• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.51-51
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• 2010

Residual Gas Analyzer(RGA)는 진공공정에서 전구체를 측정하고 분석하는 기기로써 다양한 방법으로 반도체나 디스플레이 소자제조를 위한 진공공정에 많이 사용되고 있다. 특히, 최근의 반도체 공정은 고집적화와 design의 나노 사이즈화로 인해, 안정적인 MOCVD 공정의 진행에 있어서 중요한 Factor중에 전구체의 안정적인 공급에서 어려움이 있다. 공정에 투입된 전구체의 질적, 양적인 실시간 모니터링이 불가능한 상태로 공정이 진행되어 원활한 박막의 생산에 큰 어려움을 격고 있다. 또한, 전구체의 정상상태를 확인 할 수 없음으로 인한 질적인 저하 등을 그 예로 들수 있겠다. 기존 양산 후 남은 전구체를 외관상의 변색, 점도 변화를 통해서 변질을 확인하고 전구체를 교체함으로써, 엄청난 경제적 손실을 가져왔다. 본 연구에서는 reference 전구체와 공정에서 사용된 전구체를 이용하여 Vapor Pressure측정과, FT-IR 측정, RGA분석을 통하여 전구체의 사용 전, 후를 비교 분석하고자 한다.

• Journal of Navigation and Port Research
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• v.44 no.4
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• pp.275-282
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• 2020

Recently, the occurrence of a ship capsizing was analyzed as the main cause of the lack of stability or loss because of the improper management of the center of gravity, the movement of cargo or heavy weight when excessive steering occurs or when navigating during bad weather. Thus, to prevent a ship from capsizing, it is necessary to secure stability to enable the ship's return to its upright position, even if a dangerous heel occurs. The GM is a crucial evaluation factor regarding stability, which the navigation officer uses to preserve stability. In this study, based on the stability data collected from the operating of ships for five years, The GM by ship's type according to the operating status was analyzed specifically such as a ship's length, breadth, and gross tonnage. The feature of the GM distribution according to a ship's length was confirmed, and after performing the correlation analysis between the breadth and the GM, the ratio of the GM to breadth was calculated, and the result was compared with the previous ratio. Additionally, a simple approximation formula and minimum GM for the estimation of the GM by ship type were proposed by the regression analysis of the GM using the gross tonnage (GT)/breadth (B) to reflect the trend of larger ships being built. The results of this study are expected to be used as data for the review of securing a stable GM on ships.

• Economic and Environmental Geology
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• v.35 no.4
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• pp.355-368
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• 2002

The multi-storied Daewonsa stone pagoda (Treasure No. 1112) in the Sancheong, Korea was studied on the basis of deterioration and geological safety diagnosis. The stone pagoda is composed mainly of granitic gneiss, partly fine-grained granitic gneiss, leucocratic gneiss, biotite granite and ceramics. Each rock of the pagoda is highly exfoliated and fractured along the edges. Some fractures in the main body and roof stones are treated by cement mortar. This pagoda is strongly covered with yellowish to reddish brown tarnish due to the amorphous precipitates of iron hydroxides. Dark grey crust by manganese hydroxides occur Partly, and some Part coated with white grey gypsum and calcite aggregates from the reaction of cement mortar and rain. As the main body, roof and upper part of the pagoda, the rocks are developed into the radial and linear cracks. Surface of this pagoda shows partly yellowish brown, blue and green patchs because of contamination by algae, lichen, moss and bracken. Besides, wall-rocks of the Daewonsa temple and rock aggregates in the Daewonsa valley are changed reddish brown color with the same as those of the pagoda color. It suggests that the rocks around the Daewonsa temple are highly in iron and manganese concentrations compared with the normal granitic gneiss which color change is natural phenomena owing to the oxidation reaction by rain or surface water with rocks. Therefore, for the attenuation of secondary contamination, whitening and reddishness, the possible conservation treatments are needed. Consisting rocks of the pagoda would be epoxy to reinforce the fracture systems for the structural stability on the basements.

• Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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• 2008.05a
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• pp.82-85
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• 2008

When a projectile travels at high speed underwater, supercavitating flowarises, in which a huge cavity is generated behind the projectile so that only the nose, i.e., the cavitator, of the projectile is wetted, while the rest of it should be surrounded by the cavity. In that case, the projectile can achieve very high speed due to the reduced drag. Furthermore if the nose of the body is shaped properly, the attendant pressure drag can be maintained at a very low value, so that the overall drag is also reduced dramatically. In this study, shape optimization technique is employed to determine the optimum cavitator shape for minimum drag, given certain operating conditions. Simultaneous optimization technique is proposed for efficient cavitator shape optimization, in which the cavity and cavitator shape are determined in a single optimization routine.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SC
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• v.44 no.5
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• pp.1-10
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• 2007

In this paper, we proposed development of improved model reduction and design of common controller using reduction model. The Algorithm of improved model reduction considered the transient response and the steady-state response in response curve. The generalized controller is designed not only to ensure specified phase margin and iso-damping property also optimized smith-predictor controller about real model using reduction model. Simulation examples are given to show the better performance of the proposed method than convention methods.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2000.02a
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• pp.121-121
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• 2000

반도체 산업의 발달에 따라 소자의 보다 빠른 동작 속도와 큰 집적도를 갖은 ULSI 구조를 얻기 위해, 새로운 금속배선 재료가 요구되고 있다. 기존의 금속 배선인 Al 및 Al 합금은 비교적 낮은 비저항과 박막형성의 용이함으로 인하여 현재까지 금속배선 재료로 사용되고 있으나, 고집적화에 따라 RC Time Delay와 Electromigration의 문제점을 들어내었다. 이러한 문제를 해결할 새로운 배선 재료로 Al보다 낮은 비저항을 가지며, electromigration 저항성을 갖는 Cu 금속배선 재료가 활발히 연구되고 있다. 본 실험에서는 (100) Si 웨이퍼를 기판으로 사용하였으며, 각층은 SiO2/Si3N4/EP Cu/Seed Cu/ TaN/SiO2/Si wafer 상태로 증착하였다. 확산방지막으로 TaN을 사용하였고, seed Cu는 sputtering 으로 증착하였으며, seed Cu 만으로 된 박막과 seed Cu + electro plating Cu로 구성된 박막을 제작하였다. 제작 완료된 박막은 N2 분위기에서 20$0^{\circ}C$ 120 min, 45$0^{\circ}C$ 60min 동안 열처리하여 Cu 박막의 조직 변화를 TEM 및 여러 분석방법을 이용하여 분석하였다. Plan-view TEM결과, 45$0^{\circ}C$, 60min 열처리함에 따라 결정립 성장이 일어난 것을 확인 할 수 있었다. 그러나, 성장후에도 twin boundary, stacking fault, dislocation, small defect 등은 여전히 남아 있음이 관찰된다. 그림 1(a)는 as-deposit 상태이며, 그림 1(b)는 45$0^{\circ}C$, 60min 열처리한 plan-view TEM 사진이다.

• Journal of the Korean Society of Marine Environment & Safety
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• v.4 no.2
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• pp.43-52
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• 1998

Generally, the navigational safety of a ship under various loading conditions is evaluated by a loading manual. However, the loading manual handles only statical factors such as weight and buoyancy of ship without including any wave conditions. Practically ship's safety is much concerned with the occurrences on the rough sea as propeller racing, rolling, deck wetness, vertical acceleration, lateral acceleration, slamming and so on. The purpose of this paper is to present a synthetic and practical evaluation method of navigational safety using the integrated seakeeping performance index(ISPI) under loading conditions of ship in seaways. The method is calculated by means of the ISPI by measuring only vertical acceleration. Judgement of dangerousness is carried out for four lading conditions : homogeneous full loaded, half loaded, heavy ballast loaded, and normal ballast loaded conditions. In developing the practical evaluation system of navigational safety, it is useful to solve the difficulties in measuring factors by sensors. And by applying the evaluation diagrames, navigators are able to avoid dangerousness by keeping away of the danger encountering angle of wave direction which the diagram shows.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.02a
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• pp.607-607
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• 2013

차세대 비휘발성 메모리 소자로서 각광받고 있는 저항 변화 메모리(resistive switching random access memory; ReRAM) 소자는 속도가 빠르고, 에너지 소모가 적으며, 고집적화를 이루기 용이하다는 강점을 보유하고 있다. 지금까지 저항변화 물질의 최적화를 위해 매우 다양한 물질들이 연구되고 있으며, 그 물질에 따라 스위칭 메커니즘 및 동작 방법이 다르게 보고되어 왔다. 하지만 저항변화 메모리의 스위칭 거동은 전형적인 전기적 제어 조건으로부터 구현되었기 때문에 한정된 소자 특성을 나타낼 수밖에 없었다. 본 연구에서는 새로운 메모리 제어 조건으로 빛을 이용함으로써 한정된 소자 특성으로부터 벗어나고자 하였다. 저항 변화 물질로 잘 알려진 ZnO를 표면적이 넓은 형태로 합성하기 위하여 hydrothermal 방법으로 FTO 기판 위에 수직하게 배열된 ZnO 나노와이어를 형성하고 그 위에 Au 상부 전극을 형성하여 금속-절연체-금속 소자 구조를 제작하였다. 본 연구에서는 전형적인 전기적 제어 조건에 더불어 빛의 입사 유무 조건을 바꿔가면서 Au/ZnO 나노와이어/FTO 소자의 저항 변화 특성을 평가 하였을 뿐만 아니라 전기적 인가 없이 오직 빛만으로 두 가지 안정한 저항 상태를 반복적으로 전환하는 특성을 유도하였다. 본 결과를 바탕으로 필라멘트 이론에 기초한 저항 변화 메커니즘을 설명하는 모델이 제시되었다.

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2014.02a
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• pp.347.1-347.1
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• 2014

최근, 박막 트랜지스터는 빠른 동작 속도, 낮은 공정비용 그리고 저온공정 등의 특성을 필요로 하고 있다. 그 중 indium-zinc oxide (InZnO)는 높은 전기적 특성, 높은 광 투과도 그리고 우수한 안정성 때문에 기존의 반도체를 대체할 수 있을 것으로 기대된다. InZnO의 경우 indium과 zinc의 조성비에 따라 특성 변화의 차이가 크기 때문에 다양한 조성비에 대한 연구가 보고되고 있는데, 기존의 InZnO 박막을 증착하는 방법의 경우에 조성비의 변화 과정에 많은 공정상의 어려움이 있다. 이 같은 문제점 때문에 조성비의 변화를 용이하게 할 수 있는 용액공정을 이용한 연구가 진행되고 있다. 또한 용액공정은 높은 균일성, 공정 시간 및 비용 감소 그리고 대면적화가 가능한 장점을 가지고 있다. 한편, 용액공정을 기반으로 한 InZnO의 경우에 용액 상태에서 고체 상태의 순수한 금속 산화물 상태로 바꾸기 위해 post-treatment 가 필요하다. 일반적으로 furnace 열처리 방법을 사용하는데, 이 경우 낮은 열효율 및 고비용 등의 문제점을 가지고 있다. 특히 glass 또는 flexible 기판의 경우 열처리 온도에 대한 제약이 있다. 이러한 문제를 해결하기 위한 방법으로 최근에 microwave irradiation를 이용한 저온 post-treatment 방법이 보고되고 있다. Microwave irradiation는 짧은 공정시간 및 열 균일성 등의 장점이 있다. 따라서 본 연구에서는 다양한 indium과 zinc의 조성비를 갖는 용액을 제작한 후 spin coating을 이용하여 증착한 InZnO 기반의 박막 트랜지스터를 제작하였다. Furnace와 microwave 방식으로 post-treatment 하여 비교 평가한 결과 microwave irradiation 한 경우 furnace 열처리 한 경우 보다 더 안정된 동작 전압을 가지는 것으로 나타났다. 따라서 저온공정이 가능한 microwave irradiation 방법으로 post-treatment 한다면 차세대 산화물 반도체로서의 적용이 가능할 것으로 기대된다.

• The Journal of the Korean dental association
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• v.8 no.3
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• pp.279-282
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• 1970

구강점막상피는 여러 가지의 외적 자극을 받게 되는데,특히 치과보철용재료인 금속,인공수지 등으로 조제된 총의치,국부의치를 사용하는 사람들의 구강상피의 변화를 탈락세포의 각화상태를 관찰함으로서, 국소적인,기계적화학적인 자극이 점막상피에 어떤 영향을 미치며, 그것이 병적 진행 여부를 추구하였다. 이과 같이, 끼웠다 뺏다 하는 의치가 구강상피조직에 미치는 영향에 대해서는 많은 학자들이 연구해 왔다. 그리고 그들 대부분의 학자들이 비고정의치의 기능적인 작용이 악골에도 크게 자극하지만,그 보다도 점막상피에 더 많은 영향을 미치게 한다고 했다. 본인은 이러한 것을 Pap.씨법에 의하여 구강탈락세포를 관찰함으로서, 의치에 의하여 구강점막상피가 정상적인 각화과정에 장해를 받고 있는 것을 인정하게 했다. 즉 의치에 의하여 피복되어 있는 상피(접착점막)에는 정상적인 각화현상을 볼 수 없고,다만 parakeratose 로 이행되는 것을 관찰하게 되었다. 이러한 상피의parakeratose 현상은 의치에 의한 물리적인 작용(교합압)도 그 이유의 하나이겠지만,의치를 조제하는 재료,즉 금속인공수지의 화학적인 자극에 의히여 상피각화과정에 장해를 주어,의치사용자의 구강상피가 parakeratose 과정을 취하는 것을 알게 하였다. 이러한 것은 또한 의치의 교합압을 가장 많이 받는 경구개와 하악치조돌기점막상피의 각화도가 타부위에 비하여 심한 것으로 보아서도 증명된다.