• Title/Summary/Keyword: 잔류 구조

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$C_2F_6$/$CHF_3$ 반응성이온 건식식각 공정시 실리콘 표면에 생성된 잔류막과 표면구조의 연구

  • Yun, Seon-Jin;Jang, Sang-Hwan;Gwon, O-Jun
    • ETRI Journal
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    • v.11 no.1
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    • pp.89-96
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    • 1989
  • $C_2F_6$/$CHF_6$ 플라즈마를 이용한 실리콘 산화막의 반응성이온 식각공정시 실리콘 표면에 형성되는 고분자 잔류막과 근표면 손상영역을 X-선 광전자분광법(x-ray photoelectron spectroscopy)과 러더포드 후방산란법(Rutherford backscattering)을 이용하여 연구하였다. 표면 잔류막은 CF, $CF_2$, $CF_3$, $C-CF_x$, 그리고 C-C/C-H 등의 결합을 가진 불화탄소 고분자로 구성되어 있으며, 또한 C 1s와 Si 2p X-선 광선자 스펙트럼으로부터 C-Si 결합이 존재함을 확인하였다. 반응성이온 식각을 거친 실리콘 표면 구조의 연구결과, 불소와 탄소로 구성된 고분자막($<20 \AA$)이 극표면에 존재하며, 식각 후 공기중에 노출됨에 따라 고분자 잔류층으로 산소가 통과하여 기판을 산화시킴으로써 실리콘 산화막( $~10\AA$)이 그 아래에 형성되었음을 알았다. 그리고 실리콘산화막 아래에 탄소-산소 결합영역이 관찰되었다. 플라즈마 가스의 조성에서 $CHF_3$의 량이 증가함에 따라 고분자 잔류막의 두께가 증가하였으며, 본 연구의 실험조건에서 2분간 overetching한 시편의 경우에도 실리콘 표면 영역의 손상정도가 매우 적음을 발견하였다.

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Study on Thermal Residual stresses and Transmission Characteristics in Loop Type Frequency Selective Surface Embedded Composite Structures (루프 종류의 FSS가 결합된 복합재료 구조의 잔류응력과 전파 투과 특성)

  • Park, Kyoung-Mi;Hwang, In-Han;Chun, Heoung-Jae;Hong, Ic-Pyo;Park, Yong-Bae;Kim, Yoon-Jae
    • Composites Research
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    • v.26 no.5
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    • pp.279-288
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    • 2013
  • In this paper, the delamination and deformed FSS caused by residual stresses in the Loop type FSS embedded composites and the transmission characteristic changes due to deformation of FSS by residual stresses were studied. FSS may have different electromagnetic characteristics depending on the type of element, design variables, and array. Therefore, design variables of square loop FSS embedded composites structures were determined to obtain the transmission characteristic for X-band (8~12 GHz). Then the design variables of other types of loops (triangular loop and circular loop) were determined based on the dimensions of square loop. Thereafter, the residual stresses and transmission characteristics of FSS embedded composite structures with various single and double loop FSS's, and stacking sequence of composite laminates were compared.

Mechanical Strength and FEM Residual Stress Analysis of Stainless Steel/$Si_{3}M_{4}$ joints (스테인레스 스틸/질화규소 접합체의 기계적 특성 및 유한요소법에의한 잔류응력 해석)

  • Kim, Tae-U;Park, Sang-Hwan
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.5 no.4
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    • pp.468-475
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    • 1995
  • 활성금속 브레이징 방법으로 스테인레스 스틸과 질화규소를 접합하여 기계적 특성 및 유한요소법을 사용하여 접합체에서 발생되는 잔류응력의 크기를 조사하였다. 고강도 접합체를 제조하기 위하여 연성금속인 Cu 및 Cu/Mo 적층체를 중간재로 사용하였으며, 중간재의 두께 및 구조에 따라 접합체에서 발생되는 잔류응력의 크기 및 분포가 접합강도에 미치는 영향에 관하여 조사하였다.중간재인 Cu의 두께가 0.2mm 일대 세라믹스에 발생되는 최대 잔류응력의 크기가 급격히 감소하였으며, 최대 접합강도가 나타났다. Cu/Mo 다층 중간재를 사용한 접합체에서는 Cu/Mo 두께비가 감소할수록 접합강도는 증가되었다. 스테인레스 스틸/질화규소 접합체에서 Cu/Mo 중간재의 사용은 Cu 중간재 사용보다 접합강도를 증가시키는데 효과적이었으며, 최대 접합강도는 450Mpa 정도이었다. Cu/Mo 중간재를 사용한 접합체에서는 Mo에 최대 인장방향의 잔류응력이 발생하여 강도 측정시 Mo의 지배적인 소성변형으로 잔류응력이 감소되어 접합체의 접합강도를 향상시키는 것으로 생각된다.

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A Study on the Residual stress of Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD (RF PECVD로 증착된 다이아몬드상 탄소막의 잔류응력에 관한 연구)

  • Choi, Woon;Nam, Seung-Eui;Kim, Hyoung-June
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.6 no.12
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    • pp.1162-1169
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    • 1996
  • rf 플라즈마 화학증착을 이용하여 증착된 hydrogenated DLC막의 잔류응력 거동에 대해 조사하였다. 합성된 DLC막의 압축 잔류응력은 이온 에너지뿐만 아니라 이온/원자 유입량 비에 의해 영향을 받는 것으로 조사되었다. 잔류응력의 최대치는 이온/원자 유입량비가 증가할수록 낮은 이온 에너지 구간에서 일어나며 그 값은 증가하였다. 이온 에너지에 따른 DLC막의 결합 구조의 변형을 Raman 스펙트럼을 이용하여 분석하였다. DLC막의 잔류응력은 sp3결합의 net working이 최대가 되는 점에서 최대치를 보이며, 이는 sp3 net working에 의한 부피팽창 요인에 기인하는 것으로 생각된다. DLC막 내의 유입되는 수소는 잔류응력의 직접적인 원인으로 작용하지 않는 것으로 분석되었다.

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Quantitative Damage Index of RC Columns with Non-seismic Details (비내진상세를 가지는 철근콘크리트 기둥의 정량적 손상도 평가 기준)

  • Kim, Kyung-Min;Oh, Sang-Hoon;Choi, Kwang-Yong;Lee, Jung-Han;Park, Byung-Cheol
    • Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
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    • v.17 no.6
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    • pp.11-20
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    • 2013
  • In this paper, the quantitative damage index for reinforced concrete (RC) columns with non-seismic details were presented. They are necessary to carry out the postearthquake safety evaluation of RC buildings under 5 stories without seismic details. The static cyclic test of the RC frame sub-assemblage that was an one span and actual-sized was first conducted. The specimen collapsed by the shear failure after flexural yielding of a column, lots of cracks on the surfaces of columns and beam-column joints and the cover concrete splitting at the bottom of columns occurred. The damage levels of these kinds of columns with non-seismic details were classified to five based on the load-displacement relationship by the test result. The residual story drift ratios and crack widths were then adapted as the quantitative index to evaluate the damage limit states because those values were comparatively easy to measure right after earthquakes. The highest one among the residual story drift ratios under the similar maximum story drift ratio decided on the residual story drift ratio of each damage limit state. On the other hand, the lowest and average ones among the respective residual shear and flexural widths under the similar maximum story drift ratio decided on the residual shear and flexural widths of each damage limit state, respectively. These values for each damage limit state resulted in being smaller than those by the international damage evaluation guidelines that are for seismically designed members under the same deformations.

Thermal Residual Stresses in the Frequency Selective Surface Embedded Composite Structures and Design of Frequency Selective Surface (주파수 선택적 투과막이 결합된 복합재료의 잔류응력평가 및 선택적 투과막 설계)

  • Kim, Ka-Yeon;Chun, Heoung-Jae;Kang, Kyung-Tak;Lee, Kyung-Won;Hong, Ic-Pyo;Lee, Myoung-Keon
    • Composites Research
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    • v.24 no.1
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    • pp.37-44
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    • 2011
  • In this paper, Particle Swarm Optimization(PSO) is applied to the design of the Frequency Selective Surface(FSS) and residual stresses of hybrid radome is predicted. An equivalent circuit model with Square Loops arrays was derived and then PSO was applied for acquiring the optimized geometrical parameters with proper resonant frequency. Residual stresses occur in the FSS embedded composite structures after cocuring and have a great influence on the strength of the FSS embedded composite structures. They also effect transmission quality because of delamination. Therefore, the thermal residual stresses of FSS embedded composite structures were analyzed using finite element analysis with considering the effects of FSS pattern, and composite stacking sequence.

도공층의 공극 구조와 인쇄후 잉크의 잔류거동에 관한 연구

  • 김병수;최창활;정성욱
    • Proceedings of the Korea Technical Association of the Pulp and Paper Industry Conference
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    • 2001.04a
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    • pp.76-76
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    • 2001
  • 종이가 가지는 공극 특성은 종이의 광학적 특성에 지대한 영향을 미칠 뿐만 아니라 인쇄용 지로서 사용될 때 잉크의 다공성 기질로서 잉크의 잔류 특성에도 큰 영향을 미친다. 특히 다공성 기지의 표변에 유동성이 뛰어난 물질이 가해 질 때, 이들의 유동 특성은 기질이 지 니고 있는 공극율과 공극의 분포에 따라 큰 차이를 나타내는 것으로 알려져 있다. 이러한 공극성은 백상지의 경우 사용된 펄프의 혼합 비율과 충전제의 사용량 그리고 펄프의 고해 정도에 따라 종이의 공극울이 달라진다. 종이의 공극성이 광학적 특성과 밀접한 연관성을 지니는 것은 종이의 광산란 계수를 결정하기 때문이다. 잘 알려진 바와 같이 종이의 광산란 계수는 빛의 산란과 관계되어 백색도와 백감도에 영향을 미친다. 그러나 도공지가 인쇄 용 지로 사용 될 경우, 도공지 표면에 도피되는 영크층은 도공지가 가지고 있는 구조적 특성을 변화시킬 수 있는 제3의 요인으로 간주 될 수 있다. 결국, 인쇄가 완료된 종이의 경우 원지층, 도공층 그리고 잉크층으로 구성된다. 따라서 다양 한 공극 구조를 가지는 기질위에 잉크가 도피될 경우 기질의 공극 특성에 따라 잉크 조성분 의 침투 거동에도 많은 차이가 있을 것으로 예측된다. 잉크의 구성 요소를 살펴보면 잉크의 색상을 결정하는 안료, 단일의 각 안료 입자를 도포하여 인쇄판으로부터 종이까지 운송시키 는 기능과 인쇄기에서 잉크의 유동성을 유지하고 종이 또는 기타 피인쇄체에 전이된 후에는 건조막을 형성하는 비히클 그리고 각종 기능성 첨가제로 구성되어 있다. 동일한 성분으로 구성된 잉크를 사용하여 각각 공극성이 다른 피인쇄체 위에 인쇄 될 경우 이들 조성분의 이 동과 표면 잔류 특성에 변화가 있을 것으로 생각된다. 즉 공극성이 풍부한 기질에 도피된 잉크는 반대의 경우와 비교하여 보다 많은 조성분이 종이의 공극 속으로 침투하게 될 것이 다. 이 과정에서 특히 미세한 안료 입자의 경우 피인쇄체의 표면 공극을 채우고, 비히클의 경우 미세한 공극속으로 침투되어 경화됨으로써 피인쇄체가 지니고 있는 공극량을 감소시커 게 될 것이다. 그리고 피인쇄체의 각종 형태의 공극으로 침투된 잉크의 양에 반비례적으로 피인쇄체의 표변에 잉크가 잔류하게 될 것이다. 따라서 본 연구에서는 여러가지 안료를 사용하여 각각 다른 공극 특성을 지니는 도공지를 제조한 후 이들이 가지는 공극 특성과 잉크의 잔류 거동에 대해 고찰해 보고자 하였다.

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Time-dependent Deformation Characteristics of Geosynthetic Reinforced Modular Block Walls under Sustained/cyclic Loading (지속하중 및 반복하중 재하시 보강토 옹벽의 잔류변형 특성)

  • Yoo, Chung-Sik;Kim, Young-Hoon;Han, Dae-Hui;Kim, Sun-Bin
    • Journal of the Korean Geotechnical Society
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    • v.23 no.6
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    • pp.5-21
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    • 2007
  • Despite a number of advantages of reinforced earth walls over conventional concrete retaining walls, there exit concerns over long-term residual deformation when they are subjected to repeated and/or cyclic loads, especially when used as part of permanent structures. In view of these concerns, in this paper time-dependant deformation characteristics of geosynthetic reinforced modular block walls under sustained anuor repeated loads were investigated using reduced-scale model tests. The results indicated that a sustained or repeated load can yield appreciable magnitude of residual deformation, and that the residual deformations are influenced not only by the loading characteristics but by the mechanical properties of geogrid. It is also found that the preloading technique can be effectively used in controlling residual deformations of reinforced soils subjected to sustained and/or repeated loads.