• Title/Summary/Keyword: 적외선 온도센서

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Reliability Evaluation System of Hot Plate for PR Baking (Hot Plate 신뢰성 시험.평가장비 개발)

  • 송준엽;송창규;노승국;박화영
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 2001.04a
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    • pp.566-569
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    • 2001
  • Hot Plate is the major unit that it used to remove damp of wafer surface, to strength adhesion of photoresist(PR) and to bake coated PR in FAB process of semiconductor. It is necessary to guarantee the performance of Hot Plate(HP). Therefore, in this study designed and developed the reliability system of HP to measure and estimated thermal uniformity and flatness in temperature setting amplitude $0~250^{\circ}C$. We developed the techniques that measures and analyzes thermal uniformity using infrared thermal vision, and compensates measuring error of flatness using laser displacement sensor. For measuring flatness, we specially makes the measurement stage of 3 axes which adopts the precision encoder. The allowable error of measuring technique is less than thermal uniformity, $\pm 0.1^{\circ}C$ and flatness, $\pm 1mm$. It is expected that the developed system can measure from $\Phi$210(wafer 8") to $\Phi$356(wafer 12") and also can be used in performance test of the Cool Plate and industrial heater, etc.

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Performance Evaluation of Image Saturation of Thermal Imaging Camera for the Fire Service (화재용 열화상 카메라의 영상포화특성 평가)

  • Kim, Sung-Chan
    • Fire Science and Engineering
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    • v.26 no.2
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    • pp.69-74
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    • 2012
  • Thermal imaging technology based on IR sensor with high transmittance through the fire smoke is considered as one of the advanced technology for the fire service. The present study has been performed to investigate the image saturation characteristics with thermal condition of target and background and evaluate the performance of image quality based on the contrast transfer function (CTF). For the present testing conditions, TIC using BST sensor did not show the image saturation and the image quality based on the CTF was proportional to the temperature difference between target and background. This study can be utilized as preliminary study to improve reliability and technical development of TIC.

마이크로볼로미터를 위한 VOx-ZnO 다층 박막의 XRD 특성 연구

  • Mun, Su-Bin;Han, Seok-Man;Kim, Dae-Hyeon;Kim, Hyo-Jin;Sin, Jae-Cheol;Jang, Won-Geun;Han, Myeong-Su
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2013.08a
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    • pp.234-234
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    • 2013
  • VOx 박막은 마이크로볼로미터 적외선 센서의 감지재료로 주로 사용된다. 일반적으로 VOx 박막은 RF sputtering 방법으로 증착이 되며, 이 때 저항 값은 수 kohm~수 Mohm, TCR 값은 -1.5~-2.0%/K까지 다양하게 변화되어 나타난다. 이는 산소의 phase가 여러가지로 변화되기 때문에 재현성이 떨어지는 단점이 있으며, 결정성있는 박막을 증착하기 어려운 문제들이 있다. 본 연구에서는 VOx 박막의 재현성 및 재료의 안정성을 위해 ZnO 물질을 첨가하여 sandwich 구조의 나노박막을 증착하여 산소 열처리를 통해 산소의 phase가 어떻게 변화되는가를 XRD 측정을 통해 조사하였다. ZnO 나노박막을 첨가함으로써 갓 증착되었을 때의 XRD는 V2O5 주된 상을 이루고 있었으며, 산소열처리에 의해 VO2상이 나타남을 알 수 있었다. 또한 V2O5 phase가 표면쪽의 얇은 층에서 주로 나타나고, 중간층은 V2O5와 VO2 phase 가 혼합된 형태로 존재함을 X-ray diffraction 분석을 통해 알 수 있었다. 또한 GIXRD 측정을 통해 깊이에 따른 혼합 phase가 주로 VO2에 의해 형성된 것임을 확인할 수 있었다. 또한 산소열처리의 온도 및 시간에 따라 XRD 특성을 조사하였으며, 최적의 열처리 조건을 XRD 피크를 통해 찾고자 하였다.

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Efficient Multi-spot Monitoring System Using PTZ Camera and Wireless Sensor Network (PTZ 카메라와 무선 센서 네트워크를 이용한 효율적인 다중 지역 절전형 모니터링 시스템)

  • Seo, Dong-kyu;Son, Cheol-su;Yang, Su-yeong;Cho, Byung-lok;Kim, Won-jung
    • Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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    • 2009.10a
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    • pp.581-584
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    • 2009
  • Recently, the cameras which used for observation are installed in children protection area and local crime prevention area in order to protect life and property and by its work being recognized and are installed more. Normal cameras have cost problem to observe multiple area and detail, because they can observe only one place. PTZ camera can observe multiple area by moving focus by schedule or remote control, but it can't automatically move the focus of it to the place where event occurred, because it can't recognize the place. In this study, we can monitor multiple area effectively, by installing a wireless sensor node equipped with temperature, lighting, gas and human detection sensor to each area, to monitor many place low-price and actively and to move the focus of PTZ camera to preset position, and send recorded video to the user, when the various sensor data received from wireless sensors in observation area are to be determined abnormal by analyzing. In addition, at night we can record a scene using infrared, but to reduce power consumption of lighting system which are installed to improve resolution, it supplies power to the lighting system when event occurred. So we were able to implement low power green monitoring system.

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Measurements of temperature distribution using an infrared optical fiber during radiofrequency ablation (적외선 투과 광섬유를 이용한 고주파 열치료 과정에서의 온도분포 측정)

  • Yoo, Wook-Jae;Seo, Jeong-Ki;Cho, Dong-Hyun;Jang, Kyoung-Won;Shin, Sang-Hun;Lee, Bong-Soo;Tack, Gye-Rae;Park, Byung-Gi;Moon, Joo-Hyun
    • Journal of Sensor Science and Technology
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    • v.17 no.6
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    • pp.397-405
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    • 2008
  • In this study, we have measured temperature distribution using infrared optical fibers during radiofrequency ablation (RFA). Infrared radiations generated from the water around inserted electrode are transferred by silver halide optical fibers and are measured by a thermopile sensor. Also, the output voltages of a thermopile sensor are compared with those of the thermocouple recorder. It is expected that a noncontact temperature sensor using an infrared optical fiber can be developed for the temperature monitoring during RFA treatments based on the results of this study.

A Study of a Heat Flux Mapping Procedure to Overcome the Limitation of Heat Flux Gauges in Fire Tests (화재실험시 열유속 센서 사용의 단점을 보완한 Heat Flux Mapping Procedure에 관한 연구)

  • Choi, Keum-Ran
    • Journal of the Korean Society of Safety
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    • v.20 no.4 s.72
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    • pp.171-179
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    • 2005
  • It is essential to understand the role of wall lining materials when they are exposed to a fire from an ignition source. Full-scale test methods permit an assessment of the performance of a wall lining material. Fire growth models have been developed due to the costly expense associated with full-scale testing. The models require heat flux maps from the ignition burner flame as input data. Work to date was impeded by a lack of detailed spatial characterization of the heat flux maps due to the use of limited instrumentation. To increase the power of fire modeling, accurate and detailed heat flux maps from the ignition burner are essential. High level spatial resolution for surface temperature can be provided from an infrared camera. The objective of this study was to develop a heat flux mapping procedure for a room test burner flame to a wall configuration with surface temperature information taken from an infrared camera. A prototype experiment was performed using the ISO 9705 test burner to demonstrate the developed heat flux mapping procedure. The results of the experiment allow the heat flux and spatial resolutions of the method to be determined and compared to the methods currently available.

Study on On-Sight Image-Based Simulation Method for Predicting and Analyzing Flight Test Results of a Missile (유도무기의 비행시험 결과 예측 및 분석을 위한 현장 영상 기반 시뮬레이션 기법 연구)

  • Jeong, Dong-Gil;Park, Jin-Seo;Lee, Jong-Hee;Son, Sung-Han
    • Journal of the Korea Society for Simulation
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    • v.28 no.3
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    • pp.41-48
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    • 2019
  • In modern-war campaign, precision-guided missiles are dominantly used to minimize the collateral damage. Imaging infrared seekers are widely applied for the precise guidance. Due to the high cost of the infrared detector, the cost for the one-shot weapon's test is a burden for the development. To reduce the test cost, a simulation method including imagery tracking is required, which is so-called integrated-flight simulation(IFS). The synthetic image generation(SIG)-based simulation method is typically used, which however cannot represent various environmental and target conditions. In this paper, a new IFS method is proposed using on-sight measured image to overcome the limitations of the SIG-based IFS(SIIFS). The target image acquired at the launching sight has been used only for checking the performance criteria of the image tracker and has not been tried for IFS since it has low resolution and little information. The study described in this paper, however, shows that the on-sight image-based IFS can predict the pre- and mid-course flight performance quite similarly and is very useful for the flight test analysis.

질소를 함유한 양친매성 그래핀 양자점 합성

  • O, Ye-Rin;Mun, Byeong-Jun;Sin, Dong-Heon;Kim, Sang-Jin;Lee, Sang-Hyeon;Kim, Tae-Uk;Park, Min;Bae, Su-Gang
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2016.02a
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    • pp.352.1-352.1
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    • 2016
  • 양자점은 나노미터 크기의 반도체 결정으로 밴드갭에 따라 광학적, 전기적 성질이 달라지는 독특한 성질을 가지는 형광물질으로 활발히 연구되고 있다. 중금속을 기반으로 한 양자점은 높은 발광효율과 광안전성을 가지며, 가시광선 영역에서 빛을 내는 특징을 가지고 있다. 그러나 중금속을 사용하기 때문에 독성이 있어 인체나 환경에 유해하여 응용 연구에 제한적이다. 반면에, 탄소 기반의 양자점은 중금속 기반의 양자점과 비슷한 성질을 가질 뿐만 아니라, 높은 용해도와 낮은 독성으로 인해 생체적합성이 높다는 장점이 있다. 이를 이용하여 발광다이오드(LEDs), 태양전지, 광촉매 뿐만 아니라 바이오이미징, 바이오센서 등 생물학분야에도 응용 될 수 있다. 본 연구에서는 Bottom-up 합성 방법으로 유기전구체를 이용하여 질소를 함유하고 있는 양친매성 탄소 양자점(N-GQDs)을 합성하였다. 합성에 사용한 유기전구체는 기존에 보고된 유기전구체와 다르게 반응 진행 중에도 pH 측정 결과 중성을 나타내며, 반응 온도($225^{\circ}C$)와 유사한 온도에서도 pH 값은 여전히 6.0 이상의 값을 나타냈다. 중성을 띄는 특징으로 인해 추가적인 산제거 과정이나 표면안정화 과정이 필요 없다는 장점을 가지고 있다. 합성된 N-GQDs는 높은 결정성의 원형구조를 가지며, 원자힘현미경(AFM) 분석을 통해 높이가 ~ 1.5 nm 미만으로 3층 이하의 두께로 형성되었음을 확인하였다. 또한, 적외선 분광법(FT-IR) 분석을 통해 O-H기, 방향족 고리의 C = C (또는 C = N)기 및 C-N기가 각각 ~3250, ~1670과 ~1140 cm-1에서 확인할 수 있다. 합성된 양자점을 유기태양전지의 active layer에 소량(2 wt%) 첨가하여 양자점의 광학적, 전기적 성질을 확인하였다. 비교군 유기태양전지보다 N-GQDs가 첨가된 유기태양전지의 외부양자효율(PCE)이 7.3%에서 8.4%로 약 20%가 증가하는 것을 보였다. 이는 양자점이 상대적으로 흡수가 약한 단파장 영역의 빛을 흡수하고 PL을 내어 active layer로 에너지 트랜스퍼 현상이 일어나 전자전달을 원활하게 해 주기 때문이다. 앞으로 본 연구의 가능성과 추가적인 연구를 통해 더 많은 분야에 응용되기를 기대한다.

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Dielectric characteristics of the transducer materials due to irradiation of photon beam (광자선 조사에 따른 변환기재료의 유전특성)

  • Ko, K.Y.;Kim, T.Y.;Back, G.M.;Cho, K.S.;Lee, C.H.;Lee, S.W.;Hong, J.W.
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2003.10a
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    • pp.316-318
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    • 2003
  • 본 연구에서는 전기적 특성, 기계적 특성, 내수성 및 내유성이 우수한 고분자 화합물로 산업용, 콘덴서절연재료용, 의료센서용 등 각종 절연재료 및 유전재료로 활용되어 지고 있는 변환기용 PET박막에 광자선을 10[Gy] 15[MeV], 30[Gy] 15[MeV], 50[Gy] 15[MeV]를 조사하여 물성분석 및 전기적 특성중 유전정접 특성에 관하여 검토하였다. 물성분석으로 X-선 회절(XRD) 분석 결과 조사량에 따라 피크의 크기가 커지므로 결정성이 더욱 좁아짐을 알수 있었으며 적외선 분광(FTIR) 측정결과로 파수 1752[$cm^{-1}$]에서는 C=O기의 신축운동 기여로 피크가 나타나며 파수 1266[$cm^{-1}$]에서 =C-O기의 신축운동기여와 그리고 1019[$cm^{-1}$]에서는 벤젠환의 진동기여로 흡수 피크가 나타남을 알 수 있었고, 전자현미경을 이용하여 800배로 확대한 시료의 파단면을 조사한 결과 결정질과 비정질 영역이 혼재하고 있는 것을 확인하였다. 유전정접 특성으로는 측정온도범위 상온에서 130[$^{\circ}C$]와 인가전압 범위 1[V]에서 20[V]를 변화시켜 각각의 조사량에 대한 PET 박막의 유전특성의 온도의존성 및 주파수 의존성에 대하여 실험한 결과 변환기 재료의 가능성을 조사하였다.

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Remote monitoring system of a vinyl house by web and Labview (Labview와 웹을 활용한 비닐하우스 원격감시 시스템)

  • Park, Sang-gug
    • Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference
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    • 2009.05a
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    • pp.725-728
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    • 2009
  • This paper describes remote monitoring system for the various environments of a vinyl house, which was located in rural or outer of urban by use internet web connection system in a long distance office. We have constructed remote monitoring system by use a simple experimental model for the monitoring of various factors which need to operate common vinyl house. The experimental model includes temperature, humidity, smoke and infrared sensors for the measuring and AC 220V light bulb for the controlling in the USN system. Also, we have developed monitoring software by use NI Labview and communicate between PC and sensors through the DAQ-board, USN control board. We use CCD camera and grab board for the real time remote monitoring of wanted image in the house area. The computer server for remote connection is constructed in the local PC with Apache web server, PHP and MySQL ODBC. We construct internet communication system for the monitoring remotely the local environments of a vinyl house system.

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