Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2013.08a
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pp.82.2-82.2
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2013
반도체 및 디스플레이 소자를 생산 하기 위하여 다양하고 많은 공정 기술이 사용 되며 그 중에서 플라즈마를 이용하는 제조공정이 차지 하는 부분은 상당한 부분을 차지 하고 있습니다. 전체 반도체 공정 중 48%가 진공공정이며, 진공공정 중 68% 이상이 플라즈마를 이용하고 있으며, 식각과 증착 장비 뿐만 아니라 세정과 이온증착 에 이르기 까지 다양하며 앞으로도 더욱 범위가 늘어 날 것으로 보입니다. 이러한 플라즈마를 이용한 제조 공정들은 제품의 생산성을 향상 하기 위하여 오염제어 기술을 비롯한 공정관리기술 그리고 고기능 센서기술을 이용한 공정 모니터링 및 제어 기술에 이르기 까지 다양한 기술들을 필요로 합니다. 플라즈마를 이용한 제조 장비는 RF파워모듈, 진공제어모듈, 공정가스제어모듈, 웨이퍼 및 글래스의 반송장치, 그리고 온도제어 모듈과 같이 다양한 장치의 집합체라 할 수 있습니다. 플라즈마의 생성과 이를 제어 하기 위한 기술은 제조장비의 국산화를 위한 부단한 노력의 결실로 많은 부분 기술이 축적되어 왔고 성과를 거두고 있습니다. 그러나 고기능 모니터링 센서 기술 개발은 그 동안 활발 하게 이루어져 오고 있지 않았으며 대부분 외산 기술에 의존해 왔습니다. 세계 반도체 시장은 현재 300 mm 웨이퍼 가공에서, 추후 450 mm 시장으로 패러다임이 변화될 예정이며, 미세화 공정이 더욱 진행 됨에 따라 반도체 제조사들의 관심사가 "성능 중심의 반도체 제조기술"로부터 "오류 최소를 통한 생산성 향상"에 더욱 주목 하고 있습니다. 공정미세화 및 웨이퍼 대구경화로 인해 실시간 복합 센서를 이용한 데이터 처리 알고리즘 및 자동화 소프트웨어의 기능이 탑재된 장비를 요구하고 있습니다. 주식회사 레인보우 코퍼레이션은 플라즈마 Chemistry상태를 정성 분석 가능한 OES (Optical Emission Spectroscopy)를 이용한 EPD System을 상용화 하여 고객사에 공급 중이며, 플라즈마의 광 신호를 실시간으로 고속 계측함과 동시에 최적화된 알고리즘을 이용하여 플라즈마의 이상 상태를 감지하며 이를 통하여 제조 공정 및 장비의 개선을 가능하게 하여 고객 제품의 생산성을 향상 하도록 하는 기술을 개발 하고 있습니다. 본 심포지엄에서는 주식회사 레인보우 코퍼레이션이 개발 중인 "실시간 고속 플라즈마 광 모니터링 기술" 의 개념을 소개하고, 제품의 응용 범위와 응용 방법에 대하여 설명을 하고자 합니다.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2014.02a
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pp.120.2-120.2
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2014
플라즈마 토치를 이용한 시료의 가스화용융 기술에 대하여 원리, 적용 분야, 그리고 현황에 대하여 소개한다. 플라즈마 토치는 아크방전이나 고주파에 의하여 상압 조건에서 기체를 열플라즈마로 만드는 장치이며, 산업적으로 대규모의 시료를 처리할 때는 주로 아크방전을 이용한 토치가 사용된다. 최근에는 이 플라즈마 토치가 주로 폐기물의 가스화 용융에 활용되고 있는데 이는 폐기물을 고온에서 처리할 경우 친환경적인 처리가 가능하며 경우에 따라서는 발생되는 합성가스를 이용하여 고효율로 전기를 생산할 수도 있기 때문이다. 또한 플라즈마 토치는 밀폐된 로에서 소량의 가스로 고온에서 동작할 수 있기 때문에 방사성폐기물이나 플럭스 등을 친환경적으로 용융하는 것이 가능하므로 이러한 적용 분야도 증가하고 있다. 이 발표에서는 플라즈마 토치기술과 이를 이용한 가스화/응용기술의 기본적인 소개와 함께 플라즈마 가스화용융기술을 이용한 폐기물의 가스화용융기술의 세계 현황과 국내현황, 그리고 GS플라텍의 기술 현황에 대하여 소개한다. 아울러 몇가지 구체적인 실제 플랜트를 소개하고 실제 가동 데이터와 상업적 운전 결과에 대하여도 소개하고자 한다.
The Proceeding of the Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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v.17
no.2
s.58
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pp.3-8
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2006
주파수 자원은 국가의 소중한 무형 자산으로써 무선 통신의 발전과 함께 주파수 자원의 가치가 더욱 커지고 있다. 과거에는 석유, 철강, 가스 및 석탄등이 국가의 중요한 자원이었으나 21세기의 정보화 사회에서는 주파수 자원이 그에 못지 않게 소중한 자산으로 인식되고 있다. 우리나라의 무선 통신 기술은 아날로그 세대인 1980년대까지는 매우 제한적으로 사용되었으나 1990년대 CDMA(Code Division Multiple Access) 이동 통신의 상용화 이후 비약적으로 발전하여 현재는 유비쿼터스 정보화 사회를 눈앞에 두고 있다. 그런데 유비쿼터스 정보화 사회에서는 주파수자원의 수요가 공급에 비하여 매우 많기 때문에 주파수 부족 현상이 심각하게 대두된다. 그러나 실제로 분배된 주파수의 이용 효율을 측정해보면 이의 이용효율이 평균적으로 30% 이하로 나타나고 있다([그림 1] 참조). 따라서 이용되지 않고 있는 주파수 자원을 효율적으로 이용할 수 있는 공유 기술을 개발하여 이를 이용한다면 주파수 자원의 부족 현상을 해결하는데 크게 기여할 것이다. 본 고 에서는 이와 같이 분배된 자원 중에서 사용효율이 낮거나 사용되지 않는 주파수 자원의 이용효율을 획기적으로 높이기 위한 기술로서 최근 각광을 받고 있는 CR(Cognitive Radio) 기술의 동향 및 응용에 대하여 기술한다.
이 내용은 일본의 '식품과 과학' 1989년 2월호에 게재되었던 '과즙 살균기술로서의 고압이용과 식품고압 처리장치의 현상과 금후의 전망' 및 식품산업 초고압 이용기술 연구조합 발행 프레스리리스(1991년 11월 27일자)의 '식품산업에 있어서의 초고압이용기술(새로운 기술개발의 성과)'에 수록된 내용을 발췌, 요약한 것으로써 관련 포장산업에 새로운 정보를 제공키 위하여 여기 싣는다.
악성코드 탐지기술에 대한 연구는 최근에도 지속적으로 진행되고 있다. 특히, 에뮬레이터나 가상머신을 이용한 악성행위 탐지기술은 사용자 시스템에 악영향을 미치지 않는 독립적인 공간에서 코드의 실행이 가능하며, 빠른 초기화가 가능하다는 장점으로 인해 최근에 이슈가 되고 있다. 본 논문에서는 최근의 에뮬레이터나 가상머신을 이용한 악성행위 탐지기술의 연구동향을 분석하고, 관련 기술의 발전방향을 제시하고자 한다.
정보통신 기술의 발전과 인터넷 이용 확산 등으로 사용자 인증이 중요한 문제로 대두되면서 타인에게 노출되거나 잊어버리는 등의 문제점이 있는 패스워드 또는 PIN을 이용한 사용자 인증 방법을 대체하거나 보완하기 위한 방법으로 개인의 고유한 생체정보를 이용한 사용자 인증 방법에 관한 연구가 진행되고 있다. 또한 컴퓨터 관련 기술의 발달로 32비트 CPU와 메모리 등을 내장한 IC 카드가 개발되면서 최근에는 생체정보를 이용한 사용자 인증 기술과 IC 카드와의 접목이 시도되고 있다. 즉, IC 카드를 이용한 생체인식 기술은 각 개인의 중요한 정보인 생체정보가 중앙컴퓨터에 저장되지 않고 개인이 소지하고 있는 IC 카드에 저장되고 사용자 인증도 IC 카드에서 수행하는 것이다. 본 고에서는 생체인증과 IC 카드에 관하여 알아보고 IC 카드를 이용한 생체인증 기술과 개발 현황에 대하여 설명한다.
Proceedings of the Korean Information Science Society Conference
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2001.10b
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pp.112-114
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2001
최근 인터넷 및 정보통신 기술이 급속하게 발달함에 따라서 네트워크를 기반으로 한 응용 소프트웨어 및 네트워크 관련 기술들이 많이 연구, 개발되고 있다. 이와 관련하여 과거 인공지능 분야에서 많이 연구되어 왔던 에이전트 기술이 최근의 네트워크 기술을 기반으로 하여 다시 활발한 연구가 진행되고 있다. 특히, 네트웍 상을 이동하면서 특정 사용자의 요구를 만족시키는 이동 에이전트 기술은 네트웍 응용시스템 개발에서 많이 이용되고 있는 기술이다. 본 논문에서는 이동 에이전트기술을 이용하여 가상 시장 환경 모델과 협상 시스템을 설계하고 그 구연 방법을 설명한다. 본 논문에서 기술하는 이동 에이전트 환경은 시장 에이전트, 호객 에이전트, 데이터베이스 에이전트로 크게 세 부분으로 나눈다.
The Proceeding of the Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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v.8
no.3
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pp.3-7
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1997
최근, 국민 경제의 발전과 다양한 전파이용 기술의 등장으로 전파통신은 비약적인 발전을 거듭하고 있다. 이에 따라 전파사용은 특정계층의 전유물이 아닌 일반 이용자에게까지 깊숙이 확산되고 있으며 그 이용률은 급신장 추세를 나타내고 있다. 그러나 전파통신에 필수적 요소인 주파수 자원은 이용기술의 한계로 인해 제약될 수 밖에 없으며, 그 결과보다 합리적이고 체계적인 자원 관리기법이 요구되고 있는 실정이다. 또한, 최근에는 다양한 전파이용 욕구가 증가되고 있으며 주파수 분배의 투명성과 공개에 대한 요구도 일어나고 있다. 따라서 정부에서는 이와 같은 전파이용 환경의 변화에 대처하고자 다양한 정책을 추진하고 있는바, 본고에서는 먼저 우리나라의 주파수 관리실태와 이용현황을 설명하고 각계의 다양한 욕구를 수용하기 위한 정부의 주파수 관리 정책방향에 대해 기술하고자 한다.
Kim, Youngho;Lee, Junseok;Park, Sangsung;Jang, Dongsik
Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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2018.07a
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pp.542-543
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2018
기존의 부상기술 예측은 주로 정성적으로 이루어졌으나, 이는 많은 비용이 요구된다. 이에 대안으로 개발된 기술의 다양한 정보를 포함하는 특허를 활용한 정량적 방법이 있다. 기존에 특허 출원 건수를 이용한 정량적 예측 방법은 적은 출원이 이루어지는 부상기술 특허를 파악하는데 어려움이 존재한다. 이를 해결하기 위해, 선행연구에서는 추세선의 기울기를 사용하여 부상기술을 예측하였다. 그러나 출원 건수가 많은 핵심기술의 기울기가 크게 도출되므로 여전히 부상기술 파악에 어려움이 존재한다. 본 논문에서는 기술들의 Patent Power를 이용하여 상기 문제를 해결하며, 연도별 Patent Power의 변화를 이용하여 기울기를 구하고 부상기술을 예측한다. 또한, 최다 출원인을 확인하고 경영전략을 제시한다. 실험으로는 AR 분야의 특허 중 USPTO에 공개된 특허만을 사용하며, 부상기술로는 G02B가 도출되었다.
In order to diversify energy source and to utilize it effectively, it requires to construct an integrated energy management system in a wide area. This research paper explores the core technology of network construction using wide area energy and applies the technology to the field. In specific, it examines the business model by developing l) construction technology of optimum integrated system for thermal supply on wide area network related IT technology, 2) technology of unutilized energy as heat pump using exhaust gas latent heat, and 3) thermal transportation and storage technology using various sources, and by evaluating the applicability and marketability of the model in the field.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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