• Title/Summary/Keyword: 장비 제어

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A study of improving impedance matching characteristic for process equipment of using RF plasma (RF 플라즈마를 사용하는 공정장비의 임피던스 정합특성 개선에 관한 연구)

  • Sul Yong-Tai;Park Suug-Jin;Lee Eui-Yong
    • Proceedings of the KAIS Fall Conference
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    • 2004.06a
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    • pp.221-223
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    • 2004
  • 본 논문에서는 RF 플라즈마를 사용하는 공정장비의 임피던스 정합 특성 개선을 위해 RF Match 제어단의 제어 알고리즘과 하드웨어의 디지털화 방안에 대한 연구를 수행하였다. 개발된 제어단은 최적의 동작성능을 위하여 멀티 프리셋, 이득제어 기능 등 부가기능을 갖도록 설계/제작하였고, 또한 LCD 모듈의 설치를 통하여 RF Match의 실시간 상태 파악이 가능하도록 하였다. 개발된 제어단에 대한 실험결과로부터 RF 전력의 over/under shoot, 플라즈마 플리커 등의 현상이 제거되었고, 정합시간이 크게 단축되었음을 알 수 있었다.

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Plasma Processing Supervision Using CUSUM Control Chart (CUSUM 제어차트를 이용한 플라즈마 공정감시)

  • Kim, Woo-Suk;Kim, Byung-Whan
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2007.11a
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    • pp.460-461
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    • 2007
  • 본 연구에서는 반도체 플라즈마 장비 감시를 위한 CUSUM 제어 차트 설계기법에 관해 연구하였다. CUSUM 제어차트에 관여하는 설계변수의 다양한 조합에 대하여 플라즈마 장비의 감시 성능을 평가하였다. 평가를 위해 RF 정합망 감시시스템을 이용하여 플라즈마 임피던스 정합에 관여하는 정합변수에 대한 실시간 데이터를 수집하였으며, 여기에는 임피던스와 상위치에 대한 전기적 정보, 그리고 반사전력에 대한 정보가 포함된다. 평가결과, 설계변수의 조합에 대하여 감시 성능이 크게 달랐지만, 각 센서 정보의 감시 성능을 증진시키는 설계변수의 조합이 있었음을 확인하였으며, 이는 각 종 다양한 센서정보별 CUSUM 제어 차트의 설계가 필요함을 의미한다. 연구에서는 Raw 데이터 대비 성능 분석을 위해 CUSUM 제어 차트의 설계변수를 변수인 d와 ${\Theta}$값의 변화를 주어 다수의 (d, ${\Theta}$)의 조합에 따른 감시 성능을 평가하였으며, 평가에 이용된 데이터는 소스전력이 750 W, 압력이 15 mTorr, Ar 유량이 50 seem일 때 수집하였다.

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Implementation Of Wireless Stereoscopic Image Player Use A RF Method (RF방식의 무선 입체 영상 재생 장치 구현)

  • Jung, Jae-Sung;Kim, Kyong-Won;Choi, Chul-Ho;Choi, Myung-Ryul
    • Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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    • 2004.05a
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    • pp.711-714
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    • 2004
  • 본 논문에서는 RF방식을 이용하여 제어 신호를 무선 LCD 셔터 고글로 전송하는 무선 입체 영상 재생 장치의 원리를 제안하고 설계 및 구현하였다. 본 논문에서 제안한 장치는 기존의 유선 장비에 비해 자유로운 이동성을 보장하고 다수의 사용자가 별도 추가장비 없이 입체 영상을 감상할 수 있다. 본 논문에서는 입체 영상 지각 원리, 입체 영상 재생 모드, 제안한 입체 영상 재생 장치, 무선 LCD 셔터 고글 동작을 논하였다. 마지막으로 PC의 모니터를 통한 시각적 검증으로 제안한 무선 입체 영상 재생 장치의 성능평가를 수행하였다.

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Attitude Control Tests for a High Speed Catamaran in Regular Head Waves (고속 카타마란선의 규칙 정면파중 운항자세 제어 시험)

  • C.G. Kang;S.Y. Hong;S.H. Suh;C.M. Lee;Y.G. Kim;I.Y. Gong
    • Journal of the Society of Naval Architects of Korea
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    • v.33 no.2
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    • pp.36-43
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    • 1996
  • An Attitude Control System for a high speed catamaran with contorl fins in waves is designed and investigated by the experimental methods. An optimal control theory is applied to design the automatic attitude control system of the high speed catamaran for its good seaworthiness. The experimental results performed in KRISO model basin for the displacements and accelerations for the model ship are measured in regular hear waves. Form the epxerimental results the effect of control planes is thought to be incroeasing with speed.

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Train Speed Control in Slope Area Using Infrared System (적외선 시스템을 이용한 경사 지역에서 열차 운행 속도 제어)

  • Sugiana, Ahmad;Sanyoto, Mulyo;Parwito, Parwito;Agrianto, Yanardian;Lee, Key Seo;Choy, Ick
    • The Journal of the Korea institute of electronic communication sciences
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    • v.11 no.6
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    • pp.635-644
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    • 2016
  • Train speed control is a vital part of train protection to build safe movement at an operation track. There is a special condition of track that needs more attention to protect the train, for example in slope area. Moreover, in developing country with vandalism problem, it requires to install minimalized equipment on the trackside. In addition, in tropical country, on tracksides it will be potentially pooling water that influences to the performance of trackside equipment. To address these problems, we propose the train speed control for slope area using infrared system. By installing on the pole configuration, the system offers a less challenging, economically sensible, minimalized installation of equipment on the trackside and reliability for heavy rain environment. This paper concentrates on the controlling train speed and measurement performance evaluation in slope area. The proposed train speed control system can monitor and control the speed in sloping area with maximum 3.6% and controlled speed about 20 km per h.

군사규격에 의한 전자파 간섭 시험

  • 간종만;이응주;이철수;최태인
    • The Proceeding of the Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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    • v.2 no.2
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    • pp.85-90
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    • 1991
  • 군사장비에 대한 EMI문제는 2차 세계대전 이후 전자장비에 대한 의존도가 높아짐에 따라 크게 변화하였다. 2차 세계대전 초기에는 주로 항공기의 엔진점화장치에서 발생되는 3~30MHz 대역의 무선주 파수간섭(RFI)이 통신장비에 문제가 되었으며 간섭현상도 그다지 심각하지 않았다. 그러나 전자공학의 급 속한 발전에 따라 고성능 통신장비 및 레이다가 등장하였으며 각종 전자장비도 고출력화, 고밀도화됨에 따 라 장비자체에서 방사되는 전자파잡음의 세기가 증가하게 되었다. 이에 반해 체계(System)탑재 전자장비 들이 점차 마이크로프로세서화 됨에 따라 제어신호의 수준은 더 낮아져서 전자파간섭에 더욱 취약하게 되 었다. 또한 현대의 전장(Battle Field)은 수많은 전기/전자장비가 동시에 운용됨에 따라 발생되는 전자파로 인해 더욱 복잡한 전자파환경이 형성된다.

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A Study on Vibration Effect of Sensitive Equipment for Aero-acoustics (공조 소음에 기인하는 정밀 장비 진동 영향에 관한 연구)

  • Ryu, Kuk-Hyun;Lee, Hong-Ki;Park, Hae-Dong
    • Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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    • 2005.11a
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    • pp.236-239
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    • 2005
  • 본 연구에서는 정밀 측정/검사장비의 운영상 발생하는 에러의 원인을 규명하기 위함이다. C/R에 사용되어지는 정밀측정/검사장비는 장비 기초에 대하여 진동허용규제치를 장비 제작업체 제공한다. 이에 C/R 구조 및 장비 기초에 대하여 진동원 차단 방안등을 수행하게된다. 이러한 진동허용규제치를 만족시키기 위한 방안을 수행함에도 공조 소음등과 같은 요인에 의한 장비의 운영상 발생하는 진동과 관련된 에러를 규명하고 이를 제어하기 위한 연구를 수행하였다.

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Security of Home Network using Virtual Private Network (가상 사설망을 이용한 홈 네트워크의 보안 설계 및 구현)

  • 김상현;김상욱
    • Proceedings of the Korea Institutes of Information Security and Cryptology Conference
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    • 2002.11a
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    • pp.27-30
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    • 2002
  • 본 논문에서는 이동 단말기를 이용해 외부 네트워크에서 홈 네트워크로 안전하게 접근을 하기 위한 방법을 제시한다. PDA(Personal Digital Assistants)와 같은 이동 단말기가 발달함에 따라 외부 네트워크에서 흠 네트워크에 접속하여 가전 장비들을 제어하는 연구가 매우 중요하다. 그러나 방화벽만으로 홈 네트워크의 장비에 안전하게 접속하여 제어하기에는 많은 문제점을 지니고 있다. 본 논문에서는 외부네트워크에서 흠 네트워크로의 안전한 접근을 위해서 가상 사설망(Virtual Private Network)을 홈 네트워크에 적용하는 방법을 제시한다.

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Design on the Checking System of the Space Launch Vehicle (우주발사첼 검사시스템 설계)

  • Hong, Il-Hee;Kim, Yang-Mo
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2006.10c
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    • pp.410-412
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    • 2006
  • 우주발사체 검사장비는 umbilical 신호를 기준으로 발사체 내부 analog input/output, discrete input/output, 외부 전원 공급 각 제어기의 RS-422 인터페이스 구현 및 제어를 통해 우주 발사체의 기능을 통합 검사하는 것을 주 목적으로 하며 우주 발사체에 탑재되는 전기/전자시스템의 개발시험 이후 시스템 레벨에서의 통합 기능시험을 수행하는 시스템이다. 본 논문에서는 우주발사체에 적용될 검사장비의 설계 및 적용 방안에 대해 기술할 것이다.

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The Control of Instrument's Process based on eXtension Block Markup Language (XBML) (확장 블록 기반의 장비 프로세스 제어 연구)

  • 심민석;유대승;박성규;김종환;이명재
    • Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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    • 2003.10c
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    • pp.709-711
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    • 2003
  • 본 논문은 확장 블록(extension Block) 개념을 사용하여 분산 장비들에 대한 중앙 집중적인 제어 모델을 제시한다. 이런 확장 블록은 OPC와 XML 기술을 사용하여 상위 레벨에서의 추상화를 기법을 사용하여 모델링 함으로써, OPC의 기반 기술인 COM(Common Object Model) 기술과 언어 중립적인 XML 기술이 가지는 이점을 충분히 활용할 수 있는 구조로 디자인 되었다.

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