텅스텐 폴리사이드의 산화반응속도에 미치는 인 도핑 농도의 영향 $\Pi$
(Effects of Phosphorus Doping Concentration on the Oxidation Kinetics of Tungster Polycide ($\Pi$ ))
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- E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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- 제4권2호
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- pp.97-104
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- 1991