuous emission monitoring system (Hg-CEMS). Based on the standard potential in oxidation-reduction reaction, transition metals including Fe, Cu, Ni and Co were selected as possible candidates for catalyst proceeding spontaneous reduction of $Hg^{2+}$ into $Hg^0$. These transition metal catalysts revealed high activity for reduction of $Hg^{2+}$ into $Hg^0$ in the absence of oxygen in reactant gases. However, their activities were greatly decreased in the presence of oxygen, which was attributed to the transformation of transition metals by oxygen to the corresponding transition metal oxides with less catalytic activity for the reduction of oxidized mercury. Hydrogen supplied to the reactant gases significantly enhanced $Hg^{2+}$ reduction activity even in the presence of oxygen. It might be due to occurrence of combustion reaction between $H_2$ and $O_2$ causing the consumption of $O_2$ at such high reaction temperature at which oxidized mercury reduction reaction took place. Because the system showed high activity for $Hg^{2+}$ reduction to $Hg^0$, which was compatible to that of wet-chemistry technology using $SnCl_2$ solution, the catalytic reduction system of Fe catalyst with the supply of $H_2$ could be employed as a commercial system for the reduction of oxidized mercury to elemental mercury.

Decomposition of Toluene over Transition Metal Oxide Catalysts (전이금속 산화물 촉매를 이용한 톨루엔 분해)

  • Cheon, Tae-Jin;Choi, Sung-Woo;Lee, Chang-Seop
    • Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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    • v.27 no.6
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    • pp.651-656
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    • 2005
  • Toluene, which is emitted from textile process, is considered as an important hazardous air pollutant. In this study, the catalytic activity of transition metal oxides(Cu, Mn, V, Cr, Co, Ni, Ce, Sn, Fe, Sr, Cs, Mo, La, W, Zn)/${\gamma}-Al_2O_3$ catalysts was investigated to carry out the complete oxidation of toluene. The metal catalysts were characterized by XRD-ray diffraction), FE-SEM(Field Emission Scanning Electron Micrograph), BET(Brunauer Emmett Teller) method and TPR(Temperature Programmed Reduction). Among the catalysts, Cu/${\gamma}-Al_2O_3$ was highly promising catalyst for the oxidation of toluene. From the BET results, it seems that the catalytic activity is not correlated to the specific surface area. XRD results indicated that most of catalysts exist as amorphous phase. From the FE-SEM results, it was observed that copper on ${\gamma}-Al_2O_3$ surface was well dispersed among catalysts. The catalytic activity for the toluene oxidation could be explained with that metal oxide catalyst was dispersed well over supports and was attributed to reduction activity in surface of catalysts.

Role of Phospholipase $A_2$ on lipid peroxidation (과산화지질 형성에 있어서 Phospholipase $A_2$의 역할)

  • 황화신;정규찬;장현옥
    • Proceedings of the Korean Society of Applied Pharmacology
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    • 1994.04a
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    • pp.341-341
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    • 1994
  • 생체막의 주요 구성성분인 인지질의 2번 위치에 결합한 불포화지방산은 각종 전이금속이나 각종 활성산소들의 공격을 쉽게 받아 지질과산화반응이 일어나서 생체에 유독한 화합물을 생성하게 된다. 생체는 이러한 기구의 해독을 위하여 크게 2가지 방어기전을 갖고 있다. 즉 Vitamin- C, $\alpha$-tocopherol, flavonoid, SOD, catalase 등과 같이 생성된 활성산소를 제거시키는 기구와. 활성산소에 의해 생성된 과산화물을 제거시키는 기구로 glutathione peroxidase (GPX)가 알려졌으며 GPX에 의해 독성이 낮은 수산화물까지 환원시키는 기구가 보고되었다. 그러나 인지질의 과산화물 그대로는 GPX의 기질이 쥘수 없으므로, 산화된 지방산을 절단하는 효소에 대한 기구의 해석이 요구되고 있다. 최근 여러질병에 관련되어 있는 인지질 2번위치의 지방산을 분해하는 phospholipase $A_2$ (PLA$_2$)가 과산화지질의 분해에 관여한다는 주장이 제기되었다. 따라서 본 연구에서는 rat liver microsome에 $CCl_4$투여로 일어나는 과산화반응에 있어서 PLA$_2$의 역할을 규명하기 위하여 본 실험을 행하였다.

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Synthesis and Characterization of Oxygen Evolution Nanofiber electrocatalyst for Water Electrolysis (수전해 산소발생을 위한 나노섬유 전기화학 촉매 합성 및 특성분석)

  • Won, Mi-So;Jang, Myeong-Je;Lee, Gyu-Hwan;Choe, Seung-Mok
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2016.11a
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    • pp.186-186
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    • 2016
  • 수소는 연료전지 등의 에너지원으로 사용될 경우 NOx, SOx, $CO_2$ 등의 한경오염물질, 온실가스를 발생시키지 않기 때문에 친환경 에너지원으로 각광을 받고 있다. 수전해는 수소를 생산하는 가장 간단하고 효율적인 방법 중의 하나로서, 잉여전력 또는 신재생에너지에 의한 전기에너지를 통해 환경오염물질 발생 없이 고순도의 수소를 얻을 수 있으며 분산/대량 생산이 용이하다. 수전해에서 환원전극에서는 수소발생반응이 일어나고, 산화전극에서는 산소발생반응이 일어난다. 이때 주로 산소발생전극 촉매로는 과전압이 작게 걸리고 활성이 우수한 귀금속 계열의 $IrO_2$$RuO_2$ 등의 촉매가 현재 사용되고 있다. 본 연구에서는 고분자 용액을 만들어 전기방사를 이용하여 공정변수에 따른 직경과 morphology를 확인하였고, 고가의 귀금속 산화물 대신 저렴한 전이금속산화물인 Cu와 Co를 이용하여 1D 나노섬유를 산소발생 촉매로 합성하였다. 합성된 나노섬유의 구조적, 물리화학적 특성을 분석하고 산소발생반응(OER)에 대한 전기화학적 활성 및 내구성을 평가하였다.

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Light fastness of Zinc oxide for aramid fiber via sol-gel deposition (나노 산화아연 처리에 의한 파라 아라미드 섬유의 내광성 증진 연구)

  • Park, S.M.;Kim, M.S.;Kwon, I.J.;Sim, J.H.;Lee, K.N.;Yoon, N.S.
    • Proceedings of the Korean Society of Dyers and Finishers Conference
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    • 2012.03a
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    • pp.110-110
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    • 2012
  • 아라미드 섬유소재는 고강도, 고내열성의 소재로 다양한 용도전개가 가능하나, 일광 및 부식에 의한 내광성 및 내후성이 급격하게 저하되는 단점이 있다. 자외선의 광화학적 작용에 의해 변퇴, 경화, 취하, 강도저하가 일어나는 단점을 보완하기 위해 내광성 및 내화학성이 우수한 전이금속산화물 소재와의 복합화를 통해 내광성 및 내화학성 개선에 대하여 연구하였다. zinc acetate 수화물과 수산화리튬을 무수에탄올로 용해시킨 용액을 강하게 교반하여 나노 산화아연 졸을 제조하였다. 제조된 나노크기의 zinc oxide 입자의 형상과 입자분포 등 제조특성을 입도분석기, FE-SEM 및 EDS 분석을 통하여 고찰하였으며, 제조된 나노졸을 아라미드 섬유에 침지시켜 Xenon-arc 내후성시험기에서 80시간 동안 노출시켜 노출시간에 따른 물성변화를 분석하였다. 나노졸을 5~20% 픽업으로 패딩한 후 광에 노출된 아라미드의 인장강도는 나노졸을 처리하지 않은 아라미드 섬유보다 20~30% 개선된 인장강도를 나타내었다.

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Hydrogenation Properties on MgHx-Sc2O3 Composites by Mechanical Alloying (MgHx-Sc2O3 복합재료의 수소화 특성)

  • Kim, Kyeong-Il;Kim, Yong-Sung;Hong, Tae-Whan
    • Transactions of the Korean hydrogen and new energy society
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    • v.21 no.2
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    • pp.81-88
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    • 2010
  • Hydrogen energy applications have recognized clean materials and high energy carrier. Accordingly, Hydrogen energy applies for fuel cell by Mg and Mg-based materials. Mg and Mg-based materials are lightweight and low cost materials with high hydrogen storage capacity. However, commercial applications of the Mg hydride are currently hinder by its high absorption/desorption temperature, and very slow reaction kinetics. Therefore one of the most methods to improve kinetics focused on addition transition metal oxide. Addition to transition metal oxide in $MgH_x$ powder produce $MgH_x$-metal oxide composition by mechanical alloy and it analyze XRD, EDS, TG/DSC, SEM, and PCT. This report considers kinetics by transition metal oxide rate and Hydrogen pressure. In this research, we can see behavior of hydriding/dehydriding profiles by addition catalyst (transition metal oxide). Results of PCI make a excellent showing $MgH_x$-5wt.% Sc2O3 at 623K, $MgH_x$-10wt.% $Sc_2O_3$ at 573K.