• Title/Summary/Keyword: 이송 테이블

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Real-time Measurement of Motion Errors Using Extended Twyman-Green Interferometry (확장 트와이만-그린 간섭계를 이용한 직선 운동오차의 실시간 측정)

  • 배은덕;오정석;김승우
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • 2003.02a
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    • pp.90-91
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    • 2003
  • 대부분의 가공기 혹은 측정기에 있어 이송테이블은 그 기능수행의 기본을 담당하고 있으며 이송테이블의 운동 정밀도와 고속화는 목표하는 정밀도와 생산성으로 직결된다. 종래에는 형상특성, 열변형 등의 계통 오차만을 오프라인(Off-line)으로 측정하고 소프트웨어적으로 보상하는 방법을 사용하였으나 초정밀 분야에서 요구되는 테이블의 운동정밀도는 기계적 강성한계를 넘는 정밀도이므로, 테이블 이송 시 발생하는 운동오차를 실시간으로 측정하고, 보상할 수 있는 온라인(On-line)개념의 능동형 보상이 필요하다. (중략)

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Position Tracking Control of a Moving Table Using ER Brake/Clutch (ER 브레이크 및 클러치를 이용한 이송 테이블의 위치추적제어)

  • Choi, S.B.;Lee, H.G.;Kim, S.L.;Cheong, C.C.;Han, M.S.
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.15 no.11
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    • pp.208-217
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    • 1998
  • 본 연구에서는 ER 브레이크와 ER클러치를 피드백작동기로 사용하여 이송테이블의 위치 추적제어를 수행하였다. 이를 위해 먼저 아라빅 검(arabic gum)계통의 ER유체를 자체조성한 후 전기장에 대한 빙햄(Bingham)모델을 실험적으로 도출하였다. 빙햄모델에 근거하여 평판형의 ER브레이크와 실린더형의 ER클러치를 설계 제작하였으며, 계단입력(step input)전기장에 따른 출력토오크특성을 통하여 이들 작동기의 동적모델을 얻었다. 이들 작동기와 연계된 이송테이블시스템의 운동지배방정식을 유도한 후 위치추적제어를 위한 슬라이딩모드제어기를 설계하였다. 제어기 설계시 이송해이블의 부하질량 변화에 대한 시스템 불확실성과 마찰력을 고려하여 제어성능의 강건성을 보장하도록 하였다. 제안된 제어시스템의 제어영역(control bandwidth)을 주파수 영역에서 고찰한 후 여러 레적에 대한 위치추적제어 실험을 수행하였다.

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광위상 간섭을 이용한 기계 이송축의 운동오차 측정 및 실시간 보상

  • 이형석;김승우
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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    • 1993.04b
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    • pp.204-207
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    • 1993
  • 현대는 급속히 발전하는 공업을 바탕으로 생산품의 고기능화, 고정도화, 고속화를 추구하고있다. 그중에서도 고정도화에 대항 요구는 초정밀 가공 분야의 경우 2000년대 초에는 수 nm 수준까지 도달할 것으로 예측된다. 현재 각 선진국에서는, 초정밀도의 형상 정밀도를 요구하는 대형 광학 부품들의 가공에대한 연구가 진행중이며, 이와 같은 연구에서 요구되는 가공 정밀도가 조만간 가공기의 강성한계에 도달할 것이다. 이와함께 초정밀 가공에 있어서, 이송 테이블의 운동오차는 심각한 문제로 대두되고 있으므로, 테이블의 운동오차의측정 및 실시간 보상에 대한 연구의 의미가 있을 것으로 생각된다. 본 연 구는 기계 이송 테이블의 기하학적 운동오차의 실시간보상(real-time correction)에 관한 것이다.

Development of Stacking and Transfer System for the Agile Fabrication (쾌속제작을 위한 적층 및 이송장치 개발)

  • 엄태준;주영철;민상현
    • Proceedings of the KAIS Fall Conference
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    • 2002.05a
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    • pp.55-58
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    • 2002
  • 본 논문은 쾌속제작법을 이용한 임의형상을 가공하는 새로운 방법의 개념을 소개하고 있다. 본 시스템은 레이저 절단, 이송, 적층, 소결의 단계를 통하여 세라믹재료로 된 임의형상을 가공할 수 있다. 시스템을 구성하는 주요장비로는 레이저발생장치, X-Y테이블, 이송시스템, 그리고 전기로 등이 있다. 이 시스템을 사공하면 표면의 거칠기가 매끄러운 형상을 상대적으로 짧은 시간에 제작할 수 있는 장점이 있다. 또, 2차 공정을 거치지 않고, 바로 물체를 제작할 수 있어 효율성이 높다고 할 수 있다. 제작된 모형은 바로 조립되어 사용할 수 있기 때문에 응용분야가 다양하다.

Improvement of Microstep Characteristics in Hydrostatic Table with Ballscrew (볼스크류로 구동되는 유정압테이블의 미소이송특성 향상)

  • 황주호;박천홍;이찬홍;이후상
    • Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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    • v.15 no.1
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    • pp.94-100
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    • 1998
  • Microstep characteristics largely depends on the variation of friction force induced by the geometric accuracy of ballscrew, guide rail and the control characteristics of servo unit. In this paper, for improving the microstep characteristics of hydrostatic table with ballscrew, microstep resolution according to the control mode of servo amplifier and response characteristic by the variation of integral gain are tested and compared. Relationship between micro motion behavior of hydrostatic table and the output torque is also tested for acquiring the effective variables on control characteristics. From the results. it is confirmed that the torque control mode has a advantage in microstep resolution, and more stable than velocity control mode in low feed rate, and by the increase of integral gain in the elastic motion realm, response characteristics can be improved.

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