• Title/Summary/Keyword: 저압 측정

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Crystallization properties of amorphous silicon thin films by electron beam exposing method for solar cell applications (태양전지 응용을 위한 E-beam 조사법에 의한 비정질 실리콘 결정화 특성연구)

  • Jeong, Chaehwan;Ryu, Sang;Kim, Changheon;Lee, Jong-Ho;Kim, Ho-Sung
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 2010.06a
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    • pp.80-80
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    • 2010
  • 유리기판위에 큰 결정입자를 갖는 실리콘 (폴리 실리콘) 박막을 제조하는 것은 가격저가화 및 대면적화 측면 같은 산업화의 높은 잠재성을 가지고 있기 때문에 그동안 많은 관심을 가지고 연구되어 오고 있다. 다양한 방법을 이용하여 다결정 실리콘 박막을 만들기 위해 노력해 오고 있으며, 태양전지에 응용하기 위하여 연속적이면서 10um이상의 큰 입자를 갖는 다결정 실리콘 씨앗층이 필요하며, 고속증착을 위해서는 (100)의 결정성장방향 등 다양한 조건이 제시될 수 있다. 다결정 실리콘 흡수층의 품질은 고품질의 다결정 실리콘 씨앗층에서 얻어질 수 있다. 이러한 다결정 실리콘의 에피막 성장을 위해서는 유리기판의 연화점이 저압 화학기상증착법 및 아크 플라즈마 등과 같은 고온기반의 공정 적용의 어려움이 있기 때문에 제약 사항으로 항상 문제가 제기되고 있다. 이러한 관점에서 볼때 유리기판위에 에피막을 성장시키는 방법으로 많지 않은 방법들이 사용될 수 있는데 전자 공명 화학기상증착법(ECR-CVD), 이온빔 증착법(IBAD), 레이저 결정화법(LC) 및 펄스 자석 스퍼터링법 등이 에피 실리콘 성장을 위해 제안되는 대표적인 방법으로 볼 수 있다. 이중에서 효율적인 관점에서 볼때 IBAD는 산업화측면에서 좀더 많은 이점을 가지고 있으나, 박막을 형성하는 과정에서 큰 에너지 및 이온크기의 빔 사이즈 등으로 인한 표면으로의 damages가 일어날 수 있어 쉽지 않는 방법이 될 수 있다. 여기에서는 이러한 damage를 획기적으로 줄이면서 저온에서 결정화 시킬 수 있는 cold annealing법을 소개하고자 한다. 이온빔에 비해서 전자빔의 에너지와 크기는 그리드 형태의 렌즈를 통해 전체면적에 조사하는 것을 쉽게 제어할 수 있으며 이러한 전자빔의 생성은 금속 필라멘트의 열전자가 아닌 Ar플라즈마에서 전자의 분리를 통해 발생된다. 유리기판위에 다결정 실리콘 씨앗층을 제조하기 위하여 전자빔을 조사하는 방법과 Al을 이용한 씨앗층 제조법이 비교되어 공정 수행이 이루어진다. 우선, 전자빔 조사를 위해 DC 및 RF 스퍼터링법을 이용하여 ${\sim}10^{20}cm^{-3}$이상의 농도를 갖는 $p^+^+$ 비정질 실리콘 박막을 제조한다. Al의 증착은 DC 스퍼터링법을 이용하여 제조하고 그 두께는 실리콘 박막의 두께와 동일한 조건(350nm)으로 제조한다. 제조된 샘플은 E-beam gun이 달린 챔버로 이동하여 1.4keV의 세기를 가지고 각각 10, 20, 50, 100초를 조사한 후 단면의 이미지를 SEM으로, 결정화 정도를 Raman으로, 결정화 방향 등에 대한 조사를 XRD로 분석 측정한다. 그리고 Hall effect를 통해 전자빔의 조사 전후의 캐리어 농도, 이동도 및 비저항 등에 대한 조사가 이루어진다. 동시에 Al을 촉매로 한 layer교환에 대하여 마찬가지로 분석을 통하여 최종적으로 비교분석이 이루어 진다. 전자빔을 조사한 샘플에 대하여 빠른 시간 및 캐리어농도 제어 등의 우수성이 보이며, 특히 ~98%이상의 결정화율을 보일 것으로 예상된다.

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Biomechanical Evaluation of Trekking Shoes using 3D Bootie Method as Mimics Barefoot Form (맨발 구조를 모사한 3D Bootie 공법을 적용시킨 트레킹화의 생체역학적 특성 평가)

  • Yoo, Chan-Il;Jeon, Keun-Hwan;Won, Yonggwan;Kim, Jung-Ja
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.16 no.7
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    • pp.4689-4696
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    • 2015
  • The purpose of this study was to evaluate biomechanical characteristics of trekking shoes using 3D Bootie method as mimics barefoot form of F Co. that provides the best comfort and plantar pressure dispersion. The control group is normal trekking shoes of M Co. and K Co.. 13 healthy males measured the foot pressure, EMG and GRF. Collected data was analyzed using One-way ANOVA in order to investigate the effects of each trekking shoes. The results are as follows: Trekking shoe of F Co. was significantly wider in contact area than others at MF and significantly lower in maximum force, peak pressure than others at RF. In the case of muscle activity, acted in the same way as the effect of barefoot walking. In the case of GRF, effectively absorbed the impact force, so it is possible to efficient walking. As a result of the analysis, trekking shoe using of 3D Bootie method of F Co. can be efficient walking by reducing the load of foot during walking.

Cable Fault Detection Improvement of STDR Using Reference Signal Elimination (인가신호 제거를 이용한 STDR의 케이블 고장 검출 성능 향상)

  • Jeon, Jeong-Chay;Kim, Taek-Hee
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.17 no.3
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    • pp.450-456
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    • 2016
  • STDR (sequence time domain reflectometry) to detect a cable fault using a pseudo noise sequence as a reference signal, and time correlation analysis between the reference signal and reflection signal is robust to noisy environments and can detect intermittent faults including open faults and short circuits. On the other hand, if the distance of the fault location is far away or the fault type is a soft fault, attenuation of the reflected signal becomes larger; hence the correlation coefficient in the STDR becomes smaller, which makes fault detection difficult and the measurement error larger. In addition, automation of the fault location by detection of phase and peak value becomes difficult. Therefore, to improve the cable fault detection of a conventional STDR, this paper proposes the algorithm in that the peak value of the correlation coefficient of the reference signal is detected, and a peak value of the correlation coefficient of the reflected signal is then detected after removing the reference signal. The performance of the proposed method was validated experimentally in low-voltage power cables. The performance evaluation showed that the proposed method can identify whether a fault occurred more accurately and can track the fault locations better than conventional STDR despite the signal attenuation. In addition, there was no error of an automatic fault type and its location by the detection of the phase and peak value through the elimination of the reference signal and normalization of the correlation coefficient.

Effect of Pretreatment Process on Hybrid Membrane Filtration Performance (원수의 물리.화학적 특성에 따른 막 분리 공정의 전처리 공정 적용성 평가)

  • Jung, Chul-Woo;Son, Hee-Jong;Bae, Sang-Dae
    • Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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    • v.28 no.6
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    • pp.613-619
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    • 2006
  • The objectives of this research are to evaluate the effect of membrane materials, particulate matter and membrane pore size on permeate flux. It was shown that the removal efficiency of high MW organic matter more than 10 kDa was lower than that of low MW organic matter for $MIEX^{(R)}$ process. For the change of permeate flux by the pretreatment process, $MIEX^{(R)}+UF$ process showed high removal efficiency of organic matter as compared with coagulation+UF processes, but high reduction rate of permeate flux was presented through the reduction of removal efficiency of high MW organic matter. The pretreatment of the raw water significantly reduced the fouling of the hydrophilic membrane, but did not decrease the flux reduction of the hydrophobic membrane. Flux decline on MF process increased due to the pore clogging, while the permeate flux decline of UF process decreased due to the formation of cake layer. It was shown that particle matter was not effect on MIEX+membrane process. But, for coagulation+membrane process, particle matter was important factor on permeate flux.

Fabrication and analysis of $1.3\mum$ spot-size-converter integrated laser diodes (광모드변환기가 집적된 $1.3\mum$ SC-FP-LD 제작 및 특성 해석)

  • 심종인
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.11 no.4
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    • pp.271-278
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    • 2000
  • We have fabricated and analyzed the lasing characteristics of 1.3$\mu\textrm{m}$ Spot-Size-Converter (SSC) integrated Fabry-Perot (FP) laser diodes, which are very promising light sources for optical subscriber networks. SSC-LDs has been developed by BIB (buttjoint-built-in) coupling and selective MOVPE growth. High-performances were achieved such as the slope efficiency from the SSC facet of 0.23-0.32 mW/mA, the full-width at the half maximum of the far-field pattern (FFP) of 9.5$^{\circ}$~12.3$^{\circ}$, the alignment tolerances of $\pm$2.3$\mu\textrm{m}$ and $\pm$2.5$\mu\textrm{m}$ within the extra-coupling loss of 1 dB for the vertical and parallel directions, respectively. These experimental results were compared to theoretical ones in order to clarify the operational problems and give a good design direction of the fabricated SSC-LDs. It was revealed that an asymmetric output power from the facets, an irrelevancy of FFP and the waveguide structure around SSC facet region, and a poor temperature characteristics were originated from the scattering in the BIB and SSC sections and SHB effect in the active section for the first time.t time.

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Analysis of Filtration Characteristics of Submerged Microfiltration Membranes for Rainwater Filtration (빗물여과를 위한 침지식 정밀여과막의 여과특성 해석)

  • Cho, Hyeongrak;Jung, Jungwoo;Sohn, Jinsik;Lee, Sangho;Chae, Soo Kwon
    • Membrane Journal
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    • v.24 no.1
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    • pp.31-38
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    • 2014
  • Rainwater harvesting is a process by which rainwater collected from rooftop or other catchment is purified so that the water can be directly or indirectly used by human beings for beneficial uses. As rainwater is increasingly considered for high quality purposes, membranes have gained an important place in rainwater treatment. It has advantages such as the production of high quality water, small footprint, and affordable energy consumption. Nevertheless, membrane fouling is regarded as a serious problem similar to the cases of water treatment and wastewater reclamation. In this study, we applied microfiltration (MF) membranes for rainwater treatment. In addition, a low pressure ultraviolet (UV) process was also use as a pretreatment to control notonly. To quantify the effect of UV on organic matters, both total organic carbon (TOC) and UV absorbance (UVA) were measured. Moreover, the effect of UV pretreatment on membrane fouling was investigated. Experimental results indicated that the pretreatment of membranes using LPUV was effective to control fouling of MF membranes only when the rainwater was contaminated by algae. This was attributed the reduction and modification of organics after UV treatments. It is likely that the UV/MF process is a promising option for water treatment in decentralized water treatment such as micro water grid systems.

Electrical Characteristics of PECVD $Ta_2O_5$ Dielectic Thin Films on HSG and Rugged Polysilicon Electrodes (입체표면 폴리실리콘 전극에서 PECVD $Ta_2O_5$ 유전박막의 전기적 특성)

  • Cho, Yong-Beom;Lee, Kyung-Woo;Chun, Hui-Gon;Cho, Tong-Yul;Kim, Sun-Oo;Kim, Hyeong-Joon;Koo, Kyung-Wan;Kim, Dong-Won
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.2 no.2
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    • pp.246-254
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    • 1993
  • In order to increase the capacitance of storage electrode in the DRAM capacitor, two approaches were performed. First, hemispherical and rugged poly silicon films were made by LPCVD to increase the effective surface area of storage electrode. The even surface morphology of conventional poly silicon electrode was changed into the uneven surface of hemispherical of rugged poly silicon films. Second, PECVD $Ta_2O_5$ dielectric films were deposited and thermally treated to study the dielectrical characteristics of $Ta_2O_5$ film on each electrode. MIS capacitors with $Ta_2O_5$ films were electrically characterized by I-V, C-V and TDDB measurements. As a result, the capacitance of the electrode with uneven surface were increased by a factor of 1.2~1.5 and leakage current was increased compared with those of even surface. TDDB result indicates that the electrode with uneven surface has dielectrically more degraded than that of even surface. These results can be helpful as a basic research to develop new generation DRAM capacitors with $Ta_2O_5$ films.

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A Comparative Analysis on Changes of Foot Pressure by Shoe Heel Height during Walking (하이힐 굽 높이에 따른 보행 시 족저압 변화 비교 분석)

  • Park, Jong-Jin
    • Korean Journal of Applied Biomechanics
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    • v.19 no.4
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    • pp.771-778
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    • 2009
  • We aimed to determine the effect of heel height on foot pressure by comparing and analyzing data on foot pressure in shoes with different heel heights. Qn the basis of a previous study, we selected 3cm and 7cm as the shoe heel heights preferred by female college students. We divided 10 female students into forefoot and hindfoot to measure vertical force, maximum pressure, and average pressure. The average pressure on the forefoot was higher and that on the hindfoot was lower in the case of 7cm high-heeled shoes. The maximum pressure on the forefoot was significantly higher in the case of the 7cm heel height (p<.05). The vertical force, maximum pressure, and average pressure on the hindfoot were also significantly higher in the case of the 7cm heel height (p<.05). The results showed that wearing 7cm high-heeled shoes exerted greater maximum pressure on the forefoot and greater vertical force, maximum pressure, and average pressure on the Hndfoot. This leads to increase in confining pressure caused by high pressure distribution over the forefoot and increase in the pressure on the hindfoot, which may cause deformation of toes and heel pain over a long period. Therefore, female college students who wish to wear high heels are recommended to wear 3cm high-heeled shoes rather than 7cm high-heeled shoes.

Fabrication and loss measurement of $P_2O_5-SiO_2$ optical waveguides on Si (Si을 기판으로한 $P_2O_5-SiO_2$ 광도파로의 제작 및 손실측정)

  • 이형종;임기건;정창섭;정환재;김진승
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.3 no.4
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    • pp.258-265
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    • 1992
  • A low loss optical waveguide of $P_{2}O_{5}-SiO_{2}$on Si substrate is produced by using the chemical vapour deposition method of $SiO_2$ thin films used in Si technology. Propagation loss of the waveguide layer was 1.65 dB/cm as produced and reduced down to 0.1 dB/cm after heat treatment at $1100^{\circ}C$. By using laser lithography and reactive ion etching method $P_{2}O_{5}-SiO_{2}$ waveguide was produced and subsequently annealed at $1100^{\circ}C$.As a result of this annealing the shape of the waveguide core was changed from rectangular to semi-circular form, and the propagation loss was reduced as down to 0.03 dB/cm at 0.6328$\mu$m and 0.04dB/cm at 1.53$\mu$m. We think that the mechanism of the reduction in propagation loss during the heat treatment is the following: 1) The hydrogen bonding in waveguide layer, which causes absorption loss, is dissociated and diffused out. 2) The roughness of the interface and the micro-structure of the waveguide layer is removed. 3) The irregularities in the cross-sectional shape of the waveguide which was induced during the lithographic process were disappeared by flowing of the waveguide core.

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The Grounding Method Application of Power Plant Simulator (발전소 시뮬레이션시스템 접지방식 연구를 위한 타시스템 접지방식 분석)

  • 오영일
    • Proceedings of the Korea Society for Simulation Conference
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    • 1999.10a
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    • pp.70-74
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    • 1999
  • 발전소 시뮬레이션 시스템 기술은 종합적인 지식을 바탕으로 자료수집 및 분석, 소프트웨어 개발 환경, 수학적 모델, 전산기 구성, 각종 계기류 설계 및 구매 장착 등의 노하우를 알아야만 제작할 수 있는 종합적인 기술이다. 또 지시기반의 기술이며 부가가치가 높은 기술이기 때문에 선진 각국에서는 계측제어 시스템의 기술개발 및 시장 확대를 위하여 힘을 쓰는 동시에 타국으로의 기술정보 유출을 경계하는데 신경을 곤두세우고 있다. 현재 복잡화되어 가고 있는 산업 사회의 전력 수요에 대한 대폭적인 증가 추세에 따라 발전소에서는 보다 효율적이며 합리적이고 경제적인 전력 공급을 위해서 전력 생산에 대한 신뢰성 향상 및 안정성 확보는 물론, 효율성 높은 운전이 절실히 요구되고 있다. 한편, 국내의 시뮬레이션 시스템 분야 기술은 아직도 완벽한 수준에는 미치지 못하며, 이 분야의 기술력 확보 및 신기술 개발은 향후 미래의 모든 시스템산업의 성쇄를 판가름하는 아주 중요한 척도가 될 것이다. 이 중에서 접지 분야는 고전압 혼촉에 의한 저압측 선로의 전압상승 방지, 모선(Bus)이나 전력 기기의 절연보호 및 회로전압의 안정등으로 시스템 성능을 한층 증가 시켜줄 뿐아니라 기기의 오동작이나 낙뇌등으로 인명피해 발생을 없애주는 아주 중요한 분야임에도 불구하고 이 분야의 국내 관련법규등이 미비한 사항이다. 그래서 발전소 분산제어 시스템분야의 장기간 신뢰성 및 안정성을 가지고 있고, 국내에서 많이 사용하는 미국 Bailey의 infi-90 및 독일 ABB의 Procontrol-P를 비교 분석하여 발전소 시뮬레이션 시스템의 접지에 응용 하고져 한다.상호 발생기를 이용한 다양한 시스템 검증 및 분석에 이용할 수 있을 것이다. 본 논문은 가상호 발생기의 구조와 최대 용량 시험 방법을 소개하고, 더 나아가 호 Traffic에 대한 최대 용량 시험뿐 아니라 QoS를 향상시키기 위한 교환 시스템의 제반 성능 시험 및 분석에 이를 이용하기 위해 개선이 필요함을 서술하고자 한다.textrm{m}$~3.4$\mu\textrm{m}$ 범위에서의 투과 및 흡수 스펙트럼을 측정하였다. 결정 성장 결과 B3+, Er3+, Cr3+ 이온은 Ti4+ 이온과 이온의 크기 차이가 심하여 결정의 정상적인 성장을 방해하는 물성을 나타냈고, V5+, Cr3+ 이온은 흑색의 결정, Fe3+ 이온은 적갈색의 결정으로 성장되었다. Al3+, Zr4+, Al3+의 순서로 투과도가 높아지는 것이 관찰되었다. 불순이온의 농도에 따른 영향으로서 Al3+ 이온의 경우 주입농도가 높아질수록 low angle boundary와 oxygen deficiency가 감소하였고, 투과율은 조금 감소하거나 큰 차이가 없는 것으로 나타났다. 반면에 Cr3+ 이온을 주입한 경우 0.003 atomic%에서 최적의 물성을 보였으며, 주입농도가 높아질수록 결정성장이 어려워지고 광의 투과도가 급격히 저하되었다.은 1.3을 나타내었다.로 보인다.하면 수평축과 수직축의 분산 장벽의 비에 따라 cluster의 두께비가 달라지는 성장을 볼 수 있었고, 한 축 방향으로의 팔 넓이는 fcc(100) 표면의 경우 동일한 Ed+Ep값에 대응하는 팔 넓이와 거의 동일한 결과가 나타나는 것을 볼 수 있다. 따라서 이러한 비대칭적인

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