• The Optical Journal
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• s.110
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• pp.36-37
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• 2007

세계 반도체 레이저마킹기 시장의 50% 이상을 장악하고 있는 이오테크닉스(대표.성규동)가 이번에는 장비 한 대에서 최대 4개의 레이저 빔을 동시 분사할 수 있는 멀티빔 레이저 마킹기를 세계 최초로 개발하며 다시 한번 저력을 유감없이 발휘했다. 이 회사는 1년간의 연구개발 과정을 거쳐 탄생한 멀티빔 레이저마킹기를 통해 반도체 이외에 휴대전화 등 일반소비재로 확대 적용하는 등 기존 반도체 시장에 이어 범용 마킹 분야로 진출할 수 있는 발판으로 삼을 예정이다.

• The Optical Journal
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• s.112
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• pp.33-35
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• 2007

(주)이오시스템(대표.이원승, www.eosystem.com)은 광학기기분야의 불모지나 다름없었던 1979년 설립(당시 한국광학기술개발(주))하여 국내 광학산업 기반을 개척한 기업 중 하나이다. 설립 당시부터 변함없이 '기술'중심회사를 표방하며 매진한 결과 광학설계.부품제조.완성품조립.신뢰성시험의 전 공정을 다 소화하는 회사로 성장했다. 특히 기술개발의 노력을 통해 1984년 방위산업체 지정에 이어 1986년 광학기술연구소 설립을 계기로 국내 전자광학장비 기술개발의 견인차 역할을 해왔으며, 50여명의 석.박사 연구원들의 맨 파워 성과가 첨단제품으로 실현되고 있다.

• Air Cleaning Technology
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• v.7 no.3 s.26
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• pp.24-37
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• 1994

• The Optical Journal
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• s.127
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• pp.48-48
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• 2010

• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2013.08a
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• pp.119-119
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• 2013

5년 동안 진행된 고진공 펌프 개발 사업의 일환으로 맥동관형 냉동기에 활성탄 어레이를 장착한 흡기구 직경 14인치 국산 크라이오펌프 완제품이 만들어졌다. 이미 지난해에 완성한 시제품을 가지고 모든 배기성능시험을 완료하고 목표를 뛰어 넘는 성능을 가지고 있음을 입증하였지만 완제품의 경우는 현장에서 스퍼터링 공정에 대한 신뢰성과 열적 내구성 시험이 중요한 항목으로 대두되었다. 개발된 펌프를 생산 공정에 직접 투입하는 모험을 하지 않으면서도 신뢰성을 확보하는 방편으로 카이스트 나노종합팹 센터에서 가동중인 스퍼터링 장비에 완제품을 달고 기존 공정과 같은 방식으로 장치를 운영하면서 외제 상용품을 사용했을 때와 진공성능 및 공정수율을 비교하는 시험을 수행하였다. 또 내구성 시험 항목으로 열부하 시험과 열 사이클 시험을 수행하였다. 열부하 시험은 300도까지 온도를 올릴 수 있는 열판을 펌프 흡기구 배플 앞에 설치하여, 냉동기 2차 냉각단 온도가 20 K 이하로 유지될 수 있는 최대 허용 복사열을 측정하는 방식으로 진행되었으며 열 사이클 시험은 크라이오 펌프의 활성화 기능을 활용하여 완전 활성화(full regen., 10K-300K-10K) 과정을 10회 연속 시행하여 펌프의 배기성능과 기계적 이상 유무를 관찰하였다.

• The Optical Journal
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• s.113
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• pp.42-43
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• 2008

• Photonics industry news
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• s.21
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• pp.18-19
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• 2004

• The Optical Journal
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• s.120
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• pp.54-55
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• 2009

• The Optical Journal
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• s.123
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• pp.57-57
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• 2009

• Korean Architects
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• s.485
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• pp.82-85
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• 2009