• Title/Summary/Keyword: 자기화 회전

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Characterization of a TSV sputtering equipment by numerical modeling (수치 모델을 이용한 TSV 스퍼터링 장비의 특성 해석)

  • Ju, Jeong-Hun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 2018.06a
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    • pp.46-46
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    • 2018
  • 메모리 소자의 수요가 데스크톱 컴퓨터의 정체와 모바일 기기의 폭발적인 증가로 NAND flash 메모리의 고집적화로 이어져서 3차원 집적 기술의 고도화가 중요한 요소가 되고 있다. 1 mm 정도의 얇은 웨이퍼 상에 만들어지는 메모리 소자는 실제 두께는 몇 마이크로미터 되지 않는다. 수직방향으로 여러 장의 웨이퍼를 연결하면 폭 방향으로 이미 거의 한계에 도달해있는 크기 축소(shrinking) 기술에 의지 하지 않고서도 메모리 소자의 용량을 증대 시킬 수 있다. CPU, AP등의 논리 연산 소자의 경우에는 발열 문제로 3D stacking 기술의 구현이 쉽지 않지만 메모리 소자의 경우에는 저 전력화를 통해서 실용화가 시작되었다. 스마트폰, 휴대용 보조 저장 매체(USB memory, SSD)등에 수 십 GB의 용량이 보편적인 현재, FEOL, BEOL 기술을 모두 가지고 있는 국내의 반도체 소자 업체들은 자연스럽게 TSV 기술과 이에 필요한 장비의 개발에 관심을 가지게 되었다. 특히 이 중 TSV용 스퍼터링 장치는 transistor의 main contact 공정에 전 세계 시장의 90% 이상을 점유하고 있는 글로벌 업체의 경우에도 완전히 만족스러운 장비를 공급하지는 못하고 있는 상태여서 연구 개발의 적절한 시기이다. 기본 개념은 일반적인 마그네트론 스퍼터링이 중성 입자를 타겟 표면에서 발생시키는데 이를 다시 추가적인 전력 공급으로 전자 - 중성 충돌로 인한 이온화 과정을 추가하고 여기서 발생된 타겟 이온들을 웨이퍼의 표면에 최대한 수직 방향으로 입사시키려는 노력이 핵심이다. 본 발표에서는 고전력 이온화 스퍼터링 시스템의 자기장 해석, 냉각 효율 해석, 멀티 모듈 회전 자석 음극에 대한 동역학적 분석 결과를 발표한다. 그림1에는 이중 회전 모듈에 대한 다물체 동역학 해석을 Adams s/w package로 해석하기 위하여 작성한 모델이고 그림2는 180도 회전한 서브 모듈의 위상이 음극 냉각에 미치는 효과를 CFD-ACE+로 유동 해석한 결과를 나타내고 있다.

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Construction of an Earth's Field Compensation System for the Mcasurement of. Proton Gyromagnetic Ratio (양성자 자기회전비율 측정을 위한 지자장 상쇄장치 제작)

  • 우병칠;박포규;김철기;유권상;김창석
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.2 no.2
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    • pp.156-162
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    • 1992
  • In the measurement of proton gyromagnetic ratio by a low field cechnique, the compensation of earth's field is required to keep a zero-field space. The constant earth's fild is compensated by a cur-rent flowing through a Helmholtz coil, whereas small time-varying component is compensated automatically by a closed loop of feedback system. A feedback amplifier, and two three-dimensional Helmholtz coils having the same coil constant have been constructed in order to compensate the earth's field. field. Preliminary test performed at the ordinary laboratory showed that the time-vary-ing field of ${\pm}100nT$ and the constant field have been reduced to the level of ${\pm}10nT$ using the compensating system.

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Design of Active Magnetic Bearing System (능동 자기 베어링 시스템의 설계)

  • 하영호;김철순;이종원
    • Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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    • 1990.10a
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    • pp.193-198
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    • 1990
  • 전자기 베어링은 기계적 접촉이 없고 전기적 제어가 가능하여 최근 고속 정 밀 회전기에 사용되고 있다. 본 논문에서는 능동 자기베어링을 모형화하고 제어 이득에 따른 계의 안정성 판별 및 응답특성의 변화를 고찰하였다. 이를 토대로 두개의 반경방향 베어링과 회전체를 제작하고 아날로그 제어회로를 구성하여 안정되게 회전체를 부상시킬수 있었으며 이로부터 계의 응답특성 을 구하였다.

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Design and Manufacture of a 10 HP Homopolar Motor with Superconducting Windings (10마력 전초전도 호모폴라 모터의 설계 및 제작)

  • Park, Sang-Ho;Kim, Yung-Il;Lee, Se-Yeon;Jung, Chang-Soo;Lee, Ji-Kwang;Park, Il-Han;Choi, Kyeong-Dal;Hahn, Song-Yop
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • 2011.07a
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    • pp.1125-1126
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    • 2011
  • 고온 초전도 전력기기는 상전도 전력기기에 비해, 중량과 부피가 작고 전력손실이 거의 없어 효율이 높고 대용량기기에 많은 장점을 지니고 있으며 또한 환경 친화적이다. 대형화가 요구되는 선박추진용 모터를 초전도 모터로 사용할 경우 저속 및 고 토크의 모터를 제작할 수 있고, 계자 권선과 전기자 권선을 초전도 선재로 사용함으로써 높은 전류밀도와 고 자장이 가능하여 고효율 및 소형 경량화 등의 장점이 있다. 그러나 전초전도 모터의 경우 얇은 테이프 형태의 초전도 선재의 특성으로 인해 구리선처럼 가공이 힘들고, 선재를 초전도 상태로 만들기 위한 냉각이 필요하다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여 본 연구에서는 동기모터와 선형모터를 혼합하여 고정자에 위치한 racetrack type의 전기자 권선뿐만아니라 회전자에 자기장을 발생시키는 계자 권선도 회전자가 아니라 고정자부분에 위치하므로 구조상 견고하고 냉각등에 장점이 있는 호모폴라 모터를 제안하였으며 자기저항의 변화가 작은 구조로 토크 리플이 작으므로 소음과 진동이 적은 모터를 설계하였다. 설계 결과로부터 호모폴라 모터를 제작하였으며 레이스트렉형과 팬케이크 권선의 임계전류등을 측정하였다. 추후 호모폴라 모터의 성능시험을 진행할 예정이다.

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네트웍 기반 자기베어링용 전력 증폭기 설계

  • 진재호;박종권;경진호;노승국
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 2003.10a
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    • pp.115-115
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    • 2003
  • 최근 회전기계에 대한 세계적인 기술추세를 볼 때 해를 거듭할수록 더욱 정밀해지고 고속화에 대한 요구가 한층 증대되고 있으며 이러한 측면에서 여러 분야에 우수한 장점을 지니고 있는 능동적 자기베어링의 회전축계 활용에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 특히 프랑스를 중심으로 한 미국, 일본 등이 이에 대한 연구를 활발하게 수행하여 고속 공작기계 스핀들을 비롯한 고진공 펌프 및 각종 터어빈, 압축기 등에 실용화시키는 단계에 있다. 그러나 국내 관련기술에 대한 연구는 연구소, 학계를 중심으로 실험실적인 기초연구로서 부분적으로 수행하는 단계에 있으며 관련분야 활용을 위한 본격적인 연구는 수행되지 못하고 있는 실정이고 이를 실용화시키기 위한 일환으로 능동적 자기 베어링의 회전 축계를 구성하고 있는 요소기술 중 하나인 전력 증폭기의 개발이 이뤄져야 할 필요성이 있는데 본 논문에서는 네트웍 기반 전력 증폭기 개발을 시도하였다. 전력 증폭기는 크게 리니어 앰프와 스위칭 앰프로 구분된다. 리니어 앰프의 경우 회로가 간단하고 노이즈가 비교적 작다는 장점이 있지만 전력손실 및 발열이 크기 때문에 에너지 측면에서 저 효율이라는 점과 따로 방열판을 부착해야 한다는 단점을 가지고 있고, 스위칭 앰프의 경우 전력손실이 작은 반면, 회로가 비교적 복잡하고 노이즈의 발생 가능성이 높다는 단점이 있다. 본 논문에선 위 두 가지 방식을 혼합한 혼합형 전력 증폭기로 설계하였다. 또한 기존에 전력증폭기의 경우 상위 주제어기로부터 제어량을 아날로그 신호로 통신하기 때문에 발생할 수 있는 EMI 노이즈신호에 대한 대책을 세워야 하는데 본 연구를 통해 개발된 전력증폭기는 따로 보조제어기(TMS320LF2406A)를 두어 상위 주제어기에 전력증폭기의 상태값을 궤환할 수 있도록 명령 신호체계를 전체 시스템의 샘플링 시간을 고려하여 비교적 전송 속도가 빠른 CAN(Controller Area Network)으로 구축하여 주제어기와 전력 증폭기간에 양방향 통신이 가능하도록 하였다. 이로써 전력증폭기의 상태정보를 알 수 있다. 따라서 본 논문에서는 칩 설계기술의 발전으로 가격대 성능비가 우수한 DSP(TMS320LF2406A)를 이용하여 과거의 아날로그 방식의 명령신호체계를 디지털 신호체계로 바꿈으로써 네트웍을 통해 전력증폭기의 상태진단 가능성을 검증한다.

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The Magnetic Properties of Amorphus Phase in Mechanically Alloyed $Fe_{50}Zr_{50}$ Powders (기계적 합금화한 비정질 $Fe_{50}Zr_{50}$ 분말의 자기특성)

  • 이성의;나형용;김원태;유성초
    • Journal of the Korean Magnetics Society
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    • v.7 no.1
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    • pp.7-12
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    • 1997
  • Amorphous $Fe_{50}Zr_{50}$ alloy has been manufactured by mechanical alloying from pure elemental powders of Fe and Zr in conventional ball mill under an Ar atmosphere. Structure and magnetic properties of the amorphous phase were studied by transmission electron microscopy and SQUID magnetometry. Selected area diffraction patterns taken from the mechanically alloyed powders showed two halo rings, indicating coexistence of Fe rich and Zr rich amorphous phases in mechanically alloyed powder. Curie temperature of the Fe rich amorphous phase, measured by Arrot plot, was 195 K. Fe content in the ferromagnetic amorphous phase, estimated from the Curie temperature, was about 65 at%. Spin wave stiffness constant of $Fe_{50} Zr_{50}$ alloys processed for 100 and 200 hrs were 52.2 and 63.8 meV, respectively. The higher spin wave stiffness constant in 200 hrs milled powders may arise from the precipitation of $\alpha$-Fe by partial crystallization of amorphous phase.

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Cancellation of MRI Artifact due to Rotational Motion (회전운동에 기인한 MRI 아티팩트의 제거)

  • 김응규
    • Journal of KIISE:Software and Applications
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    • v.31 no.4
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    • pp.411-419
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    • 2004
  • When the imaging object rotates in image plane during MRI scan, its rotation causes phase error and non-uniform sampling to MRI signal. The model of the problem including phase error non-uniform sampling of MRI signal showed that the MRI signals corrupted by rotations about an arbitrary center and the origin in image plane are different in their phases. Therefore the following methods are presented to improve the quality of the MR image which includes the artifact. The first, assuming that the angle of 2-D rotational motion is already known and the position of 2-D rotational center is unknown, an algorithm to correct the artifact which is based on the phase correction is presented. The second, in case of 2-D rotational motion with unknown rotational center and unknown rotational angle, an algorithm is presented to correct the MRI artifact. At this case, the energy of an ideal MR image is minimum outside the boundary of the imaging object to estimate unknown motion parameters and the measured energy increases when the imaging object has an rotation. By using this property, an evaluation function is defined to estimate unknown values of rotational angle at each phase encoding step. Finally, the effectiveness of this presented techniques is shown by using a phantom image with simulated motion and a real image with 2-D translational shift and rotation.

Development of generator excitation system with main/standby controller in Inchun thermal power plant #4 (인천화력 4호기 발전기용 주/부 제어기를 갖는 정지형 여자시스템 개발)

  • 류호선;김수열;김장목;임익헌
    • The Transactions of the Korean Institute of Power Electronics
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    • v.4 no.6
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    • pp.507-514
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    • 1999
  • 한국전력에서는 인천화력 4호기 수명연장의 일환으로 여자시스템 교체가 이루어졌다. 기존의 회전형 여자 시스템은 발전기축에 부여자기와 교류여자기가 부착되어 회전하는 형태로 과거 스위칭소자 용량의 한계를 극복하기 위하여 설계된 시스템으로 전력연구원에는 회전형 여자시스템을 새롭게 개발된 아날로그와 디지털의 하이브리드 제어기와 대용량 사이리스터 제어정류기를 가지고 잇는 정지형 이중화 여자시스템으로 교체하였다. 설비의 신뢰성을 높이기 위하여 정지형 여자시스템의 상태를 순시 감시하기 위한 데이터 취득 시스템이 설치 되었고 위상제어정류기는 운전시 1대가 고장이 발생하더라도 발전기의 전부하 능력을 유지하기 위하여 3대가 병렬로 운전되는 N+1 방식을 채택하였다. 시스템의 신뢰성 시험은 성능평가를 위한 시운전시에 검증되었으며 성공적으로 운전중에 있다.

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Design of a Frequency Offset Corrector and Analysis of Noises due to Quantization Angle in OFDM LAN Systems (OFDM 시스템에서 주파수편차 교정기의 설계와 각도 양자화에 의한 잡음의 분석)

  • 황진권
    • The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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    • v.29 no.7A
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    • pp.794-806
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    • 2004
  • This paper deals with correction of frequency offset and analysis of quantization angle noise in the IEEE 802.1la OFDM system. The rotation phase per symbol due to the carrier frequency offset is estimated from auto-correlation of the short Preambles, which are over-sampled for the reduction of noise in OFDM signals. The pilot signals are introduced to estimate the rotation phase per OFDM symbol due to estimation error of the carrier frequency offset and the sampling frequency onset. During the estimation and correction of the frequency onsets, a CORDIC processor and a look-up table are used for the conversion between a rotation phase and its complex number. Being calculated by a limited number of bits in the CORDIC processor and the look-up table, the rotation phase and its complex number have quantization angle errors. The quantization errors are analyzed as SNR (signal to noise ratio) due to the quantization bit numbers. The minimum bit number is suggested to meet the specification of IEEE 802.1la properly. Finally, the quantization errors are evaluated through simulations on number of quantization bits and SNR of received signals.

A Study on the Diagnostic Usefulness of Ultrasound and Magnetic Resonance Imaging for the Diagnosis of Shoulder Rotator Cuff Tear (어깨 회전근개 파열 진단을 위한 초음파 검사와 자기공명영상 검사의 진단적 유용성 연구)

  • Chae-Won, Kang;Hyo-Young, Lee
    • Journal of the Korean Society of Radiology
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    • v.16 no.7
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    • pp.961-968
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    • 2022
  • Rotator cuff tears are a leading cause of shoulder pain in adults. Due to the increase in social activities, the number of patients complaining of shoulder pain is increasing, and interest in shoulder diseases is also increasing. With the development of ultrasound equipment, the sensitivity and specificity of diagnosis are high, and it is used to diagnose rotator cuff tears in musculoskeletal disease. Ultrasound is recognized as a complementary method to MRI examination in rotator cuff tears. Therefore, this study aimed to find out the diagnostic usefulness of ultrasound and MRI examinations in the diagnosis of shoulder rotator cuff tears.A retrospective analysis was performed on 262 patients who were diagnosed with final rotator cuff damage by arthroscopy after completing ultrasound and MRI examinations. Sensitivity, feature, positive predictive value, image predictive value, and touch were disassembled for the test results. In addition, the degree of clavicular tear was scored and recorded in 5 stages. Ultrasound examination was similar to MRI examination results for both full-thickness and partial tears, and there was no statistically significant difference. Partial tear test results showed higher positive predictive value and accuracy than MRI test. In conclusion, ultrasound can be fully utilized as a screening test for rotator cuff disease, and it is thought that it will be selected and used clinically according to the patient's constitution and situation.