• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2003.06a
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• pp.434-437
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• 2003

Evaluation or the patterning accuracy of e-beam lithography machines requires a high precision inspection system that is capable of measuring the true xy-locations of fiducial marks generated by the e-beam machine under test. Fiducial marks are fabricated on a single photo mask over the entire working area in the form of equally spaced two-dimensional grids. In performing the evaluation, the principles of self-calibration enable to determine the deviations of fiducial marks from their nominal xy-locations precisely, not being affected by the motion errors of the inspection system itself. It is. however, the fact that only repeatable motion errors can be eliminated, while random motion errors encountered in probing the locations of fiducial marks are not removed. Even worse, a random error occurring from the measurement of a single mark propagates and affects in determining locations of other marks, which phenomenon in fact limits the ultimate calibration accuracy of e-beam machines. In this paper, we describe an uncertainty analysis that has been made to investigate how random errors affect the final result of self-calibration of e-beam machines when one uses an optical inspection system equipped with high-resolution microscope objectives and a precision xy-stages. The guide of uncertainty analysis recommended by the International Organization for Standardization is faithfully followed along with necessary sensitivity analysis. The uncertainty analysis reveals that among the dominant components of the patterning accuracy of e-beam lithography, the rotationally symmetrical component is most significantly affected by random errors, whose propagation becomes more severe in a cascading manner as the number of fiducial marks increases

• Journal of the Korean Geotechnical Society
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• v.16 no.6
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• pp.117-125
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• 2000

자가굴착식 프레셔미터 시험(Self-Boring Pressuremeter Test, SBPT)은 지반의 교란을 최소화할 수 있기 때문에 점성토의 비배수 전당강도($S_{u}$ )를 비교적 정확하게 평가할 수 있는 방법 중의 하나로 알려져 있으며, 많은 연구자들에 의하여 SBPT 결과로부터 $S_{u}$ 를 산정하는 여러 가지 방법들이 제안되었다. 본 연구에서는 국내 5개지역에서 총 33회의 SBPT를 수행한후, 기존에 제안된 여러 가지 방법들을 이용하여 $S_{u}$ 를 산정하고, 그 중 변형률 경화 거동을 보이는 지반에서의 $S_{u}$ 를 동일 현장에서 수행한 현장베인시험 결과와 비교. 분석하여 각 방법들의 적용성과 신뢰성을 분석하였다. 그리고, $S_{u}$ 산정 결과에 대한 프레셔미터 멤브레인의 유일한 길이의 영향을 수치해석으로 분석하였으며, 그 결과를 이용하여 기존의 접선영 방법(Subtangent method)을 보정하는 식을 제안하였다. 새로이 보정된 방법으로 산정한 $S_{u}$ 를 현장베인시험 결과와 비교하여 개선 효과를 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2002.10a
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• pp.387-390
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• 2002

In this paper, we accomplish uncertainty evaluation and performance test of the volumetric interferometer using two spherical wavefronts emitted from the ends of two single mode fibers. We verify that the volumetric interferometer has the volume uncertainty of 690nm through the error analysis and it has the resolution of 0.1 0.1$\mu\textrm{m}$ for x axis which is the same order of repeatability for x axis. Also, we obtain the systematic error of $1\mu\textrm{m}$ for $60\times 60\times 20 mm^3$ working volume using self-calibration with an artifact plate.

• Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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• v.27 no.3
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• pp.50-57
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• 2010

A high precision air bearing stage has been developed and calibrated. This linear-motor driven stage was designed to transport a glass or wafer with the X and Y following errors in nanometer regime. To achieve this level of precision, bar type mirrors were adopted for real time ${\Delta}X$ and ${\Delta}Y$ laser measurement and feedback control. With the laser wavelength variation and instability being kept minimized through strict environment control, the orthogonality of this type of control system becomes purely dependent upon the surface flatness, distortion, and assembly of the bar mirrors. Compensations for the bar mirror distortions and assembly have been performed using the self-calibration method. As a result, the orthogonality error of the stage was successfully decreased from $0.04^{\circ}$ to 2.48 arcsec.

• Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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• 2003.05b
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• pp.927-930
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• 2003

Automated sequencer로부터 얻게된 서열은 PCR이나 sequencing의 영향 등으로 기존의 자료 또는 분자생물학자가 원하는 서열과는 조금씩 차이점을 나타내게 되고, 이를 보정하기 위해 수작업으로 처리하게 된다. 이는 아주 간단함 작업임에도 불구하고 30분에서 1시간, 많게는 몇 시간씩 걸리는 불편함을 감수하고 있다. 본 논문에서는 분자 생물학자들이 효율적으로 서열을 분석하게 하는 sequence finishing program의 구현에 관하여 논의하였다.

• The Journal of Engineering Geology
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• v.6 no.2
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• pp.53-58
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• 1996

In order to investigate the source mechanism of micro cracks through acoustic emission measurement induced by rock fracture, careful calibration of the entire linkage of the detecting system, from the transducers to transient recorder, is an essential requirement prior to testing. Transducers and digitiging system are generally the weakest links in the measurement system because they must translate mechanical motions into digital electric signals. In this study, PAC piezoelectric pressure transducers are calibrated with a standard NBS conical shaped displacement transducer and a DG piezoelectric displacement transducer. The NBS and PAC transducers are insensitive to changes in horizontal impingement angle but sensitive to changes in incident angle. The ray path along the logitudinal axis of the tranducer produced a maximum response while the ray path perpendicular to the transducer axis gave a minimum. And a difference in individual transducers factor for a peak-to-peak amplitude of PAC transducers was within 40%. An average PAC transducer coefficient was determined as 77mv/pm by an absolute calibration test using NBS transducer.

• Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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• v.27 no.4
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• pp.409-413
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• 2005

A method to estimate the autotrophic maximum specific growth rate is presented in this paper. First of all, the concentration of nitrifier is simulated based on the amount of N nitrified, the sludge age and the default value for the decay coefficient. Secondly the OUR of the sludge with access of ammonia is measured. The maximum specific growth rate can be calculated as ${\mu}_{max,A}\;=\;OUR_{max,A}/Y_A$. It was demonstrated that the maximum specific growth rate of autotrophic biomass is not a constants but a time variable parameter. It is concluded that using $OUR_{max,A}$ for dynamic estimating maximum specific growth rate is a good approach and that using a constant value for the maximum specific growth rate over a longer period of time could not predict the performance of activated sludge plants.

• Journal of the Institute of Electronics and Information Engineers
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• v.50 no.8
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• pp.238-244
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• 2013

In energy dispersive X-ray fluorescence analysis, the removal of the continuum on which the X-ray spectrum is superimposed is one of the most important processes, since it has a strong influence on the analysis result. The existing methods which have been used for it usually require tight constraints or prior information on the continuum. In this paper, an efficient background correction method is proposed for Energy Dispersive X-ray fluorescence (EDXRF) spectra. The proposed method has two steps of background modeling and background correction. It is based on the basic concept which differentiates background areas from the peak areas in a spectrum and the SNIP algorithm, one of the popular methods for background removal, is used to enhance the performance. After detecting some points which belong to the background from a spectrum, its background is modeled by a curve fitting method based on them. And then the obtained background model is subtracted from the raw spectrum. The method has been shown to give better results than some of traditional methods, while working under relatively weak constraints or prior information.

• Proceedings of the Korea Water Resources Association Conference
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• 2016.05a
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• pp.233-233
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• 2016

현재 한국건설기술연구원에서 X-밴드 이중편파레이더를 운영하고 있으며, 이 결과 NetCDF 파일형식의 레이더 관측자료가 생성되고 있다. 레이더 자료포맷인 Netcdf 자료의 경우 레이더 관측과정에서 발생한 결과를 극좌표 형식으로 저장하고 있어 이를 분석이나 시스템에 적용하여 활용하기 위해서는 격자좌표로 변환하는 것이 필요하고, 또한 다양한 자료 변환 및 추출작업을 텍스트 기반으로 하기 위해 다양한 사전 작업이 필요하여 일반사용자가 사용하는데 어려운 상황이다. 그래서 이를 쉽게 수행할 수 있도록 JAVA를 이용하여 윈도우 기반으로 사용할 수 있는 프로그램(KICTRadar4WIN) 프로그램을 개발하였다. KICTRadar4WIN 프로그램의 경우 레이더 자료 품질관리, 레이더 자료 관리, 레이더 자료 추출, 레이더 자료 표출의 4가지 기능을 포함하고 있다. ${\bullet}$ 레이더 자료 품질관리 - 원시자료에 QC 기준을 입력하여 QC된 레이더자료를 생성 ${\bullet}$ 레이더 자료관리 - CAPPI 자료생성 : 관측된 PPI 및 RHI 자료를 이용하여, CAPPI 자료를 생성 - QPE 자료생성 : CAPPI 자료를 이용하여 QPE 자료를 생 - QPE 자료보정 : 지점우량을 이용한 G/R비를 산정하여 QPE 보정자료를 생성 ${\bullet}$ 레이더 자료 추출 - 격자자료 추출 : PPI, CAPPI, QPE 자료를 TEXT 자료로 변환하여 저장 - 지점자료 추출 : 입력된 지점좌표 중심으로 선택한 범위의 평균값을 TEXT 파일로 저장 - 면적자료 추출 : 입력된 면적자료의 평균값을 추출하여 TEXT파일로 저장 ${\bullet}$ 레이더 자료 표출 - 영상표출 : PPI, CAPPI, QPE 관측변수 자료를 그림파일 생성 - KMZ 자료생성 : PPI, CAPPI, QPE 자료를 KMZ 파일 생성

• The Bulletin of The Korean Astronomical Society
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• v.46 no.1
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• pp.59.2-59.2
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• 2021

현재 우리나라는 달탐사 개발 사업을 통하여 2022년 8월 발사를 목표로 달 궤도선인 KPLO와 과학임무 및 기술검증 임무를 수행하게 될 임무 탑재체, 임무 수행을 위한 각종 소프트웨어의 개발, 궤도/궤적의 설계 등 일련의 개발 과정을 순조롭게 수행하고 있다. 또한 달 궤도선인 KPLO와 이들 탑재체에 대한 운영과 관제를 수행하는 KPLO 심우주 지상국도 일정에 따라 개발 막바지에 접어들고 있다. 특히 KPLO 심우주 지상국에는 우리나라 대학과 정부출연연구소에 의해서 개발되는 과학탑재체 4기가 달 궤도에서 과학임무를 수행하여 얻게되는 달 탐사 과학자료, 즉, 과학임무자료를 달 탐사에 직접 참여하는 과학자들뿐만 아니라 일반인들도 교육 및 연구에 활용할 수 있도록 달 탐사 과학자료의 저장, 공개, 관리를 위한 Archive system인 KARI Planetary Data System(KPDS)도 함께 개발되고 있다. KPDS는 전문 연구자와 일반인들이 별도의 교육없이 인터넷을 통하여 쉽게 접속하여 KPLO의 과학탑재체가 획득한 달 탐사 과학자료를 검색하여 내려받아 사용할 수 있도록 서비스를 제공할 예정이다. 본 논문에서는 과학탑재체 개발기관 소속의 연구자가 달 탐사 과학자료에 대한 검보정 처리와 과학적 분석을 수행하기 위해서 텔레메트리 형태의 원본형태의 과학자료를 KPDS로부터 다운로드 받는 과정과 검보정 처리가 된 과학자료를 일반 사용자들이 내려 받아 사용할 수 있도록 과학자료가 공개되기까지 일련의 과정을 설명하고, 연구자 및 일반사용자가 직접 접하게 되는 KPDS의 주요한 사용자 환경에 대해서 설명한다.