• 제목/요약/키워드: 음이온 분포

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유도 결합 산소 플라즈마에서 고조화파 분석법을 이용한 음이온 공간 분포 측정

  • 황혜주;김유신;김영철;박일서;정진욱
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.562-562
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    • 2013
  • 산소 플라즈마는 음이온을 발생시키는 음전성 플라즈마로서 감광제 세정이나 금속, 폴리실리콘 등의 식각을 위해 할로겐 가스와 혼합하여 반도체나 디스플레이 공정에 광범위하게 사용되고 있다. 산소 플라즈마는 아르곤 플라즈마와 그 특성이 상이하고, 다량의 음이온이 국부적으로 만들어지므로 음이온의 공간분포 진단이 중요하다. 본 연구에서는 평판형 부유형 탐침에 고조화파 분석법을 적용하여 양이온의 밀도를 구하고, 직류 차단 커패시터를 제거하여 접지전위에서 전자 전류 측정을 통하여 위치에 따른 전자의 상대적인 공간 분포를 얻었다. 이러한 방법으로 측정된 양이온과 전자의 공간 분포로부터 음이온의 공간 분포를 구할 수 있었다. 가스 압력, 산소 첨가량, 인가 전력 등 여러 조건에서 측정된 음이온의 분포는 이론적인 경향성과 유사함을 확인할 수 있었다.

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도로와의 거리에 따른 도시 근린공원의 음이온 농도 분포차이 - 서울시 양재 시민의 숲을 대상으로 - (Distribution of Negative Air Ion Concentration in Urban Neighborhood Park by Distance to Road - A Case of Yangjae Citizen's Forest, Seoul -)

  • 이현진;이동근;김보미
    • 환경영향평가
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    • 제27권2호
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    • pp.152-169
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    • 2018
  • 인간의 건강에 긍정적 영향을 미치는 음이온을 평가인자로 설정하고, 서울시 서초구 양재 시민의 숲을 대상으로 대기 중 음이온 농도 분포차이에 미치는 인접도로의 영향을 분석하였다. 대기 중 음이온, 양이온 농도와 대기온도, 상대습도, 풍속의 기상요소, 녹지용적계수(GVZ), 고속도로 및 일반도로로부터의 거리를 측정하였다. 그 결과, 고속도로 및 일반도로와 인접한 도로의 영향권에서는 평균 대기 중 음이온 농도가 $206ea/cm^3$, 대기 중 양이온 농도가 $416ea/cm^3$ 이었으며, 공원 내부지역인 도로의 비영향권에서는 평균 대기 중 음이온이 $339ea/cm^3$, 대기 중 양이온이 $229ea/cm^3$로 도로의 영향권 여부에 따른 대기 중 음이온 농도 차이가 통계적으로 유의한 것으로 분석되었다. 또한, 영향요인들과의 상관분석을 종합하여 음이온 농도모델을 제시하였으며 도로의 영향 요소를 추가함으로써 모델의 설명력이 높아진 것으로 나타났다.

제주지역의 대기질 중의 음이온 및 양이온의 분포와 변이성 (Daily Variation and Distribution of Anions and Cations in the Aerosols of Jeju Island)

  • 신방식;이형환;이근광
    • 한국자연치유학회지
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    • 제7권1호
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    • pp.10-19
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    • 2018
  • 본 연구는 제주의 휴양림 지역을 중심으로 16개 지점을 정해서 일간 별에 따른 대기질 중의 음이온과 양이온수를 측정하여 그 분포와 변이에 대한 연구가 목적이었다. 측정 평균수의 범위는 제일 낮은 제주시 4449.35 ions/cm3, 제일 높은 천지연폭포는 3471.25 ions/cm3 의 범주로 나타났다. 순서로 보면, 제일 낮은 제주시< 함덕 < 1100 m < 농장 < 교래A < 사려니 < 절물 < 교래B < 거문오름 < 제주시< 한라 숲길 < 한라산 수목원 < 성판악 < 동백산 < 정방 < 원양< 천지연 순이었다. 고도순으로 측정치의 음이온 본 연구는 제주의 휴양림 지역을 중심으로 16개 지점을 정해서 일간 별에 따른 대기질 중의 음이온과 양이온수를 측정하여 그 분포와 변이에 대한 연구가 목적이었다. 측정 평균수의 범위는 제일 낮은 제주시 4449.35 ions/cm3, 제일 높은 천지연폭포는 3471.25 ions/cm3의 범주로 나타났다. 순서로 보면, 제일 낮은 제주시< 함덕 < 1100 m < 농장 < 교래A < 사려니 < 절물 < 교래B < 거문오름 < 제주시< 한라 숲길 < 한라산 수목원 < 성판악 < 동백산 < 정방 < 원양 < 천지연 순이었다. 고도순으로 측정치의 음이온수치 함량의 차이를 일정하게 차이를 보이지는 않았으나, 통계적으로는 유의한 차이(p<.001)가 있었다. 양이온 평균수가 낮은 천지연폭포는 90 ions/cm3, 제일 높게 나타난 한라산 수목원의 수는 729.8 ions/cm3이었으며, 그 차이는 729.8 ions/cm3로 높게 나타났다. 높은 순서로 보면 제일 낮은 천지연 < 1100 m < 동백산 < 제주시 < 사려니 < 원양 < 성판악 < 함덕 < 정방 < 교래B < 절물 < 농장 < 교래A < 한라산 숲길 < 거문오름 < 한라수목원 순으로 측정되었다. 음양이온 모두 지형적으로 낮은 지대와 높은 지역은 함량이 낮게 측정되었다. 음이온과 양이온 및 고도의 분산분석에서 측정지역 간의 함량차이는 모두 유의성이 있었고, 또한 음이온과 양이온의 함량차이도 유의성이 있었으며, 고도와의 차이도 모두 유의성이 있었다. 상기의 음이온, 양이온 함량과 고도와의 요인간의 상관관계분석에서도 정적인 상관관계가 유의하게 나타났다(r=.396, p<001). 결론적으로 본 연구는 제주도 지역의 곶자왈 대기질 중의 이온의 분포에 대한 기초 연구로서 삼림욕을 통한 건강관리에 중요한 정보를 제공하고 있다. 수치함량의 차이를 일정하게 차이를 보이지는 않았으나, 통계적으로는 유의한 차이(p<.001)가 있었다. 양이온 평균수가 낮은 천지연폭포는 90 ions/cm3, 제일 높게 나타난 한라산 수목원의 수는 729.8 ions/cm3 이었으며, 그 차이는 729.8 ions/cm3 로 높게 나타났다. 높은 순서로 보면 제일 낮은 천지연 < 1100 m < 동백산 < 제주시 < 사려니 < 원양 < 성판악 < 함덕 < 정방 < 교래B < 절물 < 농장 < 교래A < 한라산 숲길 < 거문오름 < 한라수목원 순으로 측정되었다. 음양이온 모두 지형적으로 낮은 지대와 높은 지역은 함량이 낮게 측정되었다. 음이온과 양이온 및 고도의 분산분석에서 측정지역 간의 함량차이는 모두 유의성이 있었고, 또한 음이온과 양이온의 함량 차이도 유의성이 있었으며, 고도와의 차이도 모두 유의성이 있었다. 상기의 음이온, 양이온 함량과 고도와의 요인간의 상관관계분석에서도 정적인 상관관계가 유의하게 나타났다(r=.396, p<001). 결론적으로 본 연구는 제주도 지역의 곶자왈 대기질 중의 이온의 분포에 대한 기초 연구로서 삼림욕을 통한 건강관리에 중요한 정보를 제공하고 있다.

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유도 결합 플라즈마에서 웨이퍼 표면의 부유 전위 공간분포 측정

  • 장애선;박지환;김진용;김유신;정진욱
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.142.1-142.1
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    • 2015
  • 웨이퍼 표면에서 부유 전위 분포를 측정하기 위해서 웨이퍼형 탐침 배열을 제작하고 측정회로를 만들었다. 아르곤 플라즈마의 경우 낮은 압력에서 부유 전위의 분포는 중심에서 최대값을 갖는 포물선 형태로 나타났다. 하지만 음이온 가스의 압력이 증가함에 따라 부유 전위의 분포가 현저하게 변화했다. 가스 압력이 높아짐에 따라 비국부적이었던 플라즈마의 방전 특성이 국부적으로 변화했기 때문이다. 이외에도 음이온도 부유 전위의 분포를 변화시킬 수 있음을 확인하였다. 이 연구는 반도체 제조 공정에서 웨이퍼 표면에서 전하 축적에 의한 손상을 이해하는데 도움이 될 것으로 기대된다.

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몰리브덴의 용액화학 (Aqueous Chemistry of Molybdenum)

  • 이만승;최승훈
    • 자원리싸이클링
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    • 제27권4호
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    • pp.44-49
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    • 2018
  • 몰리브덴은 알칼리용액에서는 $MoO{_4}^{2-}$로 존재한다. 수용액의 pH 2와 6 사이의 범위에서는 $MoO{_4}^{2-}$와 수소이온간의 축중합반응에 의해 다양한 동종다중음이온이 형성된다. 몰리브덴용액의 pH가 2 이하의 범위에서는 동종다중양이온이 형성되나 무기산의 농도가 증가함에 따라 무기산의 음이온과 반응하여 이종다중음이온이 형성된다. pH 6 이하의 용액에서 몰리브덴의 농도분포는 몰리브덴과 무기산의 종류와 농도에 의존한다. 따라서 용매추출과 이온교환자료를 해석하기 위해서는 강산용액에서 몰리브덴 화학종을 규명할 필요가 있다.

수전해 시스템에 적용하기 위한 상용 음이온교환막의 특성평가 (Evaluation of Commercial Anion Exchange Membrane for the application to Water Electrolysis)

  • 박준호;임광섭;남상용
    • 멤브레인
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    • 제32권6호
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    • pp.496-513
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    • 2022
  • 본 연구에서는 음이온 교환막 수전해 시스템에 적용가능성을 확인하고자 상용 음이온 교환막인 FAA-3-50, Neosepta-ASE, Sustainion grade T, Fujifilm type 10의 관련 물성을 평가하였다. 음이온교환막을 이용하는 특성상 음이온교환기의 확인을 위하여 SEM/EDX를 이용하여 상용막의 모폴로지와 표면의 원소를 분석하여 상용막이 포함하고 있는 작용기의 분포를 확인하였다. 또한, UTM과 TGA를 이용하여 기계적 강도 및 열분해온도를 측정하여 수전해의 구동조건을 만족하는지 확인하였다. 음이온 교환막으로서의 성능을 파악하기 위하여 중요한 특성인 이온교환용량과 이온전도도를 측정하였으며, 알칼리 환경에서 구동되기 때문에 각각의 상용막의 내알칼리성을 확인하기 위한 내구성 테스트를 진행하여 비교하였다. 최종적으로 막-전극 접합체를 제조하여 수전해 single cell test를 진행하여 60℃, 70℃, 80℃의 온도 조건에서 cell 성능을 확인하였고 장기 cell test로 다른 온도에서 20 cycle 측정하여 수전해 성능을 비교하여 상용막의 음이온 교환막 수전해에 적용가능성을 비교하여 확인하였다.

제주도 교래휴양림 지역의 대기질의 음이온 및 양이온의 분포와 변이성 (Variation and Distribution of Anions and Cations in the Aerosols of Gyorae Forests in Jeju Island)

  • 신방식;임동호;이근광
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제19권7호
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    • pp.384-395
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    • 2018
  • 본 연구는 교래자연휴양림 지역을 A와 B 지역으로 나누어서 대기질의 음이온과 양이온수를 측정하여 일별 그 분포와 변이에 대한 연구가 목적이었다. 이온수 측정은 이온수 측정기로 2017년 6월 28일-7월 13일 사이에 실시하였다. A지역의 5개 지점의 전체 평균 음이온수는 $734.5ions/cm^3$, 양이온 수는 $463.3ions/cm^3$, 대기온도는 $25.51^{\circ}C$, 습도는 81.6%, 풍속은 0.28 m/sec, 해발 고도는 455.7 m 이었다. B지역의 4개 지역 전체 측정한 평균 음이온수는 $780ions/cm^3$, 양이온수는 $379.55ions/cm^3$, 대기온도는 $27.6^{\circ}C$, 습도는 80%, 풍속은 0.1 m/sec, 측정지역의 해발고도는 477 m 이었다. 교래지역 A와 B전체의 음이온수의 평균치는 $757.5ions/cm^3$, 양이온수의 평균치는 $419.41ions/cm^3$이었다. 이온의수는 시간별로 측정별로 변이성이 높았다. 음이온수가 양이온수보다 평균 $275.73ions/cm^3$ 만큼 더 높게 유지되었다. A와 B점의 음이온과 양이온수의 측정치를 Pearson 분산분석에서는 음이온 측정지점별 및 측정지점 내의 분석이 유의하게 나타났으며(p<.001), 양이온의 측정지점별 및 측정지점 내의 분석에서도 유의하게 나타났다(p<.001). 음이온과 양이온수의 지역별 평균측정치 간의 상관관계분석에 서 r=.386으로 유의한 정적인 상관관계가 있었다(p<.001). 결론적으로 상기 음이온과 양이온 함량의 시간적 분포와 변이를 나타낸 결과는 교래자연휴양림의 대기질의 성분과 변화에 대한 기초정보를 제공하고 있다고 본다.

음이온성 및 비이온성 계면활성제 혼합물의 Thin Layer Chromatography에 의한 분리 (Separation of Mixtures for Anionic and Nonionic Surfactants by Thin Layer Chromatography)

  • 김태성;이재덕;윤여경
    • 공업화학
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    • 제1권2호
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    • pp.249-255
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    • 1990
  • Thin layer chromatography를 사용하여 음이온성 및 비이온성 계면활성제의 신속한 분리 및 정성분석에 필요한 용매조건들을 조사하였다. 알킬사슬의 종류와 alkylene oxide의 분포에 따른 분리특성을 이용하여 polyoxyalkylene 계 비이온성 계면활성제들을 간단히 정성 분석 할 수 있었으며, densitometer를 사용하여 polyoxyethylenated nonyl phenol의 ethylene oxide(EO)에 따른 분포를 쉽게 비교할 수 있었다. 일련의 음이온성 계면활성제들을 $R_f$ 값과 발색되는 색으로 정성분석하였으며, 음이온성 및 비이온성 계면활성제 혼합물을 각각 분리하였다. 지방산계 계면활성제를 diester, monoester 및 미반응된 polyethylene glycol의 세 부분으로 농축 분리하여 그 혼합비율을 구하였다. 이상의 모든 실험은 전개용매를 80mm정도 전개시킨 상태에서 이루어졌고 분리에 걸린 시간은 13-20분 정도였다.

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