• Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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• 2000.02a
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• pp.107-107
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• 2000

최근 반도체 소자의 고집적화 및 대용량화의 경향에 다라 MOSFET 소자 제작에 이동되는 게이트 산화막의 두께가 수 nm 정도까지 점점 얇아지는 추세이고 Giga-DRAM급 차세대 UNSI소자를 제작하기 위해 5nm이하의 게이트 절연막이 요구된다. 이런 절연막의 두께감소는 게이트 정전용량을 증가시켜 트랜지스터의 속도를 빠르게 하며, 동시에 저전압동작을 가능하게 하기 때문에 게이트 산화막의 두께는 MOS공정세대가 진행되어감에 따라 계속 감소할 것이다. 따라서 절연막 두께는 소자의 동작 특성을 결정하는 중요한 요소이므로 이에 대한 정확한 평가 방법의 확보는 공정 control 측면에서 필수적이다. 그러나, 절연막의 두께가 작아지면서 게이트 산화막과 crystalline siliconrksm이 계면효과가 박막의 두께에 심각한 영향을 주기 때문에 정확한 두께 계측이 어렵고 계측방법에 따라서 두께 계측의 차이가 난다. 따라서 차세대 반도체 소자의 개발 및 양산 체계를 확립하기 위해서는 산화막의 두께가 10nm보다 작은 1nm-5nm 수준의 박막 시료에 대한 두께 계측 방법이 확립이 되어야 한다. 따라서, 본 연구에서는 습식 산화 공정으로 제작된 3nm-7nm 의 게이트 절연막을 현재까지 알려진 다양한 두께 평가방법을 비교 연구하였다. 절연막을 MEIS (Medim Energy Ion Scattering), 0.015nm의 고감도를 가지는 SE (Spectroscopic Ellipsometry), XPS, 고분해능 전자현미경 (TEM)을 이용하여 측정 비교하였다. 또한 polysilicon gate를 가지는 MOS capacitor를 제작하여 소자의 Capacitance-Voltage 및 Current-Voltage를 측정하여 절연막 두께를 계산하여 가장 좋은 두께 계측 방법을 찾고자 한다.다. 마이크로스트립 링 공진기는 링의 원주길이가 전자기파 파장길이의 정수배가 되면 공진이 일어나는 구조이다. Fused quartz를 기판으로 하여 증착압력을 변수로 하여 TiO2 박막을 증착하였다. 그리고 그 위에 은 (silver)을 사용하여 링 패턴을 형성하였다. 이와 같이 공진기를 제작하여 network analyzer (HP 8510C)로 마이크로파 대역에서의 공진특서을 측정하였다. 공진특성으로부터 전체 품질계수와 유효유전율, 그리고 TiO2 박막의 품질계수를 얻어내었다. 측정결과 rutile에서 anatase로 박막의 상이 변할수록 유전율은 감소하고 유전손실은 증가하는 결과를 나타내었다.의 성장률이 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 둔화됨을 볼 수 있다. 또한 Silane 가스량이 적어지는 영역에서는 가스량의 감소에 의해 성장속도가 줄어들어 성장률이 Silane가스량에 의해 지배됨을 볼 수 있다. UV-VIS spectrophotometer에 의한 비정질 SiC 박막의 투과도와 파장과의 관계에 있어 유리를 기판으로 사용했으므로 유리의투과도를 감안했으며, 유리에 대한 상대적인 비율 관계로 투과도를 나타냈었다. 또한 비저질 SiC 박막의 흡수계수는 Ellipsometry에 의해 측정된 Δ과 Ψ값을 이용하여 시뮬레이션한 결과로 비정질 SiC 박막의 두께를 이용하여 구하였다. 또한 Tauc Plot을 통해 박막의 optical band gap을 2.6~3.7eV로 조절할 수 있었다. 20$0^{\circ}C$이상으로 증가시켜도 광투과율은 큰 변화를 나타내지 않았다.부터 전분-지질복합제의 형성 촉진이 시사되었다.이것으로 인하여 호화억제에 의한 노화 방지효과가 기대되었지만 실제로 빵의 노화는 현저히 진행되었다

• Proceedings of the Korean Environmental Sciences Society Conference
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• 2003.05a
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• pp.117-121
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• 2003

SBR과 SBBR 모두 대부분의 유기물은 포기기간에 소모되었으며, SBBR의 경우 부족한 유기물 조건에서도 원활한 탈질화 반응이 일어난 것을 볼 때, 유기물 농도가 낮은 우리나라의 하수에 적합한 공정으로 생각된다. 질산화 속도에 있어서는 유기물과 용존산소의 접촉기회에 있어 유리한 조건을 가진 SBR이 더 크게 나타났다. 그러나 탈질화 반응에 있어서는 SBBR이 더 높은 것으로 나타났다. SBR의 경우 높은 $NO_3$의 존재로 인해 1차 비포기 기간중 인의 방출은 거의 발생하지 않았으나, SBBR의 경우 1차 비포기 기간에 인 방출과 1차 포기기간에 인 섭취가 일어났다.

• Defense and Technology
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• no.5 s.279
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• pp.56-69
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• 2002

방산 선진국에 비하여 상대적으로 기술적 능력이 미흡한 우리 나라는 무기체계의 공동연구개발협상에서 이들 국가보다 지위가 유리하다고는 볼 수 없다. 정책방향과 사업추진 발전방안 등에 대한 분명한 인식과 논리를 갖고 사업을 수행한다면 국가 이익을 확보하는 데 기여할 것으로 사료된다. 국제협력연구개발에 대한 발전방안을 보다 체계적으로 분석하기 위해서는 선진국의 사례에 대한 양해각서, 계약서, 결과에 대한 원천자료 혹은 체계적인 분석자료를 획득하여 이에 대한 문헌연구와 병행하여 국내의 기술협력사업에 관한 양해각서와 업체간 계약서 및 사업관리에 대한 사례분석이 보다 체계적으로 이루어져야 할 것이다.

• Proceedings of the Korean Nuclear Society Conference
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• 1996.05b
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• pp.441-446
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• 1996

INEL에서 가압 경수로에서 일어날 수 있는 가상 사고 해석을 위해 개발된 Relap5/Mod3.2를 PC Version으로 변환 설치하였다. CPU Time 비교 및 검증 계산을 수행했으며 중요 변수 비교를 통해 변환의 적절함을 확인했다. Accumulator 주입에 의한 Numerical Oscillation이 일어나는 부분에서 서로 다른 시간 간격 제어를 함으로써 HP Version 결과와 차이가 있는 것을 제외하고 대체적으로 유사한 결과를 보임을 알 수 있었다. 경제적 측면과 Microprocessor의 발전 속도 측면에서 볼 때 PC Version 사용이 매우 유리한 선택이 될 수 있을 것이다.

• Proceedings of the Korean Operations and Management Science Society Conference
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• 1998.10a
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• pp.249-252
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• 1998

막대한 투자비용이 소요될 것으로 예측되고 있는 초고속 정보통신 가입자망의 구축을 경제적으로 하는 것은 원가절감을 통해 경쟁에서 유리한 위치를 점하려고 하는 망 사업자의 입장에서 볼 때, 필수적 요건이 아닐 수 없다. 다양한 대체기술 존재와 극심한 수요 불확실성으로 대표되는 초고속 가입자망 시장환경은 망사업자의 투자결정을 늦추게 하는 주요한 요인이기도 하다. 본 연구의 목적은 여러 가지 망 구축 기술대안을 평가하기 위한 경제성 분석 절차에 대해 살펴보고 특정지역에의 시장진입시에 고려할 수 있는 망 구축 진화전략을 경제성 분석으로 연결시킬 수 있는 경제성 분석 툴 개발에 있다.

• 월간 기계설비
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• s.285
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• pp.89-99
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• 2014

세미나를, 혹은 공연을 보면서 하늘을 볼 수 있다면? 또 전문분야인 의과학 세미나 과정을 일반인들이 밖에서 지켜볼 수 있다면? 흔히 세미나와 공연은 집중을 요하기 때문에 밀폐된 시설로 건축된다. 그런데 세미나실을 투명한 유리로 마감하여 오픈된 공간으로의 과감한 선택과 대강의실에서 하늘의 구름과 별, 그리고 채광을 한껏 받아들일 수 있도록 설계된 건물이 우리나라에 들어선다. 인류의 질병치료와 생명연장 이념으로 건립되는 차병원그룹 판교종합연구소다. 세계적인 의과학 연구소로의 발돋움은 물론 국내 의료계 발전을 위한 랜드마크로서의 의미가 큰 차병원그룹 판교종합연구소는 (주)대우건설이 시공을 총괄하고 환경이엔지(주)가 기계설비 시공을 담당하고 있다. 본지는 차병원그룹 판교종합연구소를 이달의 표지로 선정했다.

• Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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• 1992.10a
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• pp.172-176
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• 1992

금속의 조면, 불투명 유리 또는 종이 등의 확산 반사면에 레이저광을 조사하면 확산광 가운데 또는 그 상 가운데 보통의 광에서는 볼 수 없는 반점 모양의 형태가 나타나게 된다. 이러한 현상은 레이저의 단색성, 가간섭성, 집속성등의 우수한 성질과 응용 면에 있어서의 풍부한 가능성으로 레이저 응용계측이 연구되어 왔다. 따라서 레이저 개발에 따른 새로운 계측 법이 급속히 진전되는 가운데 그 중에서 구조 및 재료강도의 계측분야의 일환으로 레이저를 이용하여 물체표면의 정보를 갖는 스페클 패턴(speckle pattern)이 변화하는 성질을 이용하여 어떠한 물체를 상온 하에서 인장력에 의한 면내변위를 2차원적으로 측정하고자 한다.

• Proceedings of the Korean Institute of Intelligent Systems Conference
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• 2000.05a
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• pp.158-161
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• 2000

정의에 의해서, 창발의 개념은 보다 낮은 레벨의 하위 개념으로 환원될 수 없다. 따라서 해커의 입장에서 볼 때, 창발적 정보를 이면에서 훔치거나 공격하는 일은 구조적으로 어려운 일이다. 생명체는 대표적인 창발 시스템이며 생명체 패러다임으로 구축된 시스템은 보안의 관점에서 결정적인 유리함을 갖게 된다. 본 논문에서는 창발 이론에 기반한 생명체 모델 SAM을 제안한다. SAM은 몇 가지 중요한 생명현상을 가질 수 있다. 본 논문에서는 SAM을 이용한 정보 시스템이 갖는 보안상의 특성과 유용성을 분석한다.

• Journal of the KSME
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• v.22 no.6
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• pp.471-476
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• 1982

1.열펌프 시스템의 성능은 최적설계를 하므로서 이론적, Rankine C.O.P에 접근시킬 수 있다. 2.. 산업체 중저온 폐열회수이용에는 열펌프가 매우 유망하며 냉온수를 동시에 이용하는 경우는 더욱 유리하다. 3. 우리나라 산업계에서 보통 투자회수기간을 3년으로 본다면 전력시설용량을 500kw 이상의 산업용 소동력, 대동력의 경우 열펌프의 성적계수는 약 3.5 정도가 하한으로 볼 수 있다. 4. 공기 또는 물 열원의 가정용 열펌프는 전력비가 비싸므로 아직은 실용성이 없다.

• The Korean Journal of Pharmacology
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• v.29 no.2
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• pp.175-182
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• 1993

As it has been reported that the depolarization-induced ACh release is modulated by activation of presynaptic $A_1-adenosine$ heteroreceptor in hippocampus and various lines of evidence indicate the adenosine effect is magnesium dependent, the present study was undertaken to delineate the role of endogenus adenosine as a modulator of hippocampal acetylcholine release in this study. Slices from the rat hippocampus were equilibrated with $[^3H]-choline$ and the release of the labelled product, $[^3H]-ACh$, was evoked by electrical stimulation(3Hz, $5\;V\;cm^{-1},$ 2ms, rectangular pulses), and the influence of various agents on the evoked tritium outflow was investigated. Adenosine, in concentrations ranging from $0.3\;to\;100\;{\mu}M$, decreased the $[^3H]-ACh$ release in a dose-dependent manner without changing the basal rate of release. $DPCPX(1{\sim}10{\mu}M)$, a selective $A_1-receptor$ antagonist, increased the $[^3H]-ACh$ release in a dose-related fashion with slight increase of basal tritium release. And the effects of adenosine were significantly inhibited by $DPCPX(2{\mu}M)$ treatment. CPCA, a specific $A_2-agonist$, in concentration ranging from $0.3\;to\;30\;{\mu}M$ decreased evoked tritium outflow with increase of basal rate of tritium release, and these effects were also abolished by $DPCPX(2{\mu}M)$ pretreatment. But, $CGS(0.1{\sim}10{\mu}M)$, a recently introduced potent $A_2-agonist$, did not alter the evoked tritium outflow. When the magnesium concentration of the medium was reduced to 0 mM, there was no change in evoked ACh release by adenosine. In contrast, increasing the magnesium concentration to 4 mM, the inhibitory effects of adenosine were significantly potentiated. These results indicate that $A_1-adenosine$ heteroreceptor is involved in ACh-release in the rat hippocampus and the inhibitory effects of adenosine mediated by $A_1-receptor$ is magnesium-dependent.