• Title/Summary/Keyword: 저온 챔버

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표면 분석법을 이용한 플라즈마에서의 보론박막 두께 측정

  • Yu, Gyeong;Bang, Jin-Yeong;Kim, Hyeon-Jun;Hong, Seok-Ho;Jeong, Jin-Uk
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.269-269
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    • 2011
  • 핵융합로에서 챔버 벽면의 보호와 입자 문제를 해결하기 위해 최근 챔버 벽면의 보론 박막 코팅에 대한 연구가 활발히 연구 중이다. 핵융합로 운전 시 챔버 벽면 부근의 플라즈마는 저온 플라즈마와 상태가 비슷해 저온 플라즈마에서의 표면분석 기술을 적용할 수 있다. 이를 이용해 보론이 증착된 벽면의 상태를 실시간으로 관찰할 수 있다. 본 연구에서는 이에 앞서 저온 플라즈마에서 보론이 증착된 시편을 가지고 두께를 측정해 보았다. 증착 시편의 훼손된 부분은 보정법을 이용하여 보정하였다. 측정 결과 보정 전에는 시편마다 많은 차이를 보였지만 보정 후에는 거의 일정한 결과를 얻었으며 광학적 방법에 의해 측정한 두께와도 비슷한 결과를 얻었다. 저온 플라즈마 실험 결과 보론 박막 측정에 대한 신뢰성을 확인하였으며 이를 바탕으로 KSTAR의 벽면 진단에 적용함으로써 핵융합 플라즈마의 불안정성을 간접적으로 측정할 수 있는 가능성을 확인하였다.

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Simulation of a Electron Beam-produced Plasma (전자빔에 의해 생성된 플라즈마에 관한 시뮬레이션 연구)

  • Bae, Hyo-Won;Shim, Seung-Bo;Hwang, Seok-Won;Song, In-Cheol;Lee, Hae June;Lee, Ho-Jun;Park, Chung-Hoo
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2009.07a
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    • pp.1431_1432
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    • 2009
  • 본 연구에서는 전자빔에 의해 생성되는 저온 플라즈마의 특성을 시뮬레이션을 통해 알아보았다. 전자빔 소스에서 전자를 생성하여 가속 전압을 인가하여 챔버로 보내고, 챔버 속의 Argon 중성 기체와 전자가 충돌하여 2차 방전을 일으킴으로써 저온 플라즈마가 생성된다. 이 때 중성기체의 압력과 가속전압의 변화에 따라서 플라즈마 밀도와 온도가 변하는데, 어떠한 특성을 가지는지 알아보기 위해 Particle-In-Cell(PIC) 시뮬레이션을 이용하였다. 챔버 내부에서 전자빔과 중성기체에 의한 변화를 관측했고, 이 때 전자빔 소스에서 Negative Acceleration Voltage는 10V~40V, 챔버 내부의 Argon 중성 기체의 압력은 1mTorr~20mTorr 조건하에서 시뮬레이션을 수행하였다. Electron Energy Distribution function (EEDF)을 관찰한 결과, 가속전압이 높을수록 낮은 에너지를 가지는 전자의 수가 증가하여 전자 밀도는 증가하며, 가스 압력이 높을수록 EEDF의 기울기가 커지면서 전자온도는 감소함을 알 수 있었다.

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Implementation of Composited Fuel Heater and Test Chamber for Diesel Cars (디젤 차량용 통합 연료히터와 시험챔버 구현)

  • Yoon, Dal-Hwan
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.14 no.5
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    • pp.2375-2380
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    • 2013
  • In this paper, we have implemented the unified fuel heater and performance evaluation system for diesel cars. In order to strengthen an engine starting of diesel car, we need to assembly the fuel filter and heater. Especially, this assembly fuel heater is very important in winter, it is necessary for heating to operate the diesel engine. The heater for unifying the sensor and heater body can advance the performance of car and reduce the production cost. Finally, the performance test chamber is needed to evaluate the performance of heater.

저온 플라즈마 반응기에서의 수정충돌주파수를 이용한 실리콘 나노 입자 형성 모델링

  • Kim, Yeong-Seok;Kim, Dong-Bin;Kim, Hyeong-U;Kim, Tae-Seong
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.217.1-217.1
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    • 2014
  • 반도체 및 디스플레이 산업은 많은 공정들에서 저온 플라즈마 반응을 이용한다. 특히 소자 제작을 위한 실리콘 박막의 증착은 저온 플라즈마 공정의 주요 공정이다. 하지만 실리콘 박막을 합성하는데 있어서 저온 플라즈마에서 형성되는 실리콘 나노 입자는, 오염입자로써 박막의 특성을 악화시켜 소자생산 수율을 악화시키는 주요 원인이 되고 있다. 따라서 플라즈마에서 입자 형성의 원인이 되는 화학반응 및 입자들의 성장 매커니즘에 대한 연구는, 1980년대 플라즈마 공정에서 입자 합성이 보고된 이래 공정의 최적화를 위해 꾸준히 연구되어왔다. 이러한 매커니즘의 연구들은, 플라즈마 화학반응에 의해 실리콘 입자 핵을 만들어 내는 과정과 입자들이 충돌에 의해 성장해가는 과정으로 나눠진다. 플라즈마 화학 반응 과정은 아레니우스 방정식에 의해 정의된 반응계수를 이용하여 플라즈마 내 전자와 이온, 중성 화학종들이 전자 온도와 전자 밀도, 챔버 온도 등에 의해 결정되는 현상을 모사한다. 또한 이 과정에서 실리콘을 포함하는 화학종들의 반응에 의해 핵이 생성 되가는 양상을 모사한다. 생성된 핵은 충돌에 의해 입자가 성장해 가는 과정의 가장 작은 입자로써 이용된다. 입자들이 성장해가는 과정은 입자들이 서로 충돌하면서 다양한 입경의 입자로 분화되어가는 현상을 모사한다. 이 과정에 의해 다양한 입경분포로 분화된 입자들은 플라즈마 내 전자에 의해 하전되며, 이러한 하전 양상은 입경에 따라 다른 분포를 보인다. 본 연구에서는 입자의 하전 분포를 고려하여, 입자들의 성장의 주요 원인인 입자간의 충돌을 대표하는 충돌주파수를 수정하는 방식을 채택하여 보다 정밀한 입자 성장 양상을 모델링하였다. Inductively coupled plasma (ICP) 타입의 저온 플라즈마 반응기에서 합성된 입자들을 Particle Beam Mass Spectrometer (PBMS)와 Scanning Electron Microscope (SEM)를 이용하여 입경분포를 측정한 데이터와 모델링에 의해 계산된 결과를 비교하여 본 모델의 유효성을 검증하였다. 검증을 위해 100~300 mtorr의 챔버 압력 조건과 100~350 W의 입력 전력 조건들을 달리하며 측정한 결과와 계산한 데이터를 조건별로 비교하였다.

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Study on Low Temperature Environmental Characteristics of Sandwich Core Made with 3D Printer (3D 프린터로 제작한 샌드위치 코어의 저온 환경 특성 연구)

  • Ahn, Ju-Hun;Choi, Ju-Hwan;Hong, Seung-Lae;Lee, Chang-Yull
    • Journal of Aerospace System Engineering
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    • v.13 no.4
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    • pp.18-25
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    • 2019
  • Studies on the fabrication of UAV by using 3D printer have been actively carried out. However, research on structural load characteristics in low temperature environment is insufficient. In this study, a composite sandwich structure with ordinary orbs structure was proposed, and the load characteristics for temperature condition changes were analyzed. The ordinary orbs and honeycomb structures were fabricated by using a FDM type 3D printer. The bending load test was carried out at room temperature and low temperature condition. The low temperature condition was classified into four cases. Bending load tests were performed in a low temperature chamber to maintain the required temperature conditions. As a result of the test, it was confirmed that the proposed ordinary orbs structure had better load characteristics at low temperatures than the existing honeycomb structure.

Fabrication of Full-Scale Combustion Chamber of Liquid Rocket Engine for Ground Hot Firing Tests (실물형 고압 연소기의 연소시험 검증용 제작)

  • Kim Jonggyu;Seo Seonghyeon;Kim Seunghan;Han Yeoungmin;Ryu Chulsung;Seol Wooseok
    • Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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    • v.y2005m4
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    • pp.305-308
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    • 2005
  • This paper presents a fabrication of a full-stale combustion chamber of a liquid rocket engine for a ground hot firing test. Engine drawings for manufacturing were prepared after conceptual and detail designs. The combustor is composed of a head and a chamber. SUS316L is used for materials of the head because of the good quality in low temperature. Inner materials of the ablative cooling chamber is silica/phenolic and outer case materials is the SUS316L. Materials of the regenerative cooling chamber are C18200 and SUS316L. After lathe, general milling and MCT machinings, components were finished by electrolytic polishing. A brazing method was applied for bonding the injectors and the injector plate, the regenerative cooling chamber because of structure configurations.

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Low Temperature Structural Tests of a Composite Wing with Room Temperature-Curing Adhesive Bond (상온접합 본딩이 있는 복합재 날개의 저온 구조시험)

  • Ha, Jae Seok;Park, Chan Yik;Lee, Kee Bhum
    • Journal of the Korean Society for Aeronautical & Space Sciences
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    • v.43 no.10
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    • pp.928-935
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    • 2015
  • This paper presents low temperature structural tests of a UAV wing which has room temperature-curing adhesive bond. The wing structure is made of carbon fiber reinforced composites, and the skins are bonded to the inner structures (such as ribs and spars) using room temperature-curing adhesive bond. Also, to verify damage tolerance design of the wing structure, barely visible impact damages are intentionally created in the critical areas. The attachment fittings of the wing are fixed in a specially designed chamber which can simulate the low temperature environments of the operating altitudes. The test load is applied by hydraulic actuators which are placed outside the chamber. The structural tests consist of strain survey tests and a durability test for 1-life fatigue load spectrum. During the tests, strains of major parts are measured by strain gauges and FBG sensors. The change of the initial impact damages is also monitored using piezoelectric sensors. The 1-life damage tolerance of the composite structure is verified by the structural tests under the simulated environments.

Low Temperature Plastic Hardening Constitutive Equation for Steels of Polar Class Vessels (빙해선박 강재의 저온 소성경화 구성방정식)

  • Min, Dug-Ki;Heo, Young-Mi;Cho, Sang-Rai
    • Journal of the Society of Naval Architects of Korea
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    • v.49 no.3
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    • pp.227-231
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    • 2012
  • In this study, a plastic hardening constitutive equation for steels of polar class vessels at low temperature is proposed. The equation was derived using the experimental data obtained from tensile tests at room and low temperatures. Tensile tests at low temperature are both costly and time consuming because an expensive cold chamber is necessary and it takes too much time to cool down a specimen to set temperature. Using the proposed plastic hardening constitutive equation the plastic hardening characteristics of steels for polar class vessels at low temperature can be easily predicted from the tensile test results at room temperature.

입구 압력에 따른 열진공 시험용 베이스플레이트의 열유동 특성에 관한 수치해석적 연구

  • Go, Tae-Sik;Seo, Hui-Jun;Jo, Hyeok-Jin;Park, Seong-Uk;Im, Seong-Jin;Mun, Gwi-Won
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.140.2-140.2
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    • 2014
  • 인공위성은 우주공간의 고진공 상태와 태양 복사열에 의한 고온 및 극저온이 반복되는 가혹한 환경으로 인해 주요 부품의 기능장애가 초래되므로 발사전 지상에서 열진공 시험장비를 이용한 열진공시험을 수행한다. 위성체의 열진공 시험에 사용되는 열교환기인 베이스플레이트(Baseplate)는 우주 열환경을 모사하기 위하여 직접 방열판 표면에 고온 및 저온의 유체를 공급하여 시험 요구에 따른 필요한 열을 공급하게 된다. 일반적으로 우수한 성능의 위성체 부품의 검증을 위해서 지상의 열환경 시험은 접촉식 히터 및 열교환기를 사용하게 되는데, 이때 적절한 히터 및 블로워 파워를 선정하고 챔버 슈라우드와 열교환에 있어 간섭이 없도록 장비를 운용해야 한다. 본 연구에서는 상용프로그램을 이용하여 열진공 시험용 베이스플레이트에 대하여 전산해석을 수행하였으며, 이를 통해 베이스플레이트 내의 작동 유체의 입구 압력에 의한 열진공 시험용 열교환기의 성능 특성을 관찰하였다.

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Automated Measruement of Peroxyacetyl Nitrates(PANs) by Using Capillary GC System with Luminol (Luminol-Capillary GC System을 이용한 광주 지역의 PANs농도 측정)

  • 한경만;이재훈
    • Proceedings of the Korea Air Pollution Research Association Conference
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    • 2003.11a
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    • pp.173-174
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    • 2003
  • PAN은 1950년 중반 스모그 챔버연구원에서 'Compound X'라고 규정된 광화학 2차 오염물질로 강한 햇빛, NMHCs과 NOx의 존재하에서 이들 반응에 의해 형성된 물질이다 (Stephen, 1969) PAN은 눈을 자극하고, 식물에 대해 독성을 나타내며, 변이성과 발암을 유발할 가능성도 가지고 있다. 또한 PAN은 열적으로 불안정하여 상온에서 쉽게 NO2와 Peroxyaceyl radical로 분해 되며, 저온에서는 안정되게 존재하여 특히 상층 대류권을 통한NO2의 장거리 수송과 NO2의 reservoir역할을 한다. (중략)

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