Tetrafluoromethane($CF_4$) has been used as etching and chamber cleaning gases for semiconductor manufacturing processes. These gases need to be removed efficiently because of their strong absorption of infrared radiation and long atmospheric lifetime which causes the global warming effect. We have developed a waterjet gliding arc plasma system in which plasma is combined with waterjet and investigated optimum operating conditions for efficient $CF_4$ destruction through enlarging discharge region and producing large amount of OH radicals. The operating conditions are waterjet flow rate, initial $CF_4$ concentration, total gas flow rate, specific energy input. Through the parametric studies, the highest $CF_4$ destruction of 97% was achieved at 2.2% $CF_4$, 7.2 kJ/L SEI, 9 L/min total gas flow rate and 25.5 mL/min waterjet flow rate.
This study measured the ignition limits of methane-air, propane-air, ethylene-air, and hydrogen-air mixture gases by discharge spark of D.C. power resistive circuit. The used experimental device is the IEC type spark ignition test apparatus, it consists of explosion chamber and supply -exhaust system of mixture gas. Mixture gases (methane-air, propane-air, ethylene-air, and hydrogen-air) were put into explosion chamber of IEC type spark ignition test apparatus, then it was confirmed whether ignition was made by 3,200 times of discharge spark between tungsten electrode and cadmium electrode. The ignition limits were found by increasing or decreasing the value of current. For the exact experiment, the ignition sensitivity was calibrated before and after the experiment in each condition. The ignition limits were found by changing the value of concentration of each gas-air mixture in D.C. 24 [V] resistive circuit. As the result of experiment, it was found that the minimum ignition limit currents exist at the value of methane-air 8.3 [$Vol\%$], propane-air 5.25[$Vol\%$], ethylene-air 7.8 [$Vol\%$], and hydrogen-air 21[$Vol\%$] mixture gases. For each the minimum ignition concentration of gases, the relationships between voltage and minimum ignition current were found. The results are as follows. - The minimum ignition limits are decreasing in the order of methane, propane, ethylene, and hydrogen. - The value of ignition current is inversely proportional to the value of source voltage. - The minimum ignition limit currents increase sharply at more than 2 [A]. The reason is caused by overheating the electrode.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2000.02a
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pp.193-193
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2000
박막 내의 잔류 응력은 막의 기계적 전기적 물성을 변화시키는 등 박막에 많은 영향을 끼치는 것으로 알려져 있다. 이러한 응력은 박막의 증착 공정중 여러 가지 증착 조건에 의해서 변화하게 되는데, 특히 스퍼터링 시스템의 경우에는 증착 압력과 사용하는 가스, 인가되는 전력 등 기본적인 증착조건들에 상당한 영향을 받는다. 이러한 영향은 금속 박막의 경우 상당히 잘 알려져 있다. 또한 반도체 공정에서 금속화 과정중 금속 전극의 단락등을 막기 위해 많은 연구가 진행되어 왔다. 본 논문에서는 고주파 마그네트론 스퍼터링 시스템을 사용하여 산화 아연(ZnO)을 증착하고 여러 공정 변수들에 따른 응력의 변화를 관찰하였다. 실험에서 ZnO 타겟을 사용하였으며, 작동 가스로는 아르곤과 산소를 사용하였다. 증착한 박막들은 모두 압축 응력을 보였으며, 박막의 응력에 가장 큰 영향을 미치는 요소들은 압력, 산소와 아르곤의 비, 기판과 타겟과의 거리 등이었는데, 인가 전력에는 거의 영향을 받지 않았다. 일반적으로 스퍼터링 시스템에서의 압축응력은 atomic peening에 의해서 형성되는데, 박막을 두드리는 높은 에너지의 아르곤이나 산소의 유량과 에너지의 1/2승에 비례하는 것으로 알려져 있다. 그러나 본 시스템에서는 인가 전력을 높여도 응력이 증가하지 않았고, 타겟과의 거리를 줄이면 오히려 응력이 감소함을 보였다. 이는 박막의 응력이 peening 하는 입자의 에너지뿐만이 아니라 증착되는 물질의 증착 속도와도 밀접한 관련이 있음을 보여준다. 즉, 증착속도가 증가하면 peening하는 입자가 끼치는 응력의 효과가 반감되기 때문으로 수식을 통해 증명할 수 있었다.진탄화 처리시간을 변화시켰을 때 화합물층의 생성은 ${\gamma}$'상으로부터 시작되고 $\varepsilon$상은 즉시 ${\gamma}$'상을 소모하면서 생성되어 일정시간이 지난 후 $\varepsilon$상은 안정화되며 질소가스농도가 증가할수록 화합물 층내의 $\varepsilon$상분율은 역시 증가하였다. 한편 CH4 가스농도는 처리되는 강종에 따라 차이를 보이며 적정 CH4 가스농도를 초과시에는 $\varepsilon$상 생성은 억제되고 시멘타이트상이 생성되었다.e에서 발생된 질소 플라즈마를 구성하는 이온들의 종류와 그 구성비율을 연구하였다.여러 가지 응용으로의 가능성을 가지고 있다. 그 예로 plasma processing, plasma wave에 의한 입자 가속, 그리고 가스 레이저 활성 매질 발생 등이 있다. 특히 plasma processing의 경우 helicon plasma는 높은 밀도, 비교적 낮은 자기장, remote operation 등이 가능하다는 점에서 현재 연구가 활발히 진행되고 있다. 상업용으로도 PMT와 Lucas Signatone Corp.에 서 helicon source가 제작되었다. 또한 높은 해리율을 이용하여 저유전 물질인 SiOF의 증착에서 적용되고 있다. 이 외에도 다수의 연구결과들이 발표되었다. 잘 일치하였다.ecursor 분자들이 큰 에너지를 가지고 기판에 유입되어 치밀한 박막이 형성되었기 때문으로 사료된다.을수 있었다.보았다.다.다양한 기능을 가진 신소재 제조에 있다. 또한 경제적인
Kim, Myoung Nam;Lim, Bo A;Shin, Eun Jeong;Lee, Sun Myung
Journal of Conservation Science
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v.28
no.4
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pp.321-328
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2012
A $SO_2$ gas acceleration test was carried out on four textile groups (silk, cotton, ramie cloth, hemp cloth) which were categoried in five categories by the dyeing materials (undyed, red, yellow, blue, black) and the relation between the concentration of $SO_2$ and deterioration rate was evaluated. The textiles were exposed to 0.01, 0.12, 1, 10, 100, 1000, and 5000 ppm of $SO_2$ for 24 hours and the optical, physical, and chemical deterioration rates were studied. An optical change was identified as the color difference and grey scale rating (colorfastness) enhanced with the increase of gas concentration while there was little physical change. Chemical damage was caused by the acidification of the textile material due to the trapped sulfate ion concentration. The result of optical, physical, and chemical deterioration rates shows that 1 ppm/day $SO_2$ is a critical level of deterioration of traditional textiles.
BACKGROUND: Anaerobic digestion process is recently adapted technology for treatment of organic waste such as animal manure because the energy embedded in the waste can be recovered from the waste while the organic waste were digested. Ever increased demand for consumption of meat resulted in the excessive use of antimicrobials to the livestocks for more food production. Most antimicrobials administered to animals are excreted through urine and feces, which might highly affect the biological treatment processes of the animal manure. The aim of this study was to investigate the effects of antimicrobials on the efficiency of anaerobic digestion process and to clarify the interactions between antimicrobials and anaerobes. METHODS AND RESULTS: The experiment was consisted of two parts 1) batch test to investigate the effects of individual antibiotic compounds on production of methane and VFAs(volatile fatty acids), and removal efficiency of organic matter, and 2) the continuous reactor test to elucidate the effects of mixed antimicrobials on the whole anaerobic digestion process. The batch test showed no inhibitions in the rate of methane and VFAs production, and the rate of organic removal were observed with treatment at 1~10 mg/L of antimicrobials while temporary inhibition was observed at 50 mg/L treatment. In contrast, treatment of 100 mg/L antimicrobials resulted in continuous decreased in the rate of methane production and organic removal efficiency. The continuous reactor test conduced to see the influence of the mixed antimicrobials showed only small declines in the methane production and organic matter removal when 1~10 mg/L of combined antimicrobials were applied but this was not significant. In contrast, with the treatment of 50 mg/L of combined antimicrobials, the rate of organic removal efficiency in effluent decreased by 2~15% and the rate of biogas production decreased by 30%. CONCLUSION(s): The antimicrobials remained in the animal manure might not be removed during the anaerobic digestion process and hence, is likely to be released to the natural ecosystem. Therefore, the efforts to decline the usage of antimicrobials for animal farming would be highly recommended.
Benfuresate의 잔류분석을 위해 GC-FPD(S-mode)를 이용하여 분석조건을 설정 중 열적 불안정으로 인해 열분해 산물과 모 화합물이 혼재됨이 확인되었다. 가스크로마토그라프를 이용한 열분해의 주된 요인은 주입구의 온도와 주입구내의 기화 정도인 것으로 판단되었으며, 주입구를 Chauhan과 Debre 가 고안한 on-column으로 교체 후 분석한 결과 분해산물이 없는 단일 봉우리의 크로마토그램을 얻을 수 있었고, 절대량으로 0.6-4ng의 정량 범위 내에서 유의성 높은 검량선을 얻을 수 있는 주입구 온도는 20$0^{\circ}C$였다.
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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1993.10a
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pp.482-487
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1993
A prediction method for determining the welding residual stress by artificial neural network is proposed. A three-dimensional transient thermomechanical analysis has been performed for the CO $_{2}$ Arc Welding using the finite element method. The validity of the above results is demonstrated by experimental elastic stress relief method which is called Holl Drilling Method. The first part of numarical analysis performs a three-dimensional transient heat transfer anslysis, and the second part then uses results of the first part and performs a three-dimensional transient thermo-clasto-plastic analysis to compute transient and residual stresses in the weld. Data from the finite element method were used to train a backpropagation neural network to predict residual stress. Architecturally, the finite element method were used to train a backpropagation voltage and the current, a hidden layer to accommodate failure mechanism mapping, and an output layer for residual stress. The trained network was then applied to the prediction of residual stress in the four specimens. The results of predicted residual stress have been very encouraging.
Major problems in welding Al-7020 include shrinkage, rpopositgy in welds and loss of strength in the heat affected zone. Thus it is important to examine the mechanical properties and reliability of welds. In this study, a series of experiments was carried out to determine the mechanical properties such as micro-hardness distribution, tensile strength, porosity and residual stress distribution of the Al-7020 weldment made by pulse-GMA welding. The resuts of the experiemnts are as folows. 1) The micro-hardness of weld metal and heat affected zone was lower than that of the base metal. 2) The tensile strength of the deposited metal was much lower than that of the base metal. 3) The porrosity in weld metal zone was negligible under the adopted conditsion of experiemnts. 4) The residual stress in the weld metal was lower than that of the heat affected zone, because the weld metal was softened. And the mciro-hardness distribution, the tensile strength and the residual stess distribution of the weldment in the as-welded condition were compared with those of the weldment after heat treatment.
Ham, Mi-Suk;Kim, Yoo;Park, Eung-Sik;Park, Bong-Gyu
Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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2002.04a
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pp.82-83
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2002
궤도상에 올려진 위성들은 인형의 궤도 운행을 하게 된다. 그러나 지구가 완전한 구형이 아니고 태양과 달의 인력이 작용하여 위성에 섭동이 발생하게 된다. 그리고 무중력 상태의 우주이므로 태양풍이나 미세 운석 그리고 위성체 내부의 가스 누출이나 내부의 토크 변화에 의해 위성 자세에 조금의 변동을 야기한다. 통신 위성의 경우 지상의 한 지점을 계속 향하고 있어야 하므로 정기적인 자세제어가 필요하다. 위성의 섭동에 의해 EWSK(East-West station keeping)나 NSSK(North-South station keeping)를 하기 위해 추력 모델은 단일 $\Delta$$\upsilon$기동이나 회전 세차 운동(spin precession maneuver)을 지원해야 한다. 위성은 주어진 임무를 수행하는데 필요한 $\Delta$$\upsilon$기동을 위해 적절한 성능의 추력기와 임무기간 동안 사용할 적절한 양의 추진제를 탑재하고 있다. 지상에서 필요한 임무를 수행하기 위해 위성에 지령을 하였을 때, 추력기가 정상작동을 하였는지 그리고 잔류 추진제가 어느 정도 인지를 정확히 알 수 있어야 한다.
Proceedings of the Korean Society of Propulsion Engineers Conference
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1999.10a
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pp.12-12
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1999
온도에 따라 물성치가 변화하는 재료의 열응력 예측은 연속주조공정에 의한 제품 생산에서 중요하다. 연속주조공정에서 금속이 급속히 냉각됨으로 인하여 응력이 크게 발생될 뿐만 아니라 금속 내부에 크랙이 발생될 수 있으며, 이는 최종제품의 품질에 영향을 미칠 수 있다. 따라서 연속주조공정에서 양호한 주조제품을 얻기 위해서는 냉각조건 등과 같은, 주조시 수반되는 여러가지 주조결함의 원인을 제어해 주어야한다. 주조결함에는 주물 주입에 기인하는 결함과 주입 완료 후 응고과정에서 주물의 수축으로 기인하는 결함이 있다. 공기 및 가스의 포집, 개재물의 혼입 등이 전자에 속하며, 응고층 내부의 온도차, 응고수축(solidification shrinkage), 응력변형 등으로 인한 주물변형 및 표면결함 등이 후자에 속한다. 주물의 응고시에 고상화된 영역에서의 온도구배와 시간에 따른 온도변화는 금속내부에서의 열변형으로 인한 열응력을 발생시키고, 이것은 잔류응력이나 크랙 등과 같은 최종제품의 결함의 원인이 될 수 있다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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