• 제목/요약/키워드: 잔류가스

검색결과 296건 처리시간 0.025초

$Cl_{2}/BCl_{3}$/Ar 플라즈마에 의해 식각된 ZnO 박막 표면의 연구 (Study of the Etched ZnO Thin Film Surface in the $BCl_{3}/Ar/Cl_{2}$ Plasma)

  • 우종창;하태경;위재형;주영희;엄두승;김동표;김창일
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국표면공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
    • /
    • pp.264-265
    • /
    • 2009
  • 본 연구에서 유도결합 플라즈마 식각 장치외 $BCl_3/Ar/Cl_2$ 가스 혼합비를 이용하여 ZnO 박막을 식각 하였을 때, 식각 된 ZnO 박막의 표면 반응에 관하여 관찰하였다. ZnO 박막의 식각 실험 조건은 RF 전력 700 W, 직류바이어스 전압 - 150 V, 공정 압력 15 mTorr로 고정하였고, $Cl_2/(Cl_2+BCl_3+Ar)$ 가스 혼합비를 변경하면서 식각 실험을 수행하였다. $Cl_2$ 가스가 3 sccm 일 때, ZnO 박막의 식각속도는 53 nm/min으로 가장 높았으며, 이때 ZnO 박막에 대한 $SiO_2$의 선택비는 0.89 이었다. 식각된 ZnO 박막의 표면은 XRD (X-ray diffraction)와 AFM(atomic force microscopy)를 이용하여 결정상의 변화와 표면의 거칠기를 분석하였다. AFM 분석 결과에서 Ar, $BCl_3$$Cl_2$ 플라즈마를 이용하여 식각된 시료의 표면 거칠기 근 값이 식각전의 시료나 $BCl_3/Ar/Cl_2$ 플라즈마로 식각된 시료보다 큰 것을 확인하였다. 이는 식각된 시료에서의 Zn 양의 감소나 비휘발성 식각 잔류물에 의한 영향으로 판단된다. SIMS(secondary ion mass spectrometery) 분석을 통해 검증 하였다.

  • PDF

울릉분지 천부 퇴적층에서의 가스 생성과 천연가스 하이드레이트 형성 잠재력 (Potential of gas generation and natural gas hydrate formation in the near seafloor sediment of the Ulleung Basin)

  • 류병재;이영주;김지훈;김일수;박명호
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국신재생에너지학회 2006년도 춘계학술대회
    • /
    • pp.419-423
    • /
    • 2006
  • Basic studies on natural gas hydrates in the East Sea were been carried out by the Korea Institute of Geoscience and Mineral Resources (KIGAM) from 2000 to 2004 involving 2D multichannel seismic lines and piston coring. 27 piston cores recovered from the deed-water Ulleung Basin of the East Sea were analyzed in this study. In piston cores cracks generally developed parallel to bedding suggest significant gas content. The core analyses showed high total organic carbon (TOC) content, sedimentation rate and heat flow of sediments. The cores recovered from the southern study area show also high residual hydrocarbon gas concentrations for the formation of natural gas hydrates. This study indicates that there is the potential for the generation of biogenic gas and the formation of natural gas hydrates in the near seafloor sediments of the study area.

  • PDF

완전 밀폐형 PC 구조물의 누설 안전성에 관한 연구 (A Study on the Leak-Proof of Full Containment Type Prestressed Concrete Structure)

  • 김청균;조승현
    • 한국가스학회지
    • /
    • 제5권4호
    • /
    • pp.85-91
    • /
    • 2001
  • 내부탱크의 파손에 따른 외부탱크의 누설 안전성을 검토하기 위해서 PC 구조물의 누설 저지효과에 대해 고찰하고자 한다. 이러한 누설 안전성 해석은 완전 방호식의 PC 구조물로 제작된 외부탱크가 내부탱크로부터 유입된 $-162^{\circ}C$의 초저온 액체에 의해 파손될 것이라는 가정을 하고, BS 7777에서 규정한 잔류압축구간의 개념을 도입하여 누설 안전성을 예측하였다. 계산된 결과에 의하면 PC 구조물로 제작된 외부탱크가 $10\%$ 잔류압축구간이 설치될 경우 $-162^{\circ}C$ 초저온 액체에 의해 누설된 총시간은 215시간(약 9일) 걸리는 것으로 해석되었고, 내부탱크에 설치된 주펌프 3대($330m^3/hr$ 송출용량)를 가동하면 $140,000m^3$ 규모의 LNG를 이웃 저장탱크에 이송하는데는 6일정도 걸리기 때문에 최소한 수치적으로는 안전하다는 결과이다.

  • PDF

향류 흐름 중공사 분리막의 메탄 농축 수치해석 (Simulation on Concentration of CH4 Using Hollow Fiber Membrane Permeator with Countercurrent Flow)

  • 서연희;이승민;박성은;정우진;김정훈;이용택
    • 멤브레인
    • /
    • 제24권3호
    • /
    • pp.223-230
    • /
    • 2014
  • 바이오가스로부터 폴리설폰 분리막을 이용한 메탄 농축 특성을 수치해석 방법으로 분석하였다. 향류 흐름 분리막 공정의 지배 방정식을 유도하고 무차원화 한 후 Compaq Visual Fortran 6.6 소프트웨어을 이용하여 공정모사하였다. 공급 기체의 메탄 몰분율이 0.5인 경우 주어진 전형적 운전조건 상태에서 분리막 길이에 따른 잔류 측의 메탄 몰분율은 시점에서 종점으로 이동하면서 0.5에서 0.8로 증가하였으며 공급유량 대비 잔류유량 비율은 1.0에서 0.57으로 감소하였다. 공급 메탄 몰분율을 0.9로 변화시킨 경우 잔류 측의 최종 메탄 몰분율은 0.93으로, 공급대비 잔류유량은 0.91로 증가하였다. 공급 측 압력이 증가하여 투과 측 압력 대 공급 측 압력 비 값이 0.33에서 0.17로 변경될 경우 단 수율이 0.1과 같이 낮은 영역에서는 잔류 측 메탄 농도 변화가 거의 없는 반면, 단 수율이 0.3과 같이 높은 영역에서는 증가함을 확인할 수 있었다. 분리막 면적이 $1.14m^2$에서 $2.57m^2$로 증가되면 단 수율의 변화에도 불구하고 잔류 측 메탄 농도가 비교적 높게 유지됨을 알 수 있었다.

화강암 잔류 토양의 토양 가스 중 라돈의 장기적 변화 특성 (Long-term Variation of Radon in Granitic Residual Soil at Mt. Guemjeong in Busan, Korea)

  • 문기훈;김진섭;안정근;김현철;이효민
    • 암석학회지
    • /
    • 제18권4호
    • /
    • pp.279-291
    • /
    • 2009
  • 라돈은 원자번호 86의 화학원소로서 무색, 무취, 무미의 천연에서 존재하는 방사성 불활성기체이며 암석 및 토양 내 라듐의 방사능붕괴에 의해 생성되어, 주로 토양의 공극 중 가스 상태로 분포된다. 본 연구에서는 부산시 금정구의 금정산에 분포하는 화강암 잔류 토양에서 라돈 농도의 장기적 변화 특성과 이러한 변화에 영향을 미칠 수 있는 요인들로서 대기 온도, 강수, 토양 온 습도에 대한 영향을 분석하였다. 챔버와 튜브를 토양 내 설치하는 두 종류의 In-situ 모니터링 방식으로 토양 가스 내 라돈 농도를 정기적으로 측정하고, 그 효율성을 검토하였다. 토양 가스 중 라돈의 농도는 여름철에 가장 높게 측정되며, 겨울철에 가장 낮게 측정된다. 토양 내부 온도와 대기 온도의 변화가 이러한 라돈의 장기적 변화에 가장 크게 영향을 미치며, 양의 상관관계를 보인다. 대기 중 온도와 토양 내 온도 차에 의한 대기와 토양 내 공기의 순환이 주된 변화 요인으로 분석되었다. 그러나 다른 요인들(강수, 토양 습도)은 라돈 농도의 장기적 변화에 미치는 영향은 상대적으로 낮게 나타났다.

대용량 미분탄 보일러의 연소특성 및 NO 분포 특성 연구 (Studies on the Combustion Characteristics and NO Distribution in the Pulverized Coal Fired Boiler)

  • 박호영;김영주
    • 대한환경공학회지
    • /
    • 제30권5호
    • /
    • pp.552-559
    • /
    • 2008
  • 접선 연소식 미분탄 보일러의 연소특성 분석을 위한 3차원 전산해석 연구를 수행하였다. 해석 결과의 건전성 검증을 위하여 보일러 출구, 즉 절탄기 후단에서의 가스 온도, O$_2$, NO, CO 농도를 발전소의 실제 측정 결과와 비교하였다. 실제 발전소의 운전조건을 기준으로 보일러내의 가스온도, 속도 분포를 해석하였으며 주요 가스농도인 O$_2$, CO, CO$_2$, NO의 분포와 char 입자 궤적을 구하였다. 본 연구를 통하여 최종과열기 전단에서의 가스 온도가 불균일하게 분포함을 알 수 있었으며, 이는 보일러 상부 연소로에서의 잔류 선회유동의 결과인 것으로 파악되었다. 불균일한 가스온도 분포에 대한 해석결과는 접선연소식 미분탄 보일러에서 자주 발생하는 튜브 파손을 방지하는데 있어 유용한 자료로 활용될 수 있을 것이다.

2차원 가스크로마토그래프를 이용한 해상유출유 감식기법 연구 (Study for Oil Spill Source Identification by Comprehensive Two Dimensional Gas Chromatography)

  • 이완섭;이상진;김차수;오현정;김한규
    • 해양환경안전학회:학술대회논문집
    • /
    • 해양환경안전학회 2006년도 추계학술발표회
    • /
    • pp.169-174
    • /
    • 2006
  • 모든 원유 (crude oil)와 제품유 (petroleum product)는 서로 구별되는 탄화수소특성을 가지고 있다. 원유의 경우 산지별로 고유한 특성을 지니고 있으며, 제품유의 경우 같은 유종이라 할지라도 그 원료가 되는 원유의 특성, 생산공정, 생산시기 등에서 차이점이 발생한다. 즉, 생산시기가 동일하다 할지라도 선박의 연료탱크내에 남아있는 잔류유와의 혼합 동에 의해 구별되는 특징을 가지게 되며 이러한 특성을 이용한 기법을 유지문기법(oil fingerprint method) 이라 한다. 본 연구에서는 최근 새로운 유지문기법으로 활용 가능성이 대두되고 있는 2 차원 가스크로마토그래프 (Comprehensive Two Dimensional Gas Chromatography)를 이용하여 기존의 가스크로마토그래프 (GC)와 가스크로마토그래프 질량분석기 (GC/MS) 와의 분석방법 비교 등을 통해 유지문 분석기법의 실효성에 대해서 논하고자 한다.

  • PDF

액화천연가스 저장용 폐라이트계 Ni 첨가강의 물성 및 개발 동향 (State-of-the-Art of the Ni-bearing Ferritic Steels for LNG Storage Facilities)

  • 한승전;김형식;홍성호;김성준
    • 한국가스학회지
    • /
    • 제2권3호
    • /
    • pp.78-87
    • /
    • 1998
  • 액화천연가스 저장용 소재로 널리 사용되고 있는 Ni 함유 페라이트 강은 $2-3\%,\;5.5\%,\;9\%$ 그리고 $13\%$ Ni 강으로 크게 분류되고 그 중에서도 경제성이 있으며 $-196^{\circ}C$까지의 온도에서 파괴인성과 용접성이 매우 우수한 $9\%$ Ni강이 가장 많이 사용되고 있다. 저온에서의 우수한 파괴인성은 Ni 첨가에 의한 잔류 오스테나이트 및 페라이트의 안정화 그리고 열처리효과에 기인한다. 최근 액화천연가스 저장탱크의 대형화에 따라 보다 두껍고 인성이 큰 소재가 요구되며, 따라서 이에 부응하는 저온용 Ni 함유 페라이트 강의 개발동향을 소개하였다.

  • PDF

워터젯 글라이딩 아크 플라즈마에 의한 사불화탄소 제거에 미치는 운전변수의 영향 (Effects of Operating Parameters on Tetrafluoromethane Destruction by a Waterjet Gliding Arc Plasma)

  • 이채홍;전영남
    • 공업화학
    • /
    • 제22권1호
    • /
    • pp.31-36
    • /
    • 2011
  • 사불화탄소($CF_4$)는 반도체 제조공정에서 플라즈마 에칭과 화학기상증착(CVD)에서 사용되어온 가스이다. $CF_4$는 적외선을 강하게 흡수하고 대기 중 잔류시간이 길어서 지구온난화에 영향을 미치기 때문에 고효율의 분해가 필요하다. 본 연구에서는 플라즈마와 워터젯을 결합하여 방전영역을 증가시키고 다량의 OH 라디칼을 생성시켜 $CF_4$를 고효율로 분해할 수 있는 워터젯 글라이딩 아크 플라즈마 시스템을 개발하였다. 실험 변수로 전극 형태, 전극 각도, 가스 노즐직경, 전극 간격과 전극 길이를 취하였다. 변수실험을 통하여 Arc 형태의 전극에서 전극 각도가 $20^{\circ}$, 가스 노즐 직경이 3 mm, 전극 간격이 3 mm, 전극 길이가 120 mm일 때 $CF_4$ 분해율은 최고 93.4%까지 도달하였다.

외부장비에 의한 손상배관의 손상유형 및 잔류강도 (Damage Type and Remaining Strength of Damaged Pipelines due to the Third Party Interference)

  • 김영표;백종현;김철만;김우식
    • 한국압력기기공학회 논문집
    • /
    • 제5권2호
    • /
    • pp.20-26
    • /
    • 2009
  • The dominant incidents category for onshore and offshore natural gas transmission pipelines in the world is associated with outside forces. Incidents in the outside forces category embrace acts of nature, which typically cause widespread structural damage, as well as act of man, whose effects tend to cause dents and/or gouges localized at point of contact that are referred to as mechanical damage. Therefore, these damage types must be better addressed to avoid unnecessary and costly repairs and the possibility of catastrophic events. First of all, the characterizing features of mechanical damage in gas pipelines were evaluated by using of excavator or boring machine. There is no reliable method for evaluating the safe operating pressure of pipeline affected by mechanical damage. It is especially important to evaluate the remaining strength of damaged pipelines due to outside force. Therefore, the full scale burst tests were conducted to evaluate the remaining strength of pipe with mechanical damage that combines a dent and a gouge. This paper is supposed to provide information that will assist in developing a criterion to assess serviceability in pipelines with mechanical damage.

  • PDF