• 제목/요약/키워드: 이미지 기반 오버레이

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웨이퍼 정렬을 위한 움직임 벡터 기반의 오버레이 계측 알고리즘 (Motion Vector Based Overlay Metrology Algorithm for Wafer Alignment)

  • 이현철;우호성
    • 정보처리학회논문지:소프트웨어 및 데이터공학
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    • 제12권3호
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    • pp.141-148
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    • 2023
  • 반도체 제품의 높은 수율을 달성하기 위해서는 정확한 오버레이 계측이 필수적이다. 오버레이 계측 성능은 오버레이 타깃 설계와 측정 방법에 많은 영향을 받는다. 따라서 오버레이 타깃은 성능 개선을 위해 다양한 타깃에 적용할 수 있는 측정 방법들이 요구된다. 본 연구는 이미지 기반의 오버레이를 측정할 수 있는 새로운 알고리즘을 제안한다. 제안하는 측정 알고리즘은 움직임 벡터를 이용하는 방법으로 서브 픽셀 단위의 위치를 추정할 수 있다. 움직임 벡터는 선택된 영역의 픽셀들을 이용하여 다항식 전개를 통해 2차 방정식의 모델을 생성한다. 그 후 모델을 이용하여 서브픽셀 단위의 위치를 추정할 수 있다. 움직임 벡터를 활용한 측정방법은 X축, Y축의 적층 오류를 각각 계산하는 기존 상관계수 기반의 측정방법과는 달리 한 번에 모든 방향의 적층 오류를 계산할 수 있다. 따라서 X축과 Y축의 관계를 반영하여 보다 정확한 오버레이 측정이 가능하다. 하지만 기존 상관계수 기반의 알고리즘보다 계산량이 증가하기 때문에 더 많은 연산시간이 사용될 수 있다. 본 연구에서는 기존 방법보다 개선된 알고리즘을 제시하는 것이 아닌 새로운 측정 방법의 방향을 제안하는 것에 목적을 두고 있다. 실험 결과를 통해 기존 방법과 유사한 정밀도의 측정 결과를 얻을 수 있음을 확인하였다.

지상파 DMB를 위한 스테레오스코픽 영상 서비스 (Stereoscopic Video Services for Terrestrial DMB)

  • 김용한
    • 방송공학회논문지
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    • 제14권1호
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    • pp.85-88
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    • 2009
  • DMB에서 MPEG-4 BIFS(Binary Format for Scenes) 기반 대화형 데이터 서비스를 스테레오스코픽(stereoscopic)하게 3D로 제공할 수 있는 "DMB 비디오 연동형 스테레오스코픽 데이터 서비스" 표준이 최근 TTA 단체 표준으로 제정되었다. 이는 바탕의 비디오 콘텐트 상에 오버레이되는 이미지 객체가 입체감을 갖고 돌출되게 함으로써, 시청자의 관심을 유도하여 서비스 활용도를 높일 수 있게 하기 위함이다. 본 논문에서는 이 표준의 배경과 제정 시 시행된 기술적 분석 및 심층적 고려 사항에 대해 설명하고, 표준 검증 결과 및 기존 지상파 DMB 수신기와의 상호운용성 시험 결과를 제시하였다.