• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제19권1호
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• pp.61-66
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• 2012

반도체 산업에서 회로의 고집적화와 다층구조를 형성하기 위해 화학적-기계적 연마(CMP: Chemical-Mechanical Planarization) 공정이 도입되었으며 반도체 패턴의 미세화와 다층화에 따라 화학적-기계적 연마 공정의 중요성은 더욱 강조되고 있다. 화학적-기계적 연마공정이란 화학적 반응과 기계적 힘을 동시에 이용하여 표면을 평탄화하는 공정으로, 화학적-기계적 연마 공정은 압력, 속도 등의 공정조건과, 화학적 반응을 유도하는 슬러리(Slurry), 기계적 힘을 위한 패드 등에 의해 복합적으로 영향을 받는다. 패드 컨디셔닝이란 컨디셔너가 화학적-기계적 연마 공정 중에 지속적으로 패드 표면을 연마하여 패드의 손상된 부분을 제거하고 새로운 표면을 노출시켜 패드의 상태를 일정하게 유지시키는 것을 말한다. 한편, 금속박막의 화학적-기계적 연마 공정에 사용되는 슬러리는 금속박막과 산화반응을 하기 위하여 산화제를 포함하는데, 산화제는 금속 컨디셔너 표면을 산화시켜 부식을 야기한다. 컨디셔너의 표면부식은 반도체 수율에 직접적인 영향을 줄 수 있는 스크래치(Scratch) 등을 발생시킬 뿐만 아니라, 컨디셔너의 수명도 저하시키게 되므로 이를 방지하기 위한 노력이 매우 중요하다. 본 연구에서는 컨디셔너 표면에 슬러리와 컨디셔너 표면 간에 일어나는 표면부식을 방지하기 위하여 유기박막을 표면에 증착하여 부식을 방지하고자 하였다. 컨디셔너 제작에 사용되는 금속인 니켈과 니켈 합금을 기판으로 하고, 증착된 유기박막으로는 자기조립단분자막(SAM: Self-Assembled Monolayer)과 불화탄소(FC: FluoroCarbon) 박막을 증착하였다. 자기조립단분자막은 2가지 전구체(Perfluoroctyltrichloro silane(FOTS), Dodecanethiol(DT))를 사용하여 기상 자기조립 단분자막 증착(Vapor SAM) 방법으로 증착하였고, 불화탄소막은 10 nm, 50 nm, 100 nm 두께로 PE-CVD(Plasma Enhanced-Chemical Vapor Deposition, SRN-504, Sorona, Korea) 방법으로 증착하여 표면의 부식특성을 평가하였다. 표면 부식 특성은 동전위분극법(Potentiodynamic Polarization)과 전기화학적 임피던스 측정법(Electrochemical Impedance Spectroscopy(EIS)) 등의 전기화학 분석법을 사용하여 평가되었다. 또한 측정된 임피던스 데이터를 전기적 등가회로(Electrical Equivalent Circuit) 모델에 적용하여 부식 방지 효율을 계산하였다. 동전위분극법과 EIS의 결과 분석으로부터 유기박막이 증착된 표면의 부식전류밀도가 감소하고, 임피던스가 증가하는 것을 확인하였다.

• 대한지리학회지
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• 제38권2호
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• pp.312-323
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• 2003

행정부 이전이란 비상카드를 꺼낼 정도로 국토불균형이 심각하다고 보는 참여정부의 인식에는 절대 공감한다. 하지만 수도 이전은 단지 균형개발 이유만으로 추진하기에는 구실이 약하다. 경제 사회적 상황 못지 않게. 아니 훨씬 더 중요하게 국내외 정치상황과 직결된 것이 수도의 입지요 이전이기 때문이다. 1970년대 중반, 3공이 수립했던 '임시' 행정수도안은 안보가 절대 이유였다. 그때 김대중 야당지도자는 휴전선에서 멀리 안전거리를 확보하려함은 군사적 고려일 뿐, 백성들의 호국의지를 더 무게 있게 감안한다면 대치 현장에 바싹 붙여 수도를 유지함이 옳다 했다. 실제로 독립 파키스탄은 수도를 카라치에서 인도와 영토분쟁중인 카슈미르 인근 이슬라마바드로 옮겼다. 이번 행정수도발상에서 핵구름이 짙게 드리워진 급박한 한반도 정세에 대한 고려가 일체 없음은 유감이다. 개인도 건강이 있고 나서야 꿈을 들을 수 있듯이. 나라 또한 안보가 확실해야만 비로소 국토균형개발도 추진할 수 있다. 현대도시이론에 따르면 국가운명은 대도시가 변수라 했다. 방위가 소홀한 수도는 나라를 결딴내는 인질이 될 염려가 있다는 말이다. 이 말대로 북한이 아직 버리지 않은 무력 적화통일전략의 주 공격대상은 단연 서울이다. 때문에 우리 국체를 지키자면 서울을 북한의 인질이 되는 상황을 막는 방패로 삼아야 마땅하다. 주한미군 주력이 서울 북방에 자리잡은 것도 대한민국 안보를 위해서는 서울 사수가 절대적이란 판단에 근거한다. 그 사이. 입장은 다를지언정 같은 민족이 두 국가로 나눠져 있음이 '비정상'임을 남북한이 다함께 인정한다. 예측 불가사항인 통일은 뜻밖에 빠를 수도 있다는 말이다. 통일의 그 날이 수도이전의 적기일 것이다. 제대로 만들자면 최소한 20년은 걸릴 일인데 졸속으로 수도를 이곳저곳으로 끌고 다닐 수 없지 않은가. 자유민주가 확보되는 통일의 그 날이면 브라질이나 호주처럼 새 국운의 장소 상징을 만들자는 국민적 합의는 자연스럽게 생겨날 것이다. 안보가 문제될 게 없다해도 정부발상은 국토균형발전에 별로 기여할 것 같지 않다. 새 입지로 점찍은 충청권은 수도권 인접효과를 가장 많이 누려온 선택된 곳이지 격차해소 대상인 푸대접 또는 무대접 지역이 아니다. 이 시점에서 안보와 균형개발을 동시에 지향하면서 멀리 통일이후도 고려한 후보지를 굳이 찾는다면 한반도의 중심성도 있는 휴전선 근접 철원 일대가 그럴싸하다. 남북대치의 현 상황을 깊이 유념한 끝에 통일의 그 날까지 천도를 미룬다해도 균형발전 실현의 지름길은 분명 있다. 그건 중앙부처의 지리적 분산이 아니라 중앙권력의 지방분권이다. 아니할 말로 수도란 상징 장소를 새로 만들 여유 돈이 있다면, 이를테면 그냥 마시기를 기피하는 전국 수돗물 수질을 높이고. 적자에 허덕인 끝에 대형 참사도 낳았던 지방 대도시 지하철을 돕는 것이 옳다. 그리고 천도는 통일의 천기(天機)에 맞추는 것이 옳다.