• 제목/요약/키워드: 유사 투과타원상수

검색결과 2건 처리시간 0.015초

유사 투과타원상수의 극좌표상 자취에 기반한 단축 이방성 기층의 복굴절 해석 (Birefringence Analysis of a Uniaxially Anisotropic Substrate Based on the Trajectory of the Transmission Ellipsometric Pseudoconstant in Polar Coordinates)

  • 양성모;김상열
    • 한국광학회지
    • /
    • 제30권4호
    • /
    • pp.159-166
    • /
    • 2019
  • PET와 같은 단축 이방성 기층의 유사 투과타원상수 ${\rho}=tan{\psi}_{\mu}e^{i{\Delta}_{\mu}}$는 광축의 방위각이 고정되어 있을 때 위상지연각이 변함에 따라 극좌표계에서 원을 그린다. 이 원의 반지름과 중심의 좌표는 광축의 방위각에 의해 결정되지만 항상 좌표점 (1,0)을 지나며 원의 중심은 실수축 상에 있다. 단축 이방성 기층의 유사 투과타원상수가 극좌표에서 그리는 자취의 이러한 특성들을 해석적으로 확인하고 이 특성들을 이용하여 측정된 투과타원상수로부터 단축 이방성 기층의 광축의 방위각과 위상지연각을 결정하는 간단한 표현들을 제시하고 실제 PET 시료의 이방성 분석에 잘 적용됨을 보였다.

반사 타원법과 투과율 분석법을 사용한 반투명 기층 위 매우 약한 광흡수 박막의 두께와 복소굴절률 정밀 결정 (Precise Determination of the Complex Refractive Index and Thickness of a Very Weakly Absorbing Thin Film on a Semi-transparent Substrate Using Reflection Ellipsometry and Transmittance Analysis)

  • 김상열
    • 한국광학회지
    • /
    • 제35권1호
    • /
    • pp.1-8
    • /
    • 2024
  • 유리기층에 코팅되어 있는 박막의 광학상수를 정확하게 분석하기 위해, 반투명 기층 위에 다층박막이 코팅되어 있는 시료의 유사 투과타원 상수 표현과 투과율 표현을 구체적으로 제시하였다. 두꺼운 기층에서 일어나는 다중반사로 인한 빛의 세기를 결맞지 않도록 중첩하는 동시에, 반투명 기층의 광흡수 영역에서 기층의 흡수를 정확하게 반영함으로써 다층박막이 코팅된 반투명 기층 시료의 정확한 모델링 분석이 가능하게 하였다. 흡광도가 매우 낮은 파장대역에서 투과율 측정에 기반한 분석과 타원법에 기반한 모델링 분석 방법이 가지는 박막의 소광계수의 차이를 투과율의 민감도와 타원상수의 민감도 분석을 통하여 비교 분석하였다. 투과율 분석법과 반사 타원법을 SiN 박막이 코팅된 유리기층 시료에 적용함으로써 소광계수가 매우 작을 때에도 SiN 박막의 복소굴절률과 두께를 정확하게 결정할 수 있음을 보였다.