Nano-mechanical Properties of Nanocrystal of HfO2 Thin Films for Various Oxygen Gas Flows and Annealing Temperatures (RF Sputtering의 증착 조건에 따른 HfO2 박막의 Nanocrystal에 의한 Nano-Mechanics 특성 연구)
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- Journal of the Korean Vacuum Society
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- v.21 no.5
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- pp.273-278
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- 2012