• 정보처리학회논문지:소프트웨어 및 데이터공학
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• 제12권3호
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• pp.141-148
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• 2023

반도체 제품의 높은 수율을 달성하기 위해서는 정확한 오버레이 계측이 필수적이다. 오버레이 계측 성능은 오버레이 타깃 설계와 측정 방법에 많은 영향을 받는다. 따라서 오버레이 타깃은 성능 개선을 위해 다양한 타깃에 적용할 수 있는 측정 방법들이 요구된다. 본 연구는 이미지 기반의 오버레이를 측정할 수 있는 새로운 알고리즘을 제안한다. 제안하는 측정 알고리즘은 움직임 벡터를 이용하는 방법으로 서브 픽셀 단위의 위치를 추정할 수 있다. 움직임 벡터는 선택된 영역의 픽셀들을 이용하여 다항식 전개를 통해 2차 방정식의 모델을 생성한다. 그 후 모델을 이용하여 서브픽셀 단위의 위치를 추정할 수 있다. 움직임 벡터를 활용한 측정방법은 X축, Y축의 적층 오류를 각각 계산하는 기존 상관계수 기반의 측정방법과는 달리 한 번에 모든 방향의 적층 오류를 계산할 수 있다. 따라서 X축과 Y축의 관계를 반영하여 보다 정확한 오버레이 측정이 가능하다. 하지만 기존 상관계수 기반의 알고리즘보다 계산량이 증가하기 때문에 더 많은 연산시간이 사용될 수 있다. 본 연구에서는 기존 방법보다 개선된 알고리즘을 제시하는 것이 아닌 새로운 측정 방법의 방향을 제안하는 것에 목적을 두고 있다. 실험 결과를 통해 기존 방법과 유사한 정밀도의 측정 결과를 얻을 수 있음을 확인하였다.

• 방송공학회논문지
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• 제14권1호
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• pp.85-88
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• 2009

DMB에서 MPEG-4 BIFS(Binary Format for Scenes) 기반 대화형 데이터 서비스를 스테레오스코픽(stereoscopic)하게 3D로 제공할 수 있는 "DMB 비디오 연동형 스테레오스코픽 데이터 서비스" 표준이 최근 TTA 단체 표준으로 제정되었다. 이는 바탕의 비디오 콘텐트 상에 오버레이되는 이미지 객체가 입체감을 갖고 돌출되게 함으로써, 시청자의 관심을 유도하여 서비스 활용도를 높일 수 있게 하기 위함이다. 본 논문에서는 이 표준의 배경과 제정 시 시행된 기술적 분석 및 심층적 고려 사항에 대해 설명하고, 표준 검증 결과 및 기존 지상파 DMB 수신기와의 상호운용성 시험 결과를 제시하였다.