The Carrier Gas Effects on Selectivity and the Enhancement of Selectivity by Surface Passivation in Chemical Vapor Deposition of Copper Films (구리 박막의 선택적 화학기상 증착에 대한 운반 기체의 영향과 기판 표면 처리에 의한 선택성 증진 효과)
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- Korean Journal of Materials Research
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- v.7 no.9
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- pp.811-823
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- 1997