• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2010.08a
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• pp.191-192
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• 2010

높은 유전상수를 가지는 터널 장벽물질 들은 플래쉬메모리 및 나노 부유게이트 메모리 소자에서 터널의 두께 및 밴드갭 구조의 변형을 통하여 단일층의 $SiO_2$ 터널장벽에 비하여 동작속도를 향상시키고 누설전류를 줄이며 전하보존 특성을 높여줄 수 있다.[1-3] 본 연구에서는 $Al_2O_3/HfO/Al_2O_3$구조의 고 유전체 터널장벽을 사용하여 $WSi_2$ 나노입자를 가지게 되는 metal-oxide-semiconductor(MOS)구조의 커패시터를 제작하여 전기적인 특성을 확인하였다. p형 (100) Si기판 위에 $Al_2O_3/HfO/Al_2O_3$ (AHA)의 터널장벽구조를 원자층 단일 증착법을 이용하여 $350^{\circ}C$에서 각각 2 nm/1 nm/3 nm 두께로 증착시킨 다음, $WSi_2$ 나노입자를 제작하기 위하여 얇은 $WSi_2$ 박막을 마그네트론 스퍼터링법으로 3 - 4 nm의 두께로 증착시켰다. 그 후 $N_2$분위기에서 급속열처리 장치로 $900^{\circ}C$에서 1분간의 열처리과정을 통하여 AHA로 이루어진 터널 장벽위에 $WSi_2$ 나노입자들이 형성할 수 있었다. 그리고 초 고진공 마그네트론 스퍼터링장치로 $SiO_2$ 컨트롤 절연막을 20 nm 증착하고, 마지막으로 열 증기로 200 nm의 알루미늄 게이트 전극을 증착하여 소자를 완성하였다. 그림 1은 AHA 터널장벽을 이용한 $WSi_2$ 나노 부유게이트 커패시터 구조의 1-MHz 전기용량-전압 특성을 보여준다. 여기서, ${\pm}3\;V$에서 ${\pm}9\;V$까지 게이트전압을 점차적으로 증가시켰을 때 메모리창은 최대 4.6 V로 나타났다. 따라서 AHA의 고 유전체 터널층을 가지는 $WSi_2$ 나노입자 커패시터 구조가 차세대 비 휘발성 메모리로서 충분히 사용가능함을 보였다.

• Ceramist
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• v.12 no.3
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• pp.98-107
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• 2009

• Air Cleaning Technology
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• v.20 no.1 s.76
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• pp.57-65
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• 2007

• Electrical & Electronic Materials
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• v.17 no.4
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• pp.32-39
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• 2004

차세대 신기술로 부상하고 있는 나노바이오 기술(Nano-Bio Technology)은 10억분의 1이라는 정밀도를 바탕으로 원자나 분자를 조작해 새로운 물질을 만들고 시스템을 창조하는 나노기술(Nanotechnology : NT)과 생명현상을 연구 대상으로 하는 바이오 기술 (Biotechnology : BT)이 융합된 분야이다. 근본적으로 무기물을 다루는 NT와 생명체를 다루는 BT가 융합할 수 있는 것은 BT의 궁극적인 연구대상인 DNA, RNA, 단백질의 크기가 수 나노미터로 NT의 연구대상의 크기와 동일하다는 데에 있다.(중략)

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2012.05a
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• pp.243-244
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• 2012

산화아연 나노구조를 금을 금속촉매로 사용하여 실리콘 기판위에 기상이동법으로 성장하였다. 성장할 때 소스(source)와 기판 사이의 거리는 5에서 50 mm로 변화를 주며 아르곤과 산소 분위기에서 $900^{\circ}C$로 성장하였다. 산화아연 나노구조의 구조적 및 광학적 특성을 조사하기 위해 field-emission scanning electron microscopy, X-ray diffraction (XRD), 그리고 photoluminescence (PL)를 이용하였다. 산화아연 나노구조는 나노선과 나노입자의 형태로 성장하였다. 산화아연 나노구조의 광학적 특성은 소스와 기판사이의 거리가 가까울수록 향상되었다. 특히, 소스와 기판사이의 거리가 5 mm 일 때, 산화아연 나노선이 관찰되었으며 XRD 와 PL 분석에서 나타난 반가폭 (full width at half maximum)은 $0.061^{\circ}$ 와 96 meV로써 가장 작았다. 산화아연 나노선은 산화아연 나노입자와 비교하여, 결정성 및 광학적 특성이 우수하였다.

• Polymer(Korea)
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• v.37 no.4
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• pp.462-469
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• 2013

Catechin (CTEC) is well-known as a very powerful antioxidant, containing the effects of anti-inflammation and skin wound healing. In this study, CTEC/${\beta}$-cyclodextrin (${\beta}$-CD) nanoparticles were incorporated into poly(vinyl alcohol) (PVA)/pectin (PT) hydrogel. The composite was designed for the induction of re-epithelializaton in skin wound. CTEC/${\beta}$-CD nanoparticles were prepared by a molecular complex method. The size of the CTEC nanoparticles formed in the hydrogel was in the range of $250{\pm}17.5$ nm. The incorporation efficiency of CTEC in the nanoparticles was 74%. The cumulative amounts of CTEC released from the hydrogel containing CTEC nanoparticles in the buffers of pH7.4 and 5.5 were $86.51{\pm}3.14%$ and $35.95{\pm}2.14%$ of total CTEC loaded in the hydrogel within 72 h, respectively. Also, in the wound healing test, the CTEC nanoparticles-loaded PVA/PT hydrogel showed faster healing of the wound made in rat dorsum than the CTEC gel.

• Applied Chemistry for Engineering
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• v.18 no.4
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• pp.396-399
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• 2007

In present work, the anti-bacterial effect of silver/activated carbon (Ag/C) composites prepared by the ${\gamma}$-irradiation of $AgNO_3$ solution on Escherichia coli (E. coli) has been studied. Characteristics of the Ag/C composites were identified by scanning electron microscopy (SEM), X-ray diffraction (XRD) and atomic absorption spectroscopy (AAS). The inhibitory concentration of E. coli was found to be 0.387 ppm and the sterilizing concentration for the tested organism was 1.017 ppm. These results support the evidence that Ag/C composites have strong antibacterial activity to E. coli.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 2009.06a
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• pp.933-934
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• 2009

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2007.07a
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• pp.105-106
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• 2007

• Proceedings of the Korean Environmental Sciences Society Conference
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• 2018.10a
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• pp.83-83
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• 2018