• Title/Summary/Keyword: 입자성장

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Model of Particle Growth in Silane Plasma Reactor for Semiconductor Fabrication (반도체 제조용 사일렌 플라즈마 반응기에서의 입자 성장 모델)

  • 김동주;김교선
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.10 no.2
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    • pp.275-281
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    • 2001
  • We used the discrete-sectional model to analyze the particle growth by coagulation of particles in silane plasma reactor, considering the Gaussian distribution function for particle charges. The effects of process conditions such as monomer size and mass generation rate of monomers on particle growth in plasma reactor were analyzed theoretically/ Based on the Gaussian distribution function of particle charges, the large particles of more than 40 nm in size are almost found to be charged negatively, but some fractions of small, tiny particles are in neutral state or even charged positively. As the particle size and surface area increase with time by particle coagulation, the number of charges per particle increases with time. As the large particles are generated by particle coagulation, the particle size distribution become bimodal. The results of discrete-sectional model for the particle growth in silane plasma reactor were in close agreement with the experimental results by Shiratani et al. [3] for the same plasma conditions. We believe the model equations for the particle charge distribution and coagulation between particles can be applied to understand the nano-sized particle growth in plasma reactor.

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Effect of Precipitation Conditions on the Particle Growth of Aluminium Trihydroxide (II) (수산화알루미늄 입자성장에 미치는 석출조건의 영향 (II))

  • 김대웅;백용혁
    • Journal of the Korean Ceramic Society
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    • v.38 no.3
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    • pp.267-273
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    • 2001
  • Bayer process는 보오크사이트로부터 수산화알루미늄을 추출시키는 가장 일반적인 방법으로서 공정 조건에 따라 수산화알루미늄의 1차입자경, 입도분포도 및 생산효율 등이 달라지게 된다. 이러한 수산화알루미늄의 특성에 영향을 미치는 석출인자로는 석출시간, 석출온도차($\Delta$T), 종자 첨가시 함께 투입되는 공정순환액(spent liquor) 및 종자크기 등이 있다. 본 실험에서는 이러한 각각의 인자들이 수산화알루미늄 석출시 입자성장에 미치는 영향을 연구하였다. 그 결과 석출시간이 길수록, 정온석출 보다는 냉각석출의 경우가, 또한 공정순환액이 첨가되지 않을수록 석출율은 증가하나 입자크기에는 영향을 주지 않았으며 입자성장에 가장 큰 영향력을 미치는 인자는 투입 종자크기로 나타났다.

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액상법에 의한 단분산 ZnS입자 및 피복형복합입자의 합성

  • 김영도;신건철
    • Proceedings of the Korea Association of Crystal Growth Conference
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    • 1997.10a
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    • pp.27-31
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    • 1997
  • 액상법에 의한 단분산 ZnS입자의 합성을 60~9$0^{\circ}C$에서 행하여, 반응조건이 ZnS입자의 형태에 미치는 효과를 검토했다. ZnS입자의 형태는 반응 시간의 경과와 더불어 단분산으로부터 다분산 혹은 응집체로 변화하였다. 반응 온도 60~9$0^{\circ}C$에서 초기 농도적이 중간값이고, 반응시간이 짧을 경우 입경 0.2~0.8$\mu\textrm{m}$의 구상 단분산 입자를 얻었다. 또한 Ag$_2$NO$_3$, EtOH용액, $0^{\circ}C$에서, Ag$_2$S에 의한 ZnS의 균일 피복이 가능하였다.

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해석적 방법을 이용한 흡습성 에어로졸의 거동 분석

  • 박재우
    • Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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    • 1996.05b
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    • pp.699-706
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    • 1996
  • 인자로 중대사고시 생성되는 흡습성(hygroscopic) 에어로졸의 거동을 해석적인 방법을 이용하여 분석하였다. 분석한 내용는 상대습도가 불포화, 포화, 과포화 조건에서 CsOH 에어로졸의 수증기 응축률, 입자성장에 따른 크기분포의 변화. 중력침전에 의한 전체 에어로졸량의 변화이다. 용질효과를 고려한 흡습성 에어로졸 모델을 사용한 경우 상대습도가 불포화 조건에서도 에어로졸 입자에 수증기 응축이 발생하며 입자의 크기가 평형반경에 달할 때까지 지속됨을 발견하였다. 이러한 입자 성장은 매우 빠른 입자크기분포 변화를 초래하여 중력침전에의한 급속한 에어로졸 감소를 초래하는 것으로 예측되었다. 따라서 현재 사용되고 있는 MELCOR 및 CONTAIN 코드는 흡습성 에어로졸에 대해서 용질효과를 고려한 모델을 사용하여야 할 것이다.

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이달의 과학자 - 서울대 기계항공공학부 최만수 교수

  • Korean Federation of Science and Technology Societies
    • The Science & Technology
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    • v.33 no.10 s.377
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    • pp.78-79
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    • 2000
  • 나노입자의 제조 및 성장제어와 열 및 물질전달과 에어로솔 공학분야의 연구에 주력하고 있는 최만수 교수(44세). 최근에는 나노입자의 융합속도를 제어하는 새로운 나노입자 성장제어 기술을 개발해 학계의 관심을 모으고 있다. 최교수는 앞으로 융합촉진을 이용하는 나노입자 제어기술을 복합나노입자를 포함한 여러 다양한 나노입자의 제조와 나노물질의 제조에 응용해 나갈 것이며 이론적 모델리의 개발도 병행해 나갈 계획이다.

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Study on the Sintering Behavior and Abnormal Grain Growth with Ba/Ti ratio variation of $BaTiO_3$ Ceramics ($BaTiO_3$세라믹스에서 Ba/Ti비 변화에 따른 소결거동 및 비정상 입자성장에 대한 연구)

  • Choi, Jong-Sun;Kim, Ho-Gi
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.1 no.1
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    • pp.37-45
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    • 1991
  • In order to control the microstructures, the sintering behavior and abnormal grain growth with Ba/Ti ratio variation of $BaTiO_3$were investigated. The $BaTiO_3$powders used in this study were prepared by conventional calcination of $BaCO_3$ and $TiO_2$. The onset temperatures of the sintering were lowered and the densification was enhanced with increasing amounts of $TiO_2$ excess. These results are because of decrease of calcined particle sizes. A eutectic melt above temperature of $1320^{\circ}C$ did not assist the densification. Grain growth was strongly inhibited with increasing amounts of $TiO_2$ excess. The inhibition of grain growth caused abnormal grain growth due to inhomogeneous distribution of Ti-rich second phase.

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Selective Pattern Growth of Silica Nanoparticles by Surface Functionalization of Substrates (기판 표면 기능화에 의한 실리카 나노입자의 선택적 패턴 성장)

  • Kim, Ki-Chul
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.21 no.4
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    • pp.20-25
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    • 2020
  • As nanoscience and nanotechnology advance, techniques for selective pattern growth have attracted significant attention. Silica nanoparticles (NPs) are used as a promising nanomaterials for bio-labeling, bio-imaging, and bio-sensing. In this study, silica NPs were synthesized by a sol-gel process using a modified Stöber method. In addition, the selective pattern growth of silica NPs was achieved by the surface functionalization of the substrate using a micro-contact printing technique of a hydrophobic treatment. The particle size of the as-synthesized silica NPs and morphology of selective pattern growth of silica NPs were characterized by FE-SEM. The contact angle by surface functionalization of the substrate was investigated using a contact angle analyzer. As a result, silica NPs were not observed on the hydrophobic surface of the OTS solution treatment, which was coated by spin coating. In contrast, the silica NPs were well coated on the hydrophilic surface after the KOH solution treatment. FE-SEM confirmed the selective pattern growth of silica NPs on a hydrophilic surface, which was functionalized using the micro-contact printing technique. If the characteristics of the selective pattern growth of silica NPs can be applied to dye-doped silica NPs, they will find applications in the bio imaging, and bio sensing fields.

The effect of Dy2O3 addition on crystal structure, grain growth, and dielectric properties in BaTiO3 (BaTiO3에서 Dy2O3 첨가가 결정구조, 입자성장 및 유전특성에 미치는 영향)

  • Ahn, Won-Gi;Choi, Moonhee;Kim, Minkee;Moon, Kyoung-Seok
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
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    • v.32 no.4
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    • pp.136-142
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    • 2022
  • The crystal structure, grain growth behavior, and dielectric properties of BaTiO3 have been studied with the addition of Dy2O3. The powders were synthesized at ratios of (100-x)BaTiO3-xDy2O3 (mol%, x = 0, 0.5, 1.0, 2.0) by a conventional solid-state synthesis, and the powder compacts were sintered at 1250℃ for 2 hours in air. As the amount of added Dy2O3 was increased, the crystal structure of the sintered samples changed from a tetragonal to a pseudo-cubic structure, and the tetragonality decreased. In addition, a secondary phase of Ba12Dy4.67Ti8O35 appeared when Dy2O3 was added. The average grain size after sintering decreased and abnormal grains appeared as the amount of Dy2O3 increased. It can be explained that the grain growth behavior of the Dy2O3 added-BaTiO3 occurs due to the two-dimensional nucleation and growth, and is governed by the interface reaction. Further, the correlation between crystal structure, microstructure, and dielectric properties was discussed.

Size-dependent Toxicity of Metal Oxide Particles on the Soil Microbial Community and Growth of Zea Mays (산화 금속 입자 크기가 옥수수의 성장과 토양 미생물 군집에 미치는 독성)

  • Kim, Sung-Hyun;Jung, Mi-Ae;Lee, In-Sook
    • Journal of Korean Society of Environmental Engineers
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    • v.31 no.12
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    • pp.1069-1074
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    • 2009
  • This study investigated soil microbial community and growth of Zea mays to compare the toxicity of nano and micro-sized Cu and Zn oxide particles in microcosm system. In the presence of nanoparticles, biomass of Zea mays reduced by 30% compared with micro-sized particles and inhibited growth. Dehydrogenase activity was inhibited by CuO nano although it was increased by ZnO nano particles. According to the Biolog test, the microbial diversity was decreased after exposed to CuO nanoparticles and ZnO microparticles. Therefore, though it is widely recognized that nanoparticles are more harmful than microparticles, we can conclude that the diversity of microbial community does not always influenced by the size of particles of nano and micro.

기지상 물질과의 결합특성이 금속입자의 성장 및 표면 플라즈몬 공진 특성에 미치는 영향

  • Kim, Yun-Ji;Lee, In-Gyu;Kim, Won-Mok;Lee, Gyeong-Seok
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2011.02a
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    • pp.426-426
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    • 2011
  • 최근 들어 금속물질을 나노미터 단위로 구성할 수 있는 기술이 진보하면서, 금속 나노입자에 의해 발생되는 표면 플라즈몬에 대해서도 다양한 분야의 관심이 집중되고 있다. 유전체 물질을 기지상으로 하는 금속:유전체 나노복합체에서 금속 나노입자는 자유전자들의 집단 진동인 국소표면 플라즈몬 공진(Localized Surface Plasmon Resonance, LSPR)현상에 의해 국부전기장을 증대 시키고, 가시광 및 적외선 영역에서 특성 광흡수 거동을 보인다. 이와 같은 광학적 특성은 금속 나노입자들의 크기, 형태, 그리고 나노입자들의 주변을 구성하는 기지상 물질의 종류에 의해 조절된다. 금속:유전체 나노복합체에 나타나는 이러한 특성은 단순장식코팅 뿐만 아니라 광의 효율적 운용과 광을 매개로 한 기능발현을 필요로 하는 디스플레이, 광학 스위칭 소재 및 태양전지의 효율 향상을 위한 광흡수층 등 매우 다양한 응용이 가능하다. 본 연구에서는 다양한 굴절률을 갖는 재료들 중, 저굴절률을 갖는 SiO2와 고굴절률을 갖는 ZnS-SiO2를 기지상 재료로 선택하여 교번증착 스퍼터링법으로 Ag와 Au입자를 형성시켰다. Ag를 금속나노입자로 갖고, SiO2와 ZnS-SiO2를 기지상으로 하는 금속:유전체 나노복합체에서는 금속나노입자 형성에 따른 뚜렷한 표면 플라즈몬 공진 광흡수 피크가 관찰된 반면 Au나노입자는 기지상에 따라 각기 다른 광흡수 특성을 나타냈는데, SiO2기지상에서 명확한 광흡수 피크를 형성했던 경우와는 달리 ZnS-SiO2기지상에서는 특정파장에서의 흡수피크로 규정되기 어려운 넓은 파장범위에 걸친 완만한 광흡수 피크를 나타냈다. TEM 분석을 통해, ZnS-SiO2 기지상 내의 Au입자는 각각 독립되어 있는 Island형태가 아닌 유전체 기지상과 대칭적으로 혼합된 네트워크 형태의 Bruggeman 기하구조를 구성하고 있음을 확인하였고, 이는 Au입자가 형성되고 성장할 때 Au와 S의 높은 결합에너지로 인해 상당한 젖음 특성을 갖고 성장하였기 때문으로 판단됐다. 따라서 나노복합체를 구성하는 물질간의 광학적 특성뿐만 아니라 기지상 내에서의 금속입자의 성장거동에 대한 연구가 수반되었을 때, 금속:유전체 나노복합체의 표면 플라즈몬 공진 광흡수 특성을 보다 정확하게 제어할 수 있다.

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