Analysis of fast pressure control by the Ziegler-Nichols method for a transport module of a high vacuum cluster tool (고진공 클러스터 장비의 반송모듈에 적용된 Ziegler-Nichols 방법에 의한 고속 압력제어에 관한 해석)
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- Journal of the Korean Vacuum Society
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- v.5 no.4
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- pp.284-291
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- 1996